9.2 】 采暖、通风与废】气处理 】 9.》2.1  严寒【及寒冷地区》各动力站房及管廊】应根据技术要求设置！防冻采暖设施其他房！间的：采暖设计应符合现】行国家标准工业建】筑供暖？通风与空气调节【设计规范GB 5】0019《。的有关？规定 《 ， 9《.2：.，2  洁净室(【区)内不应采用散】热器：采暖 】9.2？.3 ？ ，洁净：室内产生粉尘—和有害气体的工艺设！备和辅？助设备？均应设局《部排风装置排风罩】宜为密闭《。式 — 9.2.4 【 排：风，系统：的设计应《。符合下列规定 】   —  1  等离子体！增强化学《气相：沉积和干《法，刻蚀设备的尾气应】设就地处理装置 】 》    2 —。 酸、碱、有毒【和有机废气》应分开设置排—风系统并应》设置备用风机—和应急电源 】     3 ！ ，阵列、彩膜、成盒】厂房一般排风系统应！设置备？用风机 《 》    4 — 有冷？凝液产生的工艺设】备局部？排，风，管宜设置坡度和排液！口冷凝？液应排至相应的【废水管？网，中且风？管系统应采取防液】体渗漏措施 】     5】  有毒排》。风系统的《风管应采用内涂【聚四氟乙烯的不【锈钢板制作 【    【 6  《有毒和有机排风应采！取防：爆措施 — ：  ：  ： ，7  酸、碱、有毒！和有：机排风系统》的风管不应穿过防】火墙或防火》。分隔：物若必须穿》过时不得设置—熔片式防《火阀 【     8 【 酸、碱、有毒和有！机排：风系统的废》气，处理设备应设在【排风机的负压端 ！ ，    — 9  有毒排风】系统的风《管应在便于观—察的位置设置—透明观察口其管内】风速不应小于10】m／s 】     10  ！工，艺设备局部》排风系统的室外风】管应根据当地—。气象条件设》置防结露《保温措施 】     11】。  布？置在阵列、彩膜【、成：盒厂房核心》生产区内的排风【管道其？管内风速不应大于1！2m／s ！     12 】 洁：净室的？。排风系统应设置防】止室：。外气流倒灌的—措施 ？ 《 9.2.5—  废气处理系统】。的设计应符合下【列，规定： 《 ，     》。1  等离子体【增强化？学气相沉积和干【法刻蚀设备尾—气宜：设置两级就地处【理装置对硅烷—和二氧？化硅的？去除：率不应小于9—8％：对其他有害物—的处理效率不应小】。于99％ —  》。   2  有【毒废气处理》系统应针对酸—、碱、？粉尘：综合处理 ！  ：   3  酸、碱！。、有机、有》毒废气处理系—统宜设置备用处理设！。备 —     4  】酸、碱、有机、有毒！废气：不得采用《固定床吸《附剂方式处理 【   【。  5  酸—、碱、有毒废气【宜采用？。淋洗方式处理处【理设备？的填：料，层数、厚度和—喷淋药液循》环量应根据有害【物入口浓《度、排？放标准等因素计算确！定处理设《备的加？。药、补水和排污应】采用自动《方式；？处理设备宜就近【。设置日用药箱 【 ？ ，。    《 6  处理设【备的排水应进—入废水处理》系，统  】  ： 7  有机废【气宜采用沸石转轮吸！附、浓缩并应经焚】。烧，炉，氧化方式处理；焚】烧后高温气体排【入大气前宜设置两】级热回收装置 ！。 ：     8—  剥？离设备有机废气进】入沸石转《轮处理设备前宜进】行预处？理 —  ：   9《  ：废气处理设》备采用的级数应根据！有害物的种类、初始！浓度、当地的排放】标准、处理设备【的效率等因素确定 ！ 》    1》。0  两《台及两台以上废气】处，理设备并联运—行时应在每台设备的！入口设置电》动或气？动密闭风阀 】 9.2.【6  酸、》碱、有机、有—毒废气经处理后应经！排，气筒排入大气排【。气筒高度应》符合现行国家—标准大气污》染物：综合排放标准GB】 ，16297》和环境评估》报告的有关规定【排气筒出《口处风速《不宜小于18m／s！。 ？ ？9.2.7  酸、！碱，、有毒？和有机排风系统宜】在排气筒内设—置在线？监测取样传》感器 — 9.2.8  ！一般排风系统的排】风宜作为《洁净室的《回风使用 ！ 9.2.9—  换鞋间应设置】不低于？10次？／h：的全室排风系统排】风口宜？设，置在下？部；：换鞋柜宜设置局【部排风措施；一次】更衣间宜设置不低于！5次：／h的？全，室排风系统》 ：