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9.3 】。 空气调节与净化 ! ? 9.—3.1  净化【空气调节系》统,。的新风?应,集中进?。行,热、湿、净化处理新!风处理机组的设置】应符合下列规定【。    ! 1 ? 送风机应》采取变频《措施; 》    【 2  空气应经过!粗效、?。中效、高效过滤器三!。级处理; 】 ,     3  阵!列、彩膜、成—盒厂房应《设置:备用新风处理机组】; 【    《4  ?阵列、彩膜、—成盒厂房的电机【与风机应采用—直联驱动方式且【有良好的减》振措施;《   】  5  新—。风的吸入口位置【应远离排放有害【物或:可燃物?的排:气口;? 》    《 6  加》湿,方式宜?采用温?水淋水室; 【   — , 7: , ,应有良好的气密【性在工作压》力下的漏风率不得】。大,于1%? 9【.3:.2  阵列—、彩膜、成盒厂房净!化空气调节系—。统的:循,环风宜采用风—机过滤器机组和干冷!却盘:管处:理模组和背》光源厂房净化空气】调节系统的循—环风:宜采用循环空气处理!机组处理 】 :9.3.3》。。  阵列、彩膜、成!盒,厂房的洁净》室宽度超过》80m?时宜在?宽,。度,方向布置不同—阻力的回风高—架地板 】 9.3.4—。  干冷却盘管【的设置应符合—下列规定 】   《  1  迎面风速!不,宜超过2.5—m/s; 【 ?    2  空气!侧阻力不应大—于4:0Pa;《 《     —。3  布置在同一】洁净室(区》)内:的干冷却盘管—在工作?条件下空气》侧阻力相《。差不得大于1—0%; !。    4》  冷冻水的供水】温度宜高于洁—净室(区)》内的露点温度—; :  —   5 》 干:。冷却盘管应设置排】水系统非落地—安装的干冷却盘管】应设置?积,水盘 【 9.3.》5  风机过滤器机!。组的设置应符合下】列规定 —  《 ,  1  应根据】。空气洁净度等—级和送风量选用; !   【 , 2:  宜采用直流【调速电机; 【     3! , ,机组应采取消音措】施消音装置不得【采用产?尘材料且其燃烧性能!等级应达到B级; !    】 4  洁净度等】级为7?级~9级的洁净室(!区)不宜采用聚四氟!乙烯滤料的过滤器;! ? ? ,   5  应便】于安装、维修及过】。滤器更换 —。 ?。 9.3.6 【 当采用新风处理】机组+风机》。过滤器?机组+干冷却盘管的!净化空调《。系统:。时洁净区各部—位的风速应符合【下,列规:定   ! ,。。。 1  上技术夹】。层,不应大于4m/s】;, :  》   2 》 下技?术夹层不《应大于3m/—s,;   !  3  回风【。夹,道不应大于4m/s! 9.】3.7  空调冷】、热源和水系—统的设置应符合下列!规定 ? ?     —1  空调冷媒应采!用低:温和中温冷冻—水,系统;除新风处理】机组的二级冷却盘】管使用低温冷—。冻水外其余》冷却盘管宜使用中温!冷冻水 》。   —  2  干冷却盘!管的中温《冷冻水系统宜采用】同程式供水干管的】末端宜?与,回水干管间设—置旁通管 —     】3  布置在吊【。顶,内,。、下技?术夹:层及回风《夹,道内的中《温冷冻水系统供【水干管应《保温 】    4  布】置在阵列、彩—膜、成?盒厂房核心生产【区内的冷《、热水管的固定【支架不应设置—在建筑结构体—系上  !  :。 5  《变电所内不宜布置空!气调节器《。不得布置各种水【阀和水系统》配件: —。。9.3.8》  洁净室的—。送风量应符合现【行国家标准洁净厂】房设计?规范GB 50【。073的有关规定】。 : : , 9.3.》9,  洁净《室的噪声控制—设计的噪声级—(空态)应符合现】行国家标准电子工业!洁净:厂房设计规范GB】 50472的【有,关规定但当洁—。净室采用风机过滤】器,机组和干冷却—盘管处理循》环空:。气时单?向流和混合流洁净】室的噪?。声级(?空态)不应大于70!dB(A)》非单向流《洁净室的噪声级(】空态)不应》。大于:65dB(A)【 :