。 4.—4  设备配置 ！ ， ， 4.4【.1  本条—是对薄膜晶体管液】晶显：示器：生产设？备和辅？。助设备？配，置的原则性要求【工艺生产设》备及其设备的选择】。除应满足加工工【艺参数的要求外应】配备有必要的安全保！护装置还应采取【措施防止本设—备加工过程中产生】的粉：尘、蒸发气体、振】动、电磁辐射等对】洁净：室环境、其他—加工设备以》及产品质量的不利】影响另外鼓励建【。设单位在《条件：允许：时选择自动化程【。度更高、能源和【原材：料，消耗更省《。、排放(废气、废水！)更：少，的设备 》 4.—4.2  》阵列、彩膜》和成盒？工序段主《要的加工对象—为玻璃基板》玻，璃基板尺寸大而薄极！易破：碎且：对表面的污染控制要！求很高采用专用工】装进行搬运显然【是必要的而对—于批量生产》线由于搬运量—大、生产连》续性要求高更—。适宜采用全自动物料！搬送系统如采用人工！搬运小车进》行搬运易造成搬【运错误或不及时并】造成因？洁净室内人》员频繁走动引—起的空气《污染问题从而影【响产品生产的良【品率等出于同—。样的原？因跨：层之间的产品—垂，直运：输适宜？。采用自动《化垂：直运输？设备尽可能不采用(！洁净)货运》。电梯的方式 】 4《.4.3《  化学气相沉积】机和溅？射机等需《定期进行腔》体，维修和靶材》更换等该设备及【附近区域应配置必要！的吊装起重设备吊】装起重设备》的，设，置除应满足服务区】域、起吊高度—和，使用负荷要》求外还应满足—表面光洁、易清洁】、不发尘、》不挥发泄漏》等洁净要求 【