4》.4  设》备配置？ 4！.，。4.1  本条是对！薄膜晶体管》液晶显示器生产【设备和辅助设备配置！的原则性要求工【艺生：产设备及《其设备的选择—除应满足加》。工工：艺，参数的要求》外应配备有必要的安！全保护装置还应【采取：措施：防，止本设备加工过【程，中产生的粉尘—、，蒸发气体、振动【、电磁辐射等对洁】净室环境、》其他加工设备以【及产品质《量的不？利影响另《。外鼓励建设单位【在条件允许时选【择自动化《程度更高、能源和原！材料消耗更省、排】放(废？气、废水)更—少的设备 】 ：4，。.4.2  阵列】、彩膜和成》盒，工序段主要》的，加工对象《为玻璃基板玻璃基】板尺寸大而薄极易破！碎且：对表面？的污：染，控制要求很高采用专！用工装？进行搬运显然是【必要的而对于批量】生产线由于搬运量】大、生产《。连续性要求高更【。适，宜采用全自》动物：料搬送系统》如采用人工搬运【小车进行搬》。运易造？成搬运错误或—不及时？并造成因洁净室内】人员频繁走动—。引起的空气污染【问题从而影响—产品生产的》良品率？等出于？同样：的原因跨层之—间的产品《垂直：运输适宜采用—自动化垂直》运输设备尽可—能不采用(》洁净)货运》电，梯的方式 》 4.4】.3  《化学：气相沉？。积机和溅射机等【。需定期进行腔体维修！。和靶材更《换等该设备及附近】区域应配置必要的】吊装起重设备—吊装起重设备—的设置除应满足服务！区域、？起吊高度《和使用负荷要求外还！应满足表面光—洁，、易清？洁、不发尘》。、不挥发泄漏等【洁，净要求 》