4.—4  设备配置【 》 ？4.4.1  本】条是：对薄膜？晶，体管液晶显示—器生产设备和辅助】设备配置的原则性】要求工艺生》产，。设备及其设备的选】择除应满足加—工工艺参数》的要求外《应配：备有必？要的安全保护装置】还应采取《措施防止本设备加】工过程中产生—的粉尘、蒸发气【。。体、振动、电磁【辐，射，等，对洁净室《环境、其他加工【。设备以及产品质量】的不利影响另外鼓】励，建设：。单位在条《件允许时选》择自动化程度更高、！能源和原材》料消耗更《省、排放(》废气：、废水)更少的设备！ 》。 4.4《.2 ？ 阵列、《彩膜和成盒工序【段主要的加工对象】为玻璃基板》玻，璃基板尺寸大而薄】极易破碎且对表面】的污染控制》要求很高采用专【用工：装进行搬运》显然是必要的而对于！批量生产《线由于搬运量—大、生产《连续性要求高更适】宜，采用：全自动物料搬送系统！如采用人工》搬运小？车进行？搬运易造成搬运错】误或不及时并造【成因洁净室内人员频！繁走动引起的空气】污染问？题，从而影响产》。品生产的《良品率等出于同【样的原因跨层之【间的产品垂直运【输适宜采用自动【化垂直运输设备【尽可能不采用(洁净！)货运电《梯的方式 — 4.4.3！  ：化学气相沉积—机和溅？射机：等需定期进行腔体维！修和靶材更换等该设！备，及附近区域应配置】必，要的吊装《起重设备吊装起重】设备的？。设置除应满足服务】。区，域、起吊高度和使用！。负荷要求外还—应满足？表面光洁、》易清洁、不发尘【。、不挥发泄漏等【洁净要求 —