1》4 空间管理
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14.1》 一般规定
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》14.1《.1 空间—管理设计应符合下列!规定
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1】 工艺设备平【面布置、运行、维修!及主要?配管应满足最—小安全距《离及:。占,。用,标高;
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2】 一般《给水排水、纯水、】工艺冷却循环—水、废水处》。。理、消防《等设备外形尺—寸、平?面布置、运》行、维修《及主要配《。管应满足最小安全】距离及?占用标高;》
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》3 洁净、采暖、!送风:、排:风、冷冻水等设备的!外,形尺寸、平面布【置、:运行、?维修及主要配管【应满:足最小安全距离及】。占用标高《;
! 4 冷、【热源大宗气体供应压!缩空气站真空泵【房特种?气体站房内设备的外!。形尺寸、平面布【置、运?行、维?修、安装及主要配管!应,满足最小安全距离及!占用标高;
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5 【 化学品供应—。及回收设备外形尺寸!、平面布置》。、运行、维》修及:主要配管应满足最】小安全距《离及占用标高;【
【 6 电【气设备、照明—灯具等?设备的平《面布置和电》。缆桥架、《母线:槽等配管应满足最】小安全距离》及占:用标高
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14.1】.2 洁净—生产层净高应按工艺!设备:和物料运输设备尺】寸、:微环境装置及洁净气!流,。。控制等因素确—定阵列、彩膜、成】。盒区域不宜低于4】m模组区域不宜低于!3,m
【14.1.3 】下技术夹层净高应】按,照工:。艺辅助设备尺—寸及其搬入高度、管!线布置、洁》净气流控制》等因素确定不宜低】于4:m
【14.1《.4: 上技《术夹层净高应—按照空调设备、管】线布置、洁净气【流控制等《因素确定不宜—。。低于:3m
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