9 【。供暖:、通风、空》气调节与净化
!
9】.1 一般规定
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9】.1.1 洁净室!(区)的空气洁【净度:等,级,以及洁净室形—式应根?据生:产工艺对生产环境的!要求确定
】
9.1》.2 洁净室【(区)的气流组【织应根据洁》净度等级以》及生产工艺要求【。。确定:。。。。。
9.】1.3? :净化空?调系统?分,开设置的原则—除应符?合现行国《家标准?电子工业洁》净厂房设计规范GB!。 504《72:的有关?规定外还《应符合下列规定
】
— 1 温、湿!度基数差别大的洁】净室应分开设置净】化空调?系统:;
》
》 2 《温、湿度允许波动范!围差别大的洁—净室应分开设置净】化空调系统
【
9.1.】4 洁净室内【的,新风量?应取下列两项中的】最大值?。
! 1 补偿室【内排:风量:和保:持室内?正压值所需新风量之!和;
》
— 2 保证—供给洁净室内每【人每小时的新风量】不小于40m—3
:
《
,9.:。1.5 洁净室与!。周围的空间应保持】一定的静压差静压】差应符合下列—规定
—
—1 不同等—级的洁净室之—间的静压差不—宜小:于5Pa;
】。
?。 ? 2 洁净室与非!洁净室之间的静压】差不应小于5P【a;
》
—。 3: 洁净室与室外的!静压差不应小于1】0Pa
】
,9.1.6 布】置,在阵列、彩》膜、成?盒厂房核心生—产区的风管、水管应!采取减?振措施
》