， 4《.4  《设备配置 ！ 4.4.【1  本条是—对薄膜晶《体管液晶显》。示器生产设备和辅助！设备：配置：的原则性《要求工艺生产设备及！其设备的选择除应】。满足加工工艺参数】的要求外应》。配备有必要的安全保！护装置还应采取【措，施防止本设备加【工过程中《产生的粉尘、蒸发】气体：、，振动、电磁辐—射等：对洁净室环境—、其他加工设—备，以及产品质量的不】利影响另外鼓—励建设单位在条件允！许时选择自动化程度！更，高、能源和原材料】消耗更省、》排放(废气、—废水)更少》的设备 ！4.4.2  阵列！、，彩膜和成盒工序段主！要的加工对》象为玻？璃，基板玻璃《基板尺寸《大而薄？极，易破碎且对表面的污！染，控制要求很高采用】。专用工装进行—搬运显然是必要的而！。对于批量生》产线由于《搬运量大、生产【连续：性要求？高更适？。宜采用全《自动物料搬送系统】如采用人工搬运小车！进行搬运易造成搬】运错误或不及时并】。造成因洁净室内人员！频繁走动《引起的？空气污染问题从而】影，响产品生产》的良品率《等出：于同样的原因跨层之！。间的：产品垂直运输适【宜采：用自动化《垂直：运输设备尽可能【不采用(洁净)【货运电梯的方式 ！ ： ：4.4.3  【。化学：气相沉积机和溅射】机等需定期进—行腔体维修》和靶材更换等该设】备及附近区域应配置！必，要的吊装起》重设：备吊装起重》设备的设置除—应满足？服务：区域、起吊》高度和使用负荷要】。求外还应满足表面光！洁，、易清洁《、不发尘、不挥发】泄漏等洁净要—求 ？