1》4 空间管—理
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14.1 】一般规定《
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14?.1.1 —空间管理《设计:应符合下列》规,定
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? :1 工《艺设:备平面布置、运行】、维修及主》要配:管,应满足最小安全距离!及占用?。标高;
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《 2 一》般给水排《水、纯?水、工?艺冷却循环水、废水!。处理、消防等—设备外形尺寸、平】面布:。置、运行、维修及】主要配管应满足【最小安全距离及占用!标高;
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3 】 洁净、采暖、送】风、排风、》冷冻水?等设备?的外形尺寸、平面布!置、运?行、维修及主要【配管应满足最小【安全距离及占用标】高;
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】4,。 冷、热源大【宗气体供应压—缩空气站真空—泵房特种气体站房】内设备?的,外形:尺寸、平面》布置、运行》、维修、安装及【主,要,配管应满足》最小安全距》离及占用标高;
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!5, , 化学品供应及回收!设,备外:形尺寸、平面布置、!运行、维修及主要】配管:应,满足最小《。安,全距离?及占用标高;
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《 6 电气设备!、照明灯具等设备】。的平面?。布,置和电缆桥架、【母线槽等配管应满足!最小安全距离及占用!标高:
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14.1【.,2 : 洁净生《产层净高应按工【艺设备和物料运输设!备尺寸、微环境【装置及洁净气流【控制等?因素确定阵列、彩膜!、成盒区域不宜低于!4m模组区域不宜】低于3m
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14.1【.3 ? 下技术夹层净【高应按照工艺辅助设!。。备,尺寸及其搬入高【度、管线《布置、洁净气流【控,制等因素确定不【宜低于4m》
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14.1.4 !。上技术?夹层净高应按照空调!设备:、管线布置、洁净气!流控制等因素—。。确定不宜低于3m】
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