？ 4.4  设备】配置 ！ 4.4.1  本！条是对薄膜晶体管液！晶显示？器生：产设备和辅助—设备配置的原则【性要：。求工艺生产设备【及其设备《。的选择除应满足加工！工艺参？数的：要，求外应？配备有必要的安全保！护装置还应采取措】施防止本设》备，加工过程中产生的】粉尘：、，蒸发气体、》。振，动、电磁辐射—等对洁净《室环境、其他加【工设备以及产品质】量的不？利影响另外鼓—励建设单位在条【件允许时选择—自动化程度更高【、能源和原材料【消耗更省《、排：放(废气《、废水)更少—。的设备 《 《 4.4《.2 ？ 阵列、彩膜和成盒！工序：段主要？。的加工对象为玻璃基！板，玻璃基板尺寸—大而薄极易破碎且】对表面的污染控【。制要求很高采用【专用工装进行搬运】显然是必要的而对】于，批量生产《。线由于搬运量大【、生：产连续性要求高更适！宜，采用全自《动物：料搬送系统如—采用人工搬》运小车进《行搬运易造成搬运错！误或不及时并造【成因洁？净室内人员频繁走】动，引起的空《气污染问题从而【影响产品生产的【良，品，率等出于同样的原】因跨：层之间的《产品垂直运输适宜】采用自动化垂—直运输设备尽—可能不采用(洁【。净)货运电》梯的方式 ！ 4.4.3  化！学气相沉积机—。。和溅射机等》需定：期，进行腔体维》修和：靶材更换等该设备及！附近区域应配置【必要的吊装起—重设备吊装起重设】备的设置除应—。满足服务《区域、？起吊高度和使用负荷！要求外还应》满足表面光洁—。。、易清洁、不—。发尘、不挥》发泄漏等洁净要【求 ？