9》.，2 ： 采暖、《通风与？废气处理《 ： ： 9》。.2.1  严寒】及寒冷地区各—动力站房《及管廊应根据技【术要求设置防—冻采暖设施其他房间！的采暖设计应—。符合现行国家标【准工业建《筑供暖通风与空【气调节设计规范GB！。 500《。19的有关规定【。 ，。。 9—.2.2《 ， 洁净室(区)内不！应采用散热器—采暖 —。 9.2.—3 ： 洁净室内产生粉】尘和有害《气体的工《艺设备？和辅助设备均—应设局？部排风装《置排风罩《宜为密闭式 — 》9.2？.4  排风系统的！设，。计应符？合下列规定 【   — ， 1  等离子【体增强？化学气相沉》积和干法《。刻，蚀设备的尾》气应设？就地处理《装置 《  》。   2  酸、碱！、有毒和有机废气】。应分开设置排风【系统并应设置备用】。风机：和应急电源 — 《 ，    3 — 阵：列、彩膜《、成盒厂房一—般排风系统应设【。置备用风机》 ？     【4 ：。 有冷凝液》产生的？工艺设？备局部排风管—宜设置坡《度和排？液口：冷凝液应排至相【应的废？水管网中且风管系统！应采取防液体渗漏措！施   ！  5  》有毒排风系统—的风管应采》用内涂聚四氟乙烯的！不锈钢？板制：作 ？ 《    6  有毒！和有机排风应采【取防爆措施 —   【  ：。7  酸《、碱、有《毒和有机《排风系统的风管【不，应穿过防火墙或【防火：分隔物若必须穿过时！不得设？置熔片式防》火阀 【。    《 8  酸、—。碱、有毒和有机排】。风系：统的废气处理—设备应？设在排风机的负压】。端， ， ，。 《    9  有】毒，排风系统的风管应】在便于观察的—位置设置透》明观察？口其管？内风速不应小于10！m／s 【 ：    1》0  工艺设备局】部排：风系统的室外—风管应根据》当地：。气象：条件：设置防结露保温措】施 【   ？。 11  布—置在阵？列，、彩膜、成盒厂房核！心，生产区内《的排风？管道其？管内风速不》。应大于？12m／《s  】   1《2  洁净室的排】风，系统应设置防止【。室外气流倒灌—的措：施 — 9.2.》5  废《气处理？系统的设计应—符合：下列规定 【 ，     1  ！等离子体增强化学气！相沉：积和干法刻蚀—设备尾气《。宜设：置两级？就地处？理装置对《硅，烷和二氧化》硅的去除《率不应小于98％对！其他有害物的处理效！率不应小于99【％   ！ ， 2  有毒废【气处理系统应针【对酸：。、碱、粉尘》综合处理 【。 ，   《。  3  酸、碱、！有机、有毒废气【处理：系统宜设置备用处理！设备 — ，    《 4  酸、—碱、有机、有毒【废气不得采用—。固定床吸附剂方式】处理： 《     5【  ：酸、碱、有毒废气】宜，采用淋洗方式处【理处理设备的—填料层数、厚—度和喷淋药液—循环量应《根据有害《物入口浓度》、排放标准等因素计！算确定处理设备的】加药、补水和排污】应采用？自动方式《；处理设备宜—就近：设置日用药》箱 ： ？    》 ，6 ： 处理设备的排水】应进：入废水处《理系：。统 ？ ，     7 ！ 有机废气》宜采用沸石转轮【吸附：、浓缩？并应经焚烧炉氧化方！式处理；焚烧后高】温气体？排入大气前宜设【置两级热《回收装？置 ？     】8  剥《离设备有机废—气进：入沸石转轮》处理设？备前：宜进行预处理 ！     【9 ： 废气处理设备采用！的，级数：应，根据有害物的—种类、？初始浓度《、，当地的？排放标准、》。处理设？备的效率等因—素确定 《 ，  》。   10》  两台及两台以】上废气处理设备并】联运行时应在每【台设备的入口设【。置，电动或？气动密闭风阀 】 ，。 9.2.6 ！ 酸、碱、有机、有！毒废气经处理后【应经排？气筒排？入大气排气筒—高度应符合》现行国家标准—。大，气污染？物综合排《放标准GB 162！97和环境评—估，报告的有关规定【排气筒？出口处风《速不宜小于18m】／s： ，。 ： 9.2.【7，  酸、碱、有毒】和有机排风》系统：宜，。在排气筒内设置【在线监测取样传【感器： 《 ：9.2？.8  一般排风】系统的排风宜作【。为洁净室的回风使用！ 9.】2.9  》换鞋间应设》置不低于10次／】h，的全室？排风系统排风口宜设！置，在下部；换鞋—柜宜：设置局部排风措施】；一次更衣间宜设】置不低于5次／h的！全室排风系统 】