1》4 空间管理
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14.《。1 一《般规定
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14《.1.1《 空间管理设计】应符:合下列规定》。
! 1 工艺设备平!。面布置?、运行、维修—及主要配管应满足】最小安全距离及【。占用标高;》
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【2 一《般给水排水》、纯水、工艺冷【却循环?水、废水处理、消】防等:设备外形尺寸、【。。平面布?。置、运行、维修及主!要配管应《满足:最,小安全距离及—占用标高《;
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《 3 洁净】、采暖、送风、【排风、?冷冻水等设》备,。的外形尺《。寸、平面布置、【运行、维修及主要】配,管应满足最小安全距!离及占用标高—;
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4 【 冷、热源》大宗气体供应压缩】空,。气站真空泵房—特种气体站》房内设备《的外形尺寸》。、平面布置》、运行、维修、安装!及,主要配管应满足最】小安全?距离及占用标—高,;
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5 】 化:学品供应及回收设备!。外形尺寸、平面布置!、运行、维修—及主:要配管?应满:。足,最小安全距离及占用!标高;?
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? 6 电【气设备、照明—灯具:等设备的平》面布置?和电缆桥架、母线】槽等配管应满足最】小安全距《离及:占用标?。高
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14.1!.2 洁》净生产层净高—。应按工艺设备和【物料运输设》备尺寸、微环境装】置及洁净气流控制】等因素?确定阵列、彩膜【、成盒区域》不宜低于4m模组区!域不宜低于》3m
】14.?1.3? 下?技术夹?层,净,高应按照工》艺辅助设备尺寸及】其,搬入高度、管线【布置、洁《净气流控制》等因:素确:定不宜低于4m
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14.1】.4 上技术【夹层净高应按—照空调设备、管线布!置、洁?净气流?控制等因素确定【不宜低于3m—。
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