4.4 】 ，。设，备配置 — 4.4.！1，  本条是对薄【膜晶体管液晶显示】器，生产：设备和辅助设—备，。配置的原则性要求工！艺生产设备》及其设备的选择除】。应满足加工工—。艺参数的要求外【应配备有必要的安】。全保护装置还应采】取措施防止本设备加！工过：。程中产生的》。粉尘、？蒸发气体《、振动？、，电磁辐射等对洁净】室环境？、其他加工设备以】及，产品质量《的不利影响另外【鼓励建设单位在【条件允许时选择【自，动化程度《更高、能源和原【材料消？。。耗更省、排放(废】气、废？水)更少的设备 】 》。。4.4.2  阵】列、彩膜和》。。成，盒，工序段？主要的加工对象为玻！璃基板玻璃基—板尺寸大而薄极【易破碎且《对表面的污染—控制要求很高采用】专用工装进》行搬：运显然是必要的【。而对于批《量生产？线由于？搬运量大、生产连】续性要？求高更适宜》采用全？自动：物料搬送系》统如采用人工搬运小！车进：行搬：运，易，造成搬运错误或不】及时并？造成因？洁净：室内：人员：频繁走动引起的【空气污染问题从而影！响产品？生产的？良品率等出于同样】。的原因跨《。层，之间的产《品垂直运《输适宜采用自动【。化垂直？运输设备《尽，可能不采用(洁【净，)货运电梯》。的方式 【 4.4.3 】 化学气相沉—积，。机和溅射机等—需定期进行》腔体维修和》靶材更换等》该设备？及附近区域》应配置？必要的吊装起重设备！吊装起重《设备的？设置除应《满足服务区域、起吊！高度和使用负荷要求！外还应满足表面光洁！、易清？。洁、：不，。发尘、不《挥发泄漏等》洁，净要求 》