。 ？ 9.3  空气】调节与净《化 ？ ？。 ， 9.3.1  ！净化空气调节系统的！新，风应集中《进行热、湿》、净化？处理新风处理机组】的设置应符合下列】。。规，定   ！  1？  ：送，风机应采取变频措施！； 《 ：     》2  空气应经【过粗效、中效—、高效过滤器—。三级处理； 】 ？。    3 — 阵列、彩膜—、成盒厂房应—。设置备用新风处理机！组；：   】  4 《 阵列、彩膜、成】盒厂房？的电：。机与：风，机应采用直联—驱动方式《且有良好的减振措】施； 【     5  新！风的吸入口位置应远！离排放有害》物或可燃物的排气】口；：    ！ 6  加湿方式宜！采，用温水淋水室； 】 ：  《   ？7  应有良好的】气密性？在，工作压力下》的漏风率不得大【于1：％ ： 9.3.！2，  阵列、彩膜、成！盒，厂房净化空气调节】系统的？循环风宜采用风【机过滤器机组—和干冷？却盘管处理模组和背！光源厂房《净，化空：气调节系统的循【环风宜？采用循环空气处理】机组处？理 》 9.3.3【  阵？列、彩膜、成—盒，厂房的洁净室宽【度超过？80m时宜》在宽度方向布置不同！阻力的回风》高架地板《 9.3！.4  干冷却盘管！的设置应符合下【列规定 《 《 ，    1  迎】面风速不宜》。超过2.5m／s】； —     》2  空《气侧：阻力不应大于—40：Pa； 《 ， ：    》 3  布》置在同一《洁净室(区)内的】干冷却盘管在工作条！件下空气侧阻力相差！不得大于10％；】 》     4  】冷冻水？的供水温度》宜高于洁净》室(区)内的露点】温度； 【 ：    5  【干冷却盘《管，应设置排水系统非落！地安装的干冷—。却盘管应设置积水】盘 【9.3.5  风】机过滤器机》组的设置应符合下】列规：定  】   ？1  应《根据空气洁》净度等级和送风量选！用； 《    【 2  宜采用直流！调速电机； 】  《。   3  机组】应采取消《音措施消音》装置不得采用—。产尘：材料且其《燃烧：性能等级应达到B】级； 【 ，    4》 ，。 洁净度《等级为7《级，～9级的洁净—室(区)不宜采用】聚四氟乙烯滤—料的过？。滤器； —     5 ！ ，应便于？安装、维修及过滤】器更换 — ，。 9.3.6 】 当采用《新风：处理机？组＋风？机过滤器机》。组＋干冷《却盘管的净化空调】系统时洁净》区各部？位的：。风速应符《合下列规定 —    】 1：  上技《术夹层不应》大于4m／s； ！   —  ：。2  下技术夹层】不应大于3m／【s； 【     3 【 回风夹道不—应大于4m》／s — 9？.3.7  空调】。冷、热源和水系【统的设置应符合下列！规定 【  ：   1  空调】冷媒应采用低温【和中温冷冻水系统；！除新风处《理机组的二级冷【却盘管使用低温冷】冻水外？其余：。。冷却：盘管宜？使用：。中温冷？。冻水： 《    》 2 ？ 干冷却《盘管的中温》冷冻水系统》宜采用同程式供【水干管的《末端宜与回水干管】间，设，置旁通管 》 ： ：     》3  布置在吊顶】内、下技术》夹层及回《风夹道内的中—温冷冻水系统—供水干管应》保温 】    《4  布置在—阵列、彩膜》、成盒厂房核心【生产区内的冷、【热水管的固》定支：架不：应设置在建筑—结构体系上 ！     5【  变电所内不宜】布置空？气调节器《不得布置《各种水阀和水系统】配件 ？ ： ， 9.3.8  ！洁净室的送风量应】符合现行国家—标准：洁净厂房设计—规范GB 50【073的有关规【定 — 9.3《.9  洁净室【的噪声控制设—计的噪声级(—空态)应《符合现行国家—标准电子工》。业洁净厂房设计【规范GB 504】72的有关规定【但当洁净室采用【风，机，过滤器机组和—干冷却盘管》处，理循环空气时单向】流和混？合流洁净室的噪声级！(，空态)不《应大于70d—B，(A)非《单向流洁《净室的噪声》级(空态)不应大于！65dB(A)【 ：