1》4，。  空间《管理 — 《 14《.1  《一般规定 ！ ， 14.1—.1  空》间管：理设计？应，符合：下列规？定 【    1  工】。。艺设备？平面布置、》运行、维修及主要配！管应满足最小—安全距离及占用【标高；？   】  2 《。 ，一般给水排水、纯】水，、，工艺冷却《循环水、废水处理、！消防等设备外形【尺，寸、平面布》置、运行、维修【及主要配管应满足最！小，安全：距离及占用标—高； 】  ：  3  洁—净、采暖、送风【、排风、冷冻水【等设备的外形尺寸】、平面布《置、：。运行、？维修及？主，要配管应满足—。最小安全距离及占】用标高； ！。     》4  冷、热源大宗！气体供应压缩空气站！。真空泵房特种气体】站房内？。设备的外形尺寸、平！面布：置、运行、》维修：、，。安，装及主要配管应满】足，最小安全距离及占用！标，高； ？。  — ，  5  化—学品供应及》回收设备外形尺寸】、平面布置、运【行、维修及主要配】管应满足最小安【全距：离及占？用标高； — ？     6—  电气设备—、照明灯《具，等设备？的平面布置》和电缆桥架、母线槽！等配管应满足最小安！全距离及占用—标高 【 14.《1.2？  ：。洁净生产层净高应按！工艺：设备和物料》。运输设备尺寸、【微环境装置及洁净气！流控制等《因素确定阵列、彩膜！、成盒区《域不宜低《于4m？模组区？域，不，宜低于3《m ： 1—4.1.3  下技！术夹层净高应按照】工艺辅助设备尺寸】及其搬入高》度、管线《布置、洁净气—流控制等因素确【定不宜低于4m 】 ？ ：14.1《.4  《上技术夹层净高应】按照空调设备—、管线？布置、？洁净气流控制等【因素确定不宜低【于3m 》