9》 供暖、通风、】空气调节与净化
!
9!.1 ? 一般?规定
】
:9.1.1 洁净!室(区)的》空气洁净度等—级以:及洁净室形式应根】据生产工《艺对生产环境—的要求确定》
:
,
9《.1.2 洁净室!。(区)的气流组织应!根据洁净度等—级以及?生产工艺要》。求确定
!9.:1.3? 净化空调系【统分开设置的原则】除应符合现》行国家?标,准电子工业洁净厂房!设计规范GB— 50472的【有关规定外还应【符合下列《。规定
《
1! 温、湿度—基数差别大的洁净】室应:分开设置净化空调系!统;
【
,。 , 2 温、湿!度,允许波?动范围差别大—的洁净室应分—开设置净化空—调系:统
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9.?1.4? 洁?净室内的新风—量应取下列两项中的!最,大值
【。
1 补!偿室内排风量和【保持室内正》压值所需新风量之和!;
】 2 》 保证供给洁—净室内每《人每小时的》。新风:量不小于40m3】。
—9.:1.5 洁净【室与:周,围的空间应保持【一定的静压差—静压:差应符合下列—规定
《
:
《。 1?。 不同等级—的洁净室之间的【。静压差不《。宜小:。于5Pa;
!
—。2 : 洁净室《与非洁净《室之间的静压差不应!。小于5Pa》;
?
?
》3 洁净室与【。室外的静压》差不应小《于10Pa
】
9《。.1.6 布置】在阵:列、:彩膜:、成盒厂房》核心生产区的风【管,、水管应采取—减振措施
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