《。9.3  》空，气调节与净》化 】 9.3.1  】净化空气调节系【统的新？风应集中《进行热、《。湿、净化处理新风】处理：机组：的设：置应符合下》列规定 —     1 ！ 送风？机应采取变频措【施；  ！   2  空气】应经过粗《效，、中效、高效—过滤器三级处理； ！   【  3？ ， 阵列、彩》膜、：成盒厂房《应设置备用》新，风处理机《组；：    ！ 4  阵列、彩膜！、成盒厂房的电【机，与风：机应采？用直联驱动》方式且有良好的减】振措施； —    【 5  《新风的吸入口位【置应远离排放有【害物或可《燃物的排气口—； —     6  】加湿方式《宜采用温水》淋，。水室； ！    7  应】有良好的气密性在工！作，压力下？的，漏风率不得大于1】％ ： 9—.3.？。2  阵列、彩【。膜、成盒厂房—净化空气调节—系统：的，循环风宜采》用风机过滤》器机组？和干冷却盘》管处理模《组和背光源厂房净化！空气调节《系统的循环风宜采用！循环空气处理—机组处理 【 9.3.3 ！ 阵列、彩》膜、成盒厂》。房的洁净室宽—度超：过8：。0，m时宜在宽度方【。向布置不同阻力的】回风：高架地板 — 9.—。3.4？  干冷《却盘管的设置应符合！下列规定 【     1】。  迎面《风速不宜超过2【.5m／s； ！     2 ！ 空气侧阻力不应】大于40《Pa； 《    】 3  布》置，在同一洁净室—(区)？内的干冷却盘管在工！作条件下空气侧【阻，力相差？不得大？于10％；》   】  4  》冷冻水的供》水温度宜《。高于洁净室(—区)内？的露点温度；—    ！ 5  《干冷却盘管应—设置排水系统非落地！安装的干冷却盘管应！设置积水盘 】 9.3.5 ！ 风机过滤器机组的！。设置应符合下列【。规定 —   《  1  应根【据空气洁净》度等：级和：送风量选用； 】 ，     2】  宜采用直流【调速电机； 】     3 ！。。 机组应《采取消音措施消音装！置不：得采用产《。尘材料且其燃烧【性能等？级应达到B级—；， 》     4  洁！净度：等级为7级》～9：级的洁净室(区)】不宜采用《。聚四氟乙烯滤料【的过滤？器；：  【。。   5  应便于！安装：、维：修及：过滤器更《换 》 9.3.6 】。 当采用新》风处理机组＋—风机过滤器机组＋干！冷却盘管的》净化空调系统时洁净！区各部位的风速【应符合下《列规定 ！。    1  【。上技：术夹：层不应大于4—。m／s； —   —  2？  下技《术夹层不应大于【3，m／s； 》   【  3？  回？风夹道不应大于4】m／：s， 9.】3.7  》空调冷、热源和水系！。统的：设置应符《合下列规《定 —     1—  空调冷媒—应采用低温和中温】冷冻水系统；—除新风处理》机组的二级冷却【盘管：使用低温冷》冻水外其余冷—却盘管宜使用中温】冷冻水 】   ？  ：2  干冷却—盘管的中温》。。冷，冻水系统宜采用同程！。式供水干管的末端】宜与回水干》管，间，设置旁通《管 ： ，  》   3  布置】在吊顶内、下技术夹！层及回风夹道内的中！温冷冻水系统供水】干管：应保温 《     ！4  布置在阵列、！彩膜、成盒》厂房核心生产区【内，的冷、热《水管的？固定：支架不应设置—在建筑结构》体系上 ！    5  变】电所内不宜布置空气！调节：器不得布置各种水阀！和水系统配件 】。 ， 9.》3.8？  洁净室的送【。风量应符《合现行国家标—准，洁净厂？房设计规范》GB 5007【3的有关规定— 9【.3.9  洁净】。室，的噪声控制设计的】噪声级(空态—)应符合现》行国家标《准电子？工业洁净厂房设计规！范GB 5》0472的有关【规定但当洁》净室采用风机过滤器！机组和干冷却—盘管：处理循环空气—时单向？流和混合流洁净室的！噪声级(空》态)不应大于70d！B(A)非单向流洁！净室的噪声级(【空态)？不应大于65dB】(A) 》