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14 【空间管?。理
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14.1 !一般:。规定
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1?4.1.1》 空间管》理设:计应:符合下列《规定
! 1 工【艺设备平面布置、】运行:。、维修及主要配管】应满足最《小安全距离及占用】标高;
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: ?2 : 一:般给水排水、纯水】、工艺冷却循环【水、废水《处理、消防等—设备外形尺寸—、平面?布置:、,运行:、维:修及主?要配管应满》足最:小,安全:。距离:及占用标高;
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【3 洁净、采暖、!送风、排风、—冷冻水等设备的外形!尺寸、平面布置、运!行、维?修及主要《配,管应满足最小安全距!离及占用标高;
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【 4 冷、热源】大宗气体供应压缩】空气站真空泵—房特种气体站房内设!备,。的外形尺寸、平面】布置、运行、维修】、安装及主要配管应!满足最小安全距离及!。占用:标高;
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》 5 《 化学品供应及【回收设备外形尺寸】、平面布置、运【行、:维修及主要配管应】满足最小安全—距离:及占用标高》;
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》 6 电气!设备、照明灯具等】设,备,的平面布《置和电缆《桥架、?母线槽等配管应满足!最小安全距》离及占?用标高
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14.】1.:2 洁净生产层净!高,应,按工艺?。设备和物料运输设】备尺寸、微环境装置!及洁净气《流控制?等因素确《定阵列、彩膜、成】盒区域不宜低于【4m模?组,区域不宜低于—3m
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1》4.1?.3 《下技术夹《层净:高应:按照工艺辅助设【备尺寸及其搬入【高度、管《线布置、《洁净气流控制—等因素?确,定,。不宜低于4m
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1》4.1.4 上】。技术夹层净高—应按:照空:调设备、管线—布置、?洁,净气流控制》等因素?确定:不宜低于《3,m
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