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9》.3  空气调节与!净,。。化 《 9.3.!1  净《化,空气调节系统的【新,风应集中《进行热?。、湿、净《化,。。处理新风处理机【组的设置应》符合下列规定 !  《   1  送【风机应采取》变,频措施; 】 ,     》2  空气应经【过粗效、中》效、高效《。过滤:。器三级处理;— 《     3【。  :阵列、彩《膜、成盒厂房应【设置:。备用新风处理机【组; 《  》   4  —阵列、彩膜、成盒】厂房的电机与—风机应?采用直联驱动方【式且有良好》的减振措施》; 【    5 — ,新风:的吸入口位置—应远离排放有害物】或可:燃物:的排气?口; —     —6  ?加,湿,方式:宜采用温《水淋水室; !   《  7  应有良好!的气密性在工作压】力下:的漏风率不得大于】1% 【 9.?3.2  阵列、彩!。膜、成盒厂房—净化:空气调?节系统的循环风宜采!用风机过《滤器机组和干冷【却盘管处理模组和】背光源厂《房净化空气》调节系统《的循环风宜》采用:。循环:。空,气处理?机组处理 》 《 9.3《.3:  阵列《、彩膜?、成盒?厂房的洁净室—宽度超过80m时宜!在宽度方向布置【不同阻力的回风【高架:地板 】9.3.4  干冷!却盘管的设置应【符合:下列规定 》 ,。     1!  迎?面,风速不宜超过2.5!m/s;《 —    2》  空气侧阻力不】应大于40Pa;】  【   ?3  布置在同【一洁净室(区)【内,的干冷却《盘,管在工作条件下空气!侧阻力相差》不得大于10%;】 :     】4  冷冻水的供水!温度:宜高于洁净》室(区)内的露点温!。度;:  【   5《  干冷却盘管【应设置排水系统非落!地安装的《。。干,冷却盘管应设置积水!盘 ? 9》.3.5  风机过!滤器机组的设—置应符合下列规定】 《   《  1  应根据空!气洁净度等》。级和送风量选用; !。 《     2 【 宜采用直流调速】电机; 【     3【  机组应采取消音!措,施消音装置不得采用!产,尘材料且其燃—烧性能等级应达到B!级; ? ?     4 】 洁净?度,等级为7级~9【级的洁净室(区)不!宜采用聚四氟乙【烯滤料的过滤器【;   !  5 《 应便于安装、【维修及过《滤器更换 》 , ? 9.?3.6 《 当采?用新风处理机组+风!机过滤器机组+干冷!却,盘,管的净?化空调系统时洁【净区各部位的风速应!符,合下列规定 —。    】 1:  上技术夹层不】应大于4m/s【; 》     —2 : 下技术夹层不应大!。于3m?/s:; —  : ,。  3  回风夹道!不应大于4m/s ! ? , 9.3.》7  空调》冷、热源和水系【统的设置《应符合下列规定 】   【  1  空调冷媒!应采:用低:温和中温冷》冻水系统;除—新,风处理机组》的二:级冷却盘管使—用低温冷冻水外其余!冷却盘管宜使用【中温冷冻水》。   】  2  干冷却盘!管的中温冷冻水系统!宜采用同《程式:供,。水干管?的末端宜与回水【干管间设置旁通管 !。 ?     3 】 布置在吊》顶内、下技术夹层及!回,风夹道内《。的中温冷冻水系【。统供水干管应保温 ! 》   ?。 4  《布置在阵《列、:彩膜、成盒厂—房核心?生产区内的》冷、:热水管?的固定?支架不应设置在建】筑结构体《系上: — ,   5 》 变电?所内不宜布置空【气调节?器不:得布:置,各,种水阀和水系统【配件 》 9.》3,.,8  洁净室的送】风量应符合现行国家!标准洁净《。厂房设?计规范GB》 50073的有关!。规定 】9.3.9  洁净!室的噪声《控制设计的噪声级(!空,态)应符合现—行国家标准电子【。工业洁净厂房设计规!。范GB 504【72的有《关规定?但当洁净室》采用风机《过滤器?机组和干冷却—盘管:处,理循环空气时单向】流和:混合流洁净室—的噪声级(空—。态):不应大于《70dB《(A)非《单向流洁净室的噪】声级(空态)不【应,大于65dB—(A) 》