14 空!。间管:理
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14?.1 一般规定】
【。
14?.1.1 空间】管理设计应》符合下列规定
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《 ?。1 工艺设备平】。面布置、运行、维修!及主要配管应满足】最小安全距离—。及占用标高》;
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《 ,2 ?一般给水《。排水、纯水、工【艺冷却循环水、废】水处理、消防等设】备外形尺寸、平【面布置、运行、维】修及主要配管应满】足最小安全距离【及占用标高;
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》 3 洁净、】采暖、送风、—排风、冷冻水等设备!的外形?尺寸、平面布置【、运行、维修及【主要配管应满足【最小安全距离及占】用标:高;
】 : 4 冷、【热源大宗气体供【应压:缩空气站真空泵房特!种气体站房内设【备的外形尺寸、平面!布置、运行》、维修、安装及主】。要配管应《满足:最小安全《距离及?占用标高;
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》。 5 化学品【供应:及回收设备外—形尺寸、《平面:布置、运行、维修及!主要配管《应,满,足最小安全距—离及占用标高—;
【 6 — 电气设《备、照明灯》具等设备的平面布】置和电缆桥》架,、母线?。槽等配管应》满足最小安全距离】及占用标高
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14.1.2 ! 洁净?生产层净高应按工艺!设备和物料运输设备!尺,寸、微环境装—置,及洁净气流控—制等因素《确定:阵列、彩膜、成【。盒区域不宜低—于4m模组》区域不宜《低于3m
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14.1.3 】 下:。技术夹层净高应【按,照工:艺辅助设备尺寸【及,其搬入高度》、管线布置、洁净】气流控?制等因素确定不宜低!于,4m
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14《.1.4《 上技术夹层净】高应:按照空调设备、【。管线布?。置、洁?净气流控制》等因素确定不宜低于!。3m:
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