9 【供暖、通《风、空?气调节与净化—
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9.1》 一般规定
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9.1《.,。1 洁净室(【区)的?空气洁?净度等级以及洁【净室形式应》。根,据生产工艺对—生产环境《。。的要求确定
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9.1.!2 : 洁:净室(区)的—气流组织应》根据洁净度等—级以及生产工—艺要求确定
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9.1.3【 净?化空调系统》分开设置《的,原则除应符》合现行?国家:标,准电子工业洁净厂房!设计规范G》B 504》72的有关规定【外还应符《合下列?。规定
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—。 1 温、湿!度基数?差别大的《洁净:。室,应分开设置净化【空调系统;
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》 2 温】、湿度允许波动范】围差别大的洁净室】应分开设置》净化空调《系统
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9.1.4— 洁净室内的新风!量应:。取下列两项中的最大!值
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? , 1 补偿室内】。。排风量和《保持:室内正压《值所需新风量之和】;
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2 ! 保证供给》洁净室内每人每【小时的新风量—不小于?。40m3
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9?.1.5 洁净室!与周围的空间应保】持一定的《静压:差,。静,压差应符合下列规定!
】 1 《 不同等级的洁净】室之:间的静压差不—宜小于5《Pa;
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—2 : 洁净室与非洁净室!之间的静压差不【应小于5《P,a;
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—3 洁净》室与室外的静压差不!应小于10Pa
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9.1【.,6 : 布置在阵列、彩膜!、成盒厂房核—心生产区的风管【、水管应采》取减振措施
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