。 ？ 4.4  —设备配置 】 4.4【.，1  本条是对薄膜！晶，体，。管液晶显示》器生产？设，备和辅助设备—配置的原《则性要求《工艺生产设备—及其：。设备的选择除应【满足加工工》艺参数的要》求外应配备有必要】的安全保护装置【还应采取措施—防止本设备加工【过程中产生的粉尘、！。蒸发气体、振动、电！磁辐：射等对洁净室—环境、其《他加：工设：。备以及产品质量的不！利影响另《外鼓：励建设单位在—条件允许时》。选择自动《化程度？更高、能源和原材料！消耗更省、排放(】废气、废《水)更少的设备【 ： 4.4.】2  阵《列、：彩，膜，和成盒工序》段主要的加工—对象为玻《璃基板玻《璃基板尺寸大而薄】极易：破碎且对表面的污染！控，制要求很高采用专】用，工装进行搬运显然是！必要的而《。。对于批量生产线由】于搬运量大》、生产连续》性要求高更适宜采用！全自动？物料搬送系统—如采用人工》搬运小车进行搬【。运易：造成搬运错误或不】及时并造成因洁净室！内人：员频繁走动引起的空！气污染问题从而【影响：产品生产的》良品率等出于同样的！原因跨层之》间的：产品垂直运输适【宜采用自动化—垂直运输设备—尽可能不《采用(洁净》。)货运电梯的—方式 ？ ， ？ 4.？4.3  》化学气相沉积机【和溅射机《等需定期进行腔体维！修和靶材更换—等该设？备及附近《区域应配置必要的吊！装起重设《备吊装起重设—备的设置除应满足】服务区域、起—吊高：度和使用负荷—要求外还应满足表面！光洁、易清洁、不发！。尘、不挥《发泄漏等洁净—要求 《