9.2 】 采：。暖、通？风与废气处理 【 《 9.2—.1 ？ 严：寒，。及寒冷？地区各动力站—房及管廊应根据【技术要？求设：置防冻采暖设施其他！房，间的：采暖设计应》符合现行国家标准】工业建筑供暖—通风与空气调—节设计规范GB【 50019的有关！规定 9！.2.？2  洁净室—(区)内《不应：采用散热器采暖 】 9.2】.3  洁净—室内产生粉尘和有害！气体的工艺设—备和辅助设备均应】设，局部排风《装置排？风罩宜为密》闭式 《 9.2.】4  排风系—统的设计应》符合下列规定 【 《。     》1  ？。等离子体增强化学气！相沉积和干法刻蚀设！。备，的尾气应设就地【处，理装置 》 ：  ？   2  酸【、，碱、有毒和有机废气！应分开设置排风系统！。并应设？置，备用风机和应—急电源 — ，    》。 3  阵》列、彩膜、成盒厂】房一般排风系统【应，设置备用风机 ！。。。   》  4  有冷凝】液产生的工艺设【备局：部排风管《宜设：置坡度和排液口冷】凝液应排至相应的】废水管网中》且风：管系统应《采取：防液体渗漏措施 ！。  》   ？5  有《毒排风系统的风管应！采用内涂聚四—氟乙：烯的不锈钢》板制作 【   《  6 《 有毒和有机排【。风应采取《防，爆措施？    ！ 7  酸、碱【、，有毒和有《机，排风系统的风管【不应穿过防火墙或】防火分隔《物若必须穿过—时不得设置》熔片式防火阀 【 《   ？ ， 8  《酸、碱、有毒—和有机？。排风系统《的废：气处理？设备应设在排—风机的负压端 ！ ？    9  有】毒排风系《统的风管应在便于】观察的位《置设：置透明观《察口其？管内风速不应小于】10m／s 【  》   10》  工艺《设备局？部排风系统的室【外风管应根据当【地气象？条件设置防结露【保温措施 】     1【1  布《置在阵列、彩膜、】成盒厂房核心生产】区，内的排风管道—。其管内风速不应大】于12m《／s  ！   12  洁净！室的排风系统应设】置防止室外气流倒灌！的措施？ 9.】2.5  废气【处理系统的设—计应符合下列规【定  】   ？1 ： ，等，离子体增强化学气相！沉积和干法刻—蚀设备尾气宜设置】两级就地处》理装置对硅烷和二氧！化硅：的去除率不》应小于？9，8％对其他》有害物的处》理效率不应小于99！％ 》   《。  2？  ：有毒废气《处理系？统应针对酸、碱、粉！尘综合处《理  】   3  酸、碱！、有机、有》毒废：气处理系统宜—设置备用处理—设，。备 《 ？    4 — 酸、碱、》有机、？有毒废气不得采用固！定，床吸：。。附剂方式处》理   ！  5  酸—、碱、有毒废气宜】采用淋？洗方式处《理处理设《备的填？料层：数、厚度和》喷淋药？液循环量应根—据有害物入口浓度、！排放标准等因素计】算，确定处理设备—。的加药、补水和【排污应？采用：自动：方式；处理设—备宜就？近设：置日用药箱 — ，     】6  ？处，理设备的排》水应进入废水处理】。系，统 ？     】。7  有机废气宜】。采用沸石转轮—吸，附、浓缩并应经焚】烧炉氧？化方式？处理；焚烧后—高温气体排入—大气前宜设置两级】热回收装《置 【   ？ 8  剥离—设备有机废气进入】沸石转轮《处理设备前宜进行预！处理 】    9  【废气处理设备采用的！级数应根据有—害物的？种，类，、初始浓度》。、，当地的排放标准【、处理设备的—效率等？因素确定《 》。 ，    10  】。。两，台及两台《以上废气处理设备并！联运行？时应在每台设—备的入口设置—电动或气动密闭风】阀 【。9.2.6  酸、！碱、有机、》有毒废气经处—理后应经《。排气筒？排入大气排气—筒高度应符合现行国！家标准？大气污染物》综合排放标准GB】 162《97和环境评—估报告的有关规【定，排气筒出口》处风速不宜小于18！m／：s ？ 9.2.】7  酸、碱、【有毒：和有机排风系统宜】在排气筒内设置在】线监测？取样传感器 】 9《.2.8  一【般排风系统》的排风宜作为洁净室！的回风使用 【 ： 9？.2.9《 ， 换鞋间应设—。置不：低于1？0，次／h的全室排风系！统，排风口宜设置在【下部：；，换鞋柜宜设》置局部排风》措施；一次更—衣间宜设置不低于】5次／h的全室【排风系统 —