9》.2  采暖、通】风与：废气处理 】。 9.2.1！  严寒及寒冷地区！各动力站房及管【廊应根据技术要求设！置防冻采暖设施其他！房间的采暖设计应符！合，现行国家标准工【业建筑供《暖通风与空气调【节设计？规范GB《 50019的有关！规定 】9.2.2》  洁净室(区【)内不应采用—散热器采暖 【 9》。.2.3  洁【净室内产生》粉尘和有害气体的】工艺设备和》辅助设备均应—设局：部，排风装置排风罩宜】为密闭式 】 ， 9.2《.4  排》风系：统的设计应符—合下列？。规定 《 ， ：  ：   1  等离子！体，。增，强化学气相沉—积和干法刻》蚀设备的尾》。气应设就地处理装】。置  】 ，  2  酸、【碱、有毒和有机废】气应分？开设置？排，风系：统并：应设置备用风机【和应急电源 】 ：     3  阵！列、：彩膜、？成盒厂房一般排【风系：统应：设置备用风》机 》 ：    4》  有冷《凝液：。产生的工艺设—备局部排风》管宜设置坡度和【排液口冷凝液应排】。至相应的废水—管，网中且风管系统应采！取防液体渗漏措施】 ： ？     5  】有毒排风《系统的？风管应采用内涂聚四！氟乙烯的不锈钢板制！作 ：    】 6  有》毒和有机《排风应采取防—爆，措施 】    7  酸】、碱、有毒和有机排！风系统？的风：管不应穿过》防火墙？或防火分隔物若【必须穿？过时不得设置—熔片式防火》阀 【    8  【酸、碱、有毒和有】机排风？系统的？废，。气处理设备应设【在排：风，机的负压端 ！。     9  ！有毒排风系统的【风管应在便于观察的！位置设置透》明观察口其》。管内风速不应—小于10m／s ！    【 10 《 工艺设《备局部排风系统【的室外风管应根据】当地气象条件设置防！结露保温措施 【 ？    》 11  布—。置在阵列、彩膜、成！盒厂房核心生—产区：内的排风管道—其管内风速》。不应大于1》2m／s 】     —12  《洁净室的排风系【统应设？。置防止室外气流倒】灌的措施 【。 9.》2.5？  废气处理系统的！设计应符合下列【规定 【     1 【 等离子体增强【化学气相沉积和【干法刻？蚀设备？尾，气宜设置两》级就地处《理装置对《硅烷和二氧化硅【的，去除率不应小—。。于98％《对其他有害物—。的处理？效率不应《。小，于99％ ！     》。。2  ？有毒废气处理系统】。应针对酸、碱、粉】尘综：。合处理 —     3】  酸？、，碱、有机、有毒废】气处理系统》宜设置？备用：处理设备 ！。    《 4：  酸、碱、—有机、有毒》废气不得采用固【定床吸附剂方式处理！  【   ？5  酸《、碱、有《毒废气宜采用淋洗方！式处理处《理设备的填料层【数、厚度和》喷淋药液循环量【应根：据有害物入口浓【度、：排放标准等因素计算！确定：处理设备《的加药、补》水和：排污应采用自动【方式；处理》设备宜就近设置【日用药箱 【     6】  处理设》。备的排水应进入【废，水处理系统》    ！ 7  有机废【气宜采用沸石转【轮吸附、浓缩并应】经焚烧炉氧》化方：式处理？。；焚烧后高温—气体排入《大气前宜设置两【级，热，回，收装置 【  ？   8  —剥离设备有机废气】。进入沸？石转轮处理设—备前宜进行预—处理 】。    9  废气！。处理设备采用的级数！应根：据有害物的种类、初！始浓度、当地的排】放标准？、处理设备的效【率等因素确定 】     】10  两台及【两台以上废气处【。理设备并《联运：。行时应在每》台，设备的入口设置【。电动或气动》密闭风阀 — ？ 9.2.6—  酸、碱、有机、！有毒废气《经处理后应经排气】筒排：入大气排气筒—高度应符合现行【国家标准大气污染物！综合排？放标准GB 16】297和环境评【估报告的有关规定】排气筒出《口处：风，速，不宜小于18m／】s， 9.2！.7 ？ 酸：、碱、？。有毒和？有机：排风系统宜》。在排气筒内设置【在线监测《取样传感器 】 9.2.8】  一般排》风系统？的排风宜作为—洁净室？的回：风使用 《 9.2.！。9，。  换鞋间应设置不！低于10《次／h的全室排风系！统排风？口宜设置在》下部；换鞋柜宜【设置局部排风措【施；一？。次更衣间宜设置不】低于5次／h的全室！排风系统 》 ，