安全验证
9  【。供暖:、通风、空》气调节与净化 ! 9】.1  一般规定 ! 9】.1.1  洁净室!(区)的空气洁【净度:等,级,以及洁净室形—式应根?据生:产工艺对生产环境的!要求确定 】 9.1》.2  洁净室【(区)的气流组【织应根据洁》净度等级以》及生产工艺要求【。。确定:。。。。。 9.】1.3?  :净化空?调系统?分,开设置的原则—除应符?合现行国《家标准?电子工业洁》净厂房设计规范GB!。 504《72:的有关?规定外还《应符合下列规定 】  —   1  温、湿!度基数差别大的洁】净室应分开设置净】化空调?系统:; 》    》 2  《温、湿度允许波动范!围差别大的洁—净室应分开设置净】化空调系统 【 9.1.】4  洁净室内【的,新风量?应取下列两项中的】最大值?。    ! 1  补偿室【内排:风量:和保:持室内?正压值所需新风量之!和; 》    — 2  保证—供给洁净室内每【人每小时的新风量】不小于40m—3 : 《 ,9.:。1.5  洁净室与!。周围的空间应保持】一定的静压差静压】差应符合下列—规定 —     —1  不同等—级的洁净室之—间的静压差不—宜小:于5Pa; 】。 ?。   ? 2  洁净室与非!洁净室之间的静压】差不应小于5P【a; 》    —。 3:  洁净室与室外的!静压差不应小于1】0Pa 】 ,9.1.6  布】置,在阵列、彩》膜、成?盒厂房核心生—产区的风管、水管应!采取减?振措施 》