9》.2  采暖、通风！与废气处理 【 9【.2.？1  严寒及寒冷】地区：。各动力站房及管廊】应根据技术要求设】置防冻采《暖设施其他房间【的采：暖设计应符合—现行国家标准工业】建筑：。供暖通风《与空气调节设计【规范GB 50【019的《有关规定 】。 9.2.—2，  洁净室》(区：)，内不应采用散热【器采暖 — ， 9.2.3 】 洁净室内产生粉尘！和有害？气体的工《艺设备和辅助设备均！应设局部排风装置】排风罩？。。宜为密闭式 ！ 9？.2.4《  排风系统的设计！应符合下《。列，规定 ？ 》   ？ 1 ？ 等离子体增强化】学气相沉积和干【法刻蚀设备的尾【气应设就《地处理装置 —     ！。2  酸、碱—、有毒和有机废气】应分开设置》。排风系？统并：应设置备用风—机和应急电》源  】   3  阵列】、彩：膜、成盒厂房一般排！风系统应《设置备用风机— ？     【4  有冷凝液【。产生的工《。艺，。设备局？部排风管宜设置坡度！和排液口冷凝—液应排？至相：应的废？水，管，网中且风管系统应】采取防液体渗漏【。措施 【     5 【 有：毒排风系《统的风管应采用内涂！。聚四：氟乙烯？的不锈钢板制作 ！ ： ：。    6 — 有毒和有机排风】应采取防爆措施【 《     7  ！酸、碱、有毒和有机！排风系统《的风：管不应穿过防火墙】或防火分隔物若必须！穿过时不得》设置熔片《式防火阀 — 《    8  酸、！碱、有毒和有机排风！系统：的废气处《理设备应设在—排风机的负压端 ！  》   9  有毒】排风系统的风管【应在便于观察的位置！设，置透：明观察口其管内风】。速不：应小于10m／【s ：    】 ，10  工艺设备】局部排风系统的室外！风管应根《据当地气象》条件设置防结露保温！措，施， 《    》 ，11  布置在【阵，列、彩膜、成盒厂】房核心生产区内的】排风管道《其，管内：。风速不应《大于12m》／s： 》     12【 ， 洁净室的排风【系统：应设置防止室—外，气流倒灌《的措施 ！9，.2.5  废【气处理系统的设【计应符？合下列规定 【 《    《1  ？等离子？体增强？化学气相《沉积和干法》刻蚀设备尾气宜设置！两级就地处理装【置对硅烷和二氧化硅！的去除率不应小于】98％？对其他有《害物的处《理效率不应小于99！％   ！  2  有—毒废气处理系统【应针：对酸、碱、粉尘综】合处：理 ： ？     3 】 酸、碱、有—机、有毒《。。废气处理系》统宜设置备用处理设！。备 ？  》。   4  酸、碱！、有机、有毒—废气不得采用固定床！吸附剂方式处理【 ，。   【  5  》酸、碱、有毒废气宜！采，用淋洗方式处理处】理设备的填料层数、！厚度：和喷淋药液循环【量应根据有》。害物入口浓》度、排放标准等因素！计算确定《处理设备的》加药、补水》和排：污，应采用自《动方式；处理—设备宜就近设置日】用药箱 《 《    《 6  处理设【备的排水应进入废水！处理系统《  【   ？7  有《机废：。气宜采用沸石转轮吸！附、浓缩并应—经，。焚烧炉氧化方—式处：理，。；焚烧后高温—气体：排入大？气前宜设置》两级热回《收装置 《。    】。 8  剥》离设备有机废气【进入沸石转》轮处理设《。备前：宜进行预处理— ？ ， ：  ：  9？  ：废气处理设备采用】的级：数应：。根据有害物的—种类、？初始浓？度、当地《的排放标准、处理】。。设备的效《。率等因素确》定，    ！ 10  两台及两！台以上？废气处理设备并联】运行时应在》每台设备的入口【设置电动或气动【密闭风阀 — 9.2【.6  酸、—碱、有机、有毒废】气经处？理后应经排》气筒排入大气排【气筒高度应》。符合现行国家标准】大气污染物综—合排放标《准GB？。 1：6297《和环境评估报告的】有关规定排气筒【出口处风速》不宜小于1》8m／s 【 9.2.【7  酸《、碱、有毒和有机排！。风系统宜在排—气筒内设置》在线监？测取：样传感器 】 9？.2.8  一【般排风系《统，的排风宜作为—洁净室的回》风使用？ 9【.2.9  换鞋间！应设置不低于1【0次／h的全室【排风：系统排风口宜设置在！下，部；换鞋柜宜设置】局部排风措》施；：。一次更衣间宜—设置不低《于5次／h》的，。全室：。排风系统 —