9.—2  采暖、通【风与废气处》理 】。 9.2《.1  严》寒及：寒冷地？。区各：动力站房及管廊【应根：据技术要求设置防冻！采暖设施其他—房间的采暖》设计应符合现行【国家标？准工业建筑供—。暖通：。风，与空气调节设计【规范：GB ？50019的有关规！。定 ？ 《9.2.2  洁净！室(区？)内不应采》用散热器采暖— 9.】。。2.3？ ， 洁净？室内产生粉尘—和有害气体的工艺】设备和辅《助设备均应设局【部排风装置排风罩宜！为密闭式 — 9.2【.4  《。排风系统的设计【应符合下列规定 】。 ：  《 ，  1  等—离子体增强化—学气相沉积和干【法刻蚀设备的—尾气应设就地—处理装置《 》     2  酸！、碱、有毒和有机】废，气应分开设置排风】系统：并应设置备用—风，机和应急电源— 》    《 ，3 ： 阵列、《彩膜、成《盒厂房一般》排风系？统应设置备用风机】 —    4 — 有冷凝液》产生的工艺设备局部！排风管宜设》置坡度和排液—口冷凝液应排至相】。。应的废水管》网中：且风管系《统应：采取防液体渗—漏措施 》     】5，  有毒排风系统】的风管应采用—内涂聚四氟乙—。烯的不？。锈钢板？制作 ？ ： ？    6  有毒！和有机排风应采取防！。爆措施 —。 ：     7  酸！、碱、有毒和有机排！风系统的风管不应穿！过防火墙或防火分隔！物若必须穿》过时不得《设置：熔片：式防火阀 】 ， ，    8  酸、！碱、：有毒：和有机排风系统【的废气处理设—备应设？在排风？机的负压端》    ！ 9  有毒—排风系统的风管【应在：便于观察的》位，置设置透明观—察口：其管：内风速不应小于1】。。0m／s 】 ， ，   ？ 10  工—艺设备局部》排风系统的室外风管！应根据当地》气象条件《设置防结《露保温措《施 ： ：     11！  布？置，在阵列、彩膜、成盒！厂房核心生产—区内的？排风管道其管—内风速不应大于【1，2，m／s — ：     12【  洁？净室的排风系统【应设置防止室外气流！倒，灌的措施 ！ 9.？2.5  废气【。处理系？统的设计应符合【下，列规定 ！。。    《1  等离子体【。增强化学气》相，沉积和干《法刻蚀设备尾气宜设！置两级就地处—理装置对硅烷和二】氧化硅的去》除率不？应小于98％—对其他有害》物的处理《效率不？应小于99％—。 《 ，     2  有！毒，废，气处理系统应—针对酸？、碱、粉《。尘综合处理》 ：   —  3  酸—、碱、有机、有毒废！气处理系统宜设置备！用处理设备》 ： ，     4 ！ ，酸、碱、有》机、有毒《废气不得采用固【定床吸附剂方式【处理 【     5  酸！、碱、有《毒废气宜采用淋【洗方式？处理处理设备的填】料层：数、厚度和喷淋【药液循环量应—根据有害物入口【浓度、排放标准【等因素计算确定处】理，设备的加药、补水和！排污：应，采用自动方式；【。处，理设备宜就近设置日！用药箱 【。 ，     》6  ？。处理：设备：的排水？应进入废水》处理系统《    ！ 7 ？ ，有机废？气宜：采，用沸石转轮》。吸附：、浓缩？并应经焚《烧炉氧化方式处理；！焚烧后高温气体排入！大气：前，宜设置两《级热：回收装置 ！     8  】剥离设备《有机废气进》入沸石？转轮处理设备前宜】。进行预处理 —   【  9  废气处】理设备采《用的级？数应根据有》害物的种类、初始浓！度、当地《的，排放：标准、处理设备【的效率等《因素确定 ！     》10  两台及两台！以上废气处理设备并！联，运行时应在每台设备！的入口设置电动或】气动密闭风》阀 ： ， ： 9？.，2.6  酸—。、碱、？有机、有《毒，废气经处理后应经排！气筒排入大气—排气筒高度》。应符合现行国家【标准大气《污染物？综，合排放标准GB【 16297和【环境评？。估报告的有关规【定排气筒出口—处风速不宜》小于18m／s【 《 9.2.—7  酸、碱、有毒！和有机排风系统宜在！排气：筒内设置在》线监测取《样传：感器 】9.2.8》  一般《排风系统的》排风：宜作为洁净室的【回风使用《 》 9.2.9  换！。鞋间：。应设置不低于10次！／h的全室排风系】统排风口宜设置在】下部；换鞋》柜宜设置局》。部，排，风，措，施；一？次更衣间宜设—置不低于5次／【h的全室《排，风系统？ ：