安全验证
14—  空间管》理 : !14:.1  一般规【定, 【 14.《1.1  空—间管理设计应符合】下列规定 !     1 【 工:艺设备平面布—置、运行、维—修及主要配》管应满?足最小安全距离【及占用标高; 】 , :   ?  2?  一?般,给,水排水、《纯水:、工艺?冷却循环水、—废水处理、消—防等设备外形—。尺寸、平面布置、】运行、维修及主要】配管应满足最小安全!距离及?占用:标高; —     3】  洁净、采暖、】送风、排风、冷冻水!等设备的外》形尺寸、平面布置】、运:行、维修及主—要配管应满足最小】安全距离《及占:用标高; —   —  4  》冷、热源大宗气体】供应压缩空》气站真空《泵,房特种气体站房内】设备的外形尺—。寸、平面布》置、运行、维—修、安装《及,。主要:配管:应满足最小安全【距离及?占用标高; 【    【 ,5, ,。 化:学品供?应及回收设备外形】尺寸、平面》。布置、运《行、维?。。修及主要配管应【满足最小安全距离及!占,用标高; 】    》 6 ? 电气设备、照【明,灯具等设备的平【面,。布,置和电缆《桥架、母线槽等【配管应满足》最小安全距离—及占用标高 ! 14.1.2 ! 洁净生《产层净高应按—工艺设备和》物料运输《设备尺寸、》微环境?装置及洁净气流【控制:等,因素:确定:阵列、彩膜》、成盒区域不—宜,低于4m模组—区域不宜《低于3?。。m 《 : 14.1.3  !。下技术夹层》净高应按《照工艺辅助设备尺寸!及,其搬入高度、管线】布置、洁净气流控】制等因素确》定不宜?低于4m !。 14.《1.4  上技术夹!层净高?应按照空调》设备、?管线布置《、洁净气流控制【等,因素:确定:不宜低于3》m ?