4.4  ！设备配？置 【。 4.《4.1 《 本条是对薄膜晶】体管液晶《显示器生产设备和】辅助设备配置的原则！性要求工艺生产设备！。。及，其设备的《选择：除应满足加工工【艺参数的要求外应】配备有必要的安【全保护装置还—应采取措施防止本】。设备：加工过？程中产生的》粉尘、？蒸发气体、振动【、电磁辐射等对洁净！室环境、其他加工设！备以及产品》。质量的不《利影响另外》鼓励：建设单位《在条：件允许时选》择自动化程度—更高、能《源和原材料消耗更】省、排放(》废气、废水)更少】的，设备 — 4.4》。.2 ？ 阵列、彩膜和【成，盒工序段主要的加】工对象为玻璃基板】玻璃：。基板尺寸大》而，薄极易破碎且对表】。面的污？染控制要《。求很高采用专—用工装进行搬运显然！是必要的《而对于？批量生产线由于搬运！量大、生《产连续性要》求高更适宜采用【全自动物料搬送【系统：如采用人工搬运【小，车进行搬《运易造成搬运错误或！不，。及时并造成因洁净室！内人员频繁》走动引起的空气【污染问题《。。从而影响产品生【产，的良品率等出—于同样的原因跨【层之间的《产品垂直运输适宜采！用，自动化垂直》运，输设：备，尽可能？不，采用(洁净》)货运？电梯的方式 】 4.4.【3，  化学气》相沉积机和》。溅射机等需定期进行！腔，体维修和靶材—更换等该设备及附】近，区域应配《。置必要的吊装起重设！备吊装起《重设备的设置—。。除应满足服务—区域：、起吊？高度和使用负—荷，。要求外还应》满足表面光洁—、，。易清洁、《。。不发尘、不挥发【泄漏等洁净》要求 《