？ 9.2《  采暖、通—风，与废气处理 】 ？ 9.《。2.1  严寒【及寒冷地区各动力】站房：。及管廊应根据技术要！求设置？防冻采暖设》施其他？房，间的：采暖设？计，应，符合：。现行国家标准工【业建筑供暖通风【与空气？调，节设计规范GB【 5：0019《的有关规定 【 9》.2.？2  洁净》室(区)内》。不应：采用散？热器采暖 ！ 9.2.3  】洁净室内产》生粉尘和《有害气体的工艺设】。备，和辅助设备均应设局！部，排风装？置排风罩《宜为：密闭式 ！9.2.4  排】风系统的设计应符合！下，列规：。定 《     1】  等？离子体增强》化学：气相沉积和干法【刻蚀设备的尾气应】设就地？。处理装置 —    【 2 ？ 酸、碱、有毒【和有机废气》。应分开设置排风【系统：并应设置《备用风机和》应急电源 — 《。    3 — 阵列、彩膜、成】盒厂：房一般排风系统应】设置备？。用风机 《    】 4  有冷—凝，液产生？的工艺设《备局部排风》管宜设置《坡度和排液口冷凝液！应排至相《应的废水管网—中且风管系统应采】取防液体渗》漏措施 《     ！5  有毒》排，风系统的风管应【采用内涂聚》四氟乙烯的不锈钢板！制，作， —    《6  有毒和—有机排风应》采取防爆措施— 《 ：    7》  ：酸、碱？、有毒？和有机排风系统的】风管不应穿过防火】墙，或防火分隔物若必须！穿过时不得设—。置熔：片式防火阀 ！     —8  酸、碱、【有毒和有机排风系】统的废气处理设备】应设在排风机—的，负压端 ！。。    9 — 有毒排风》系统：的风管应《在便于观察的位置】设置：透明：观察：口其管内《风速不应小于10】m／s 】 ， ，   1《0，  ：工艺设备《局部排风系统的【室外风管应》根据当地气象条【件设置防结》露保温措施》 —   ？ 11  布置在阵！列、彩膜《、成盒？厂房核心生产区【内的排风管》道其管内风速不应大！于12m《／s —   《 ， 12  洁净室的！排风系统应设置【。防止室外气流倒灌的！措施 9！.2.5  —废气处理系统的设】计应符合下列规【定， ， 《     1  】等离子体增》强化学？气相沉积和干—法刻蚀设备》尾气：宜设置？两级就？地处：理装置对硅》。烷和二氧化硅的去】除率不应小于98％！对其他有《害物的？处理效率不应小于】99％ 《  —   2《  有毒《废，气处理系统应针【对酸、碱、粉尘综合！处理 《 ？  ：   3 》 酸、碱、有机、】有毒废气处理系统宜！设置备用处理设备】   】  4？  酸、《碱、有机、有毒废气！不，得采用固定床吸附剂！。方，式处理 ！    5  【。酸、碱？、，有毒废气宜采—用淋洗方式处理处】理设备的填料层数、！。厚度和喷《淋药液循环量—应根据有害物入口】浓度、排《。放标准等因素—计算确定处理设【备的：。加药、补水》和排污应采用自动】方式；？处理设？备宜就近设置—日用药箱 》 《   ？  6  处—理设备的排水—应进入？。废水：处理系？统 【   ？ 7  有机—废气宜采用沸石【转轮吸？附、浓缩并应经焚】烧炉氧化方》式处理？；焚烧后高温—气体排？入，。大，。气前宜设《置两级热回收装【置 【    8  【剥离设备有机—。废气进入《沸，石转轮处理设备前】宜进行预处理—。 》     9  】废气处理设备采【用的级数应根据有害！物，的种类、初始—浓度、当地的排放标！准、：处理：。。设备的？效率等因素确定 ！ 《   ？ 10  》两台：及两：台以上废气处理设备！并，联运行时应在—每台设？备的入？口设置电动或气动密！闭风阀 ！9.2.6  酸、！碱、有机、有—毒废气经《处，理后应经排气筒排入！大气排气筒高—度应符合现》。行国家标准大—气污染物综合排【放标准GB 162！97和环境评估报】告的有？关规定排《气筒出口处风速【不，宜小于18m／s】 9.2！.7  酸、碱、有！毒和有机《排风系？统宜在排气筒内【设置：在线：监测取样传》感，器 9】.2.8  一般】排风系统《的排风？宜作：为洁净室《的回风使用 】。 ，。 9.2》。.9：  换鞋《间应设置不》低于1？0次／？h的全室排风—系统排风《口宜设置在下—部；换鞋柜宜设置】局部排风措施；一】次，。更衣间宜设置不低】于5次？／h的全《室排风系《统 ？