9 供】暖、通?风、空?气调节与净化—
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,9.1? 一般规》定
》
9.1【.1 洁净室(】区)的空气洁净度等!级以及洁净室形【式应根据生产工艺】对生产环《境的要?求确定?
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?9.1.2》 , 洁净?。室(区)的气流组织!应根据洁净度等级以!及生产工艺要—求确定
!9.:1.3? , 净化?空调系统分开设置的!原则除应符合现行国!家标准电子工业洁净!。厂房设计规》范GB? 5:。0472的有—关规定外还应—。符合下列规定
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【1 温、湿度【基数差别大》的洁净室《应,分开设置净化空调系!统;
?
— 2 温、】湿度允许波动范围】差别大的《。洁净室应《分开设?置净化?空调系统
【
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9:.,1.:4 洁《净室内的《新风量应取下列两项!。中的最大值
】
1】 补偿室内排风量!和保持室内正压值所!需,新风量?之和;
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2 !。 保证供《给洁净?室,内每人?每小:时的新风量不小于】40:。m3
》
9《.,1.5 《 洁净室与周围的】空间应保持》一定:的静压差静压差应符!合下列规《定
【 《1 不《同等级的洁净室之】间的静压《差不:宜小于5Pa;
】
》 2 — 洁:。净室与?非洁净室《之间的静压》差,不应小于《。。。5P:a;
?。
?
3 】 ,洁净室与室外的静压!。差不应小于10【Pa
》
9.1.6 ! 布:置在阵列、彩膜【。、成盒厂房核心【生产区的风管—、,水管应采《取减:振措施
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