9》.3  空气调节与！净，。。化 《 9.3.！1  净《化，空气调节系统的【新，风应集中《进行热？。、湿、净《化，。。处理新风处理机【组的设置应》符合下列规定 ！  《   1  送【风机应采取》变，频措施； 】 ，     》2  空气应经【过粗效、中》效、高效《。过滤：。器三级处理；— 《     3【。  ：阵列、彩《膜、成盒厂房应【设置：。备用新风处理机【组； 《  》   4  —阵列、彩膜、成盒】厂房的电机与—风机应？采用直联驱动方【式且有良好》的减振措施》； 【    5 — ，新风：的吸入口位置—应远离排放有害物】或可：燃物：的排气？口； —     —6  ？加，湿，方式：宜采用温《水淋水室； ！   《  7  应有良好！的气密性在工作压】力下：的漏风率不得大于】1％ 【 9.？3.2  阵列、彩！。膜、成盒厂房—净化：空气调？节系统的循环风宜采！用风机过《滤器机组和干冷【却盘管处理模组和】背光源厂《房净化空气》调节系统《的循环风宜》采用：。循环：。空，气处理？机组处理 》 《 9.3《.3：  阵列《、彩膜？、成盒？厂房的洁净室—宽度超过80m时宜！在宽度方向布置【不同阻力的回风【高架：地板 】9.3.4  干冷！却盘管的设置应【符合：下列规定 》 ，。     1！  迎？面，风速不宜超过2.5！m／s；《 —    2》  空气侧阻力不】应大于40Pa；】  【   ？3  布置在同【一洁净室(区)【内，的干冷却《盘，管在工作条件下空气！侧阻力相差》不得大于10％；】 ：     】4  冷冻水的供水！温度：宜高于洁净》室(区)内的露点温！。度；：  【   5《  干冷却盘管【应设置排水系统非落！地安装的《。。干，冷却盘管应设置积水！盘 ？ 9》.3.5  风机过！滤器机组的设—置应符合下列规定】 《   《  1  应根据空！气洁净度等》。级和送风量选用； ！。 《     2 【 宜采用直流调速】电机； 【     3【  机组应采取消音！措，施消音装置不得采用！产，尘材料且其燃—烧性能等级应达到B！级； ？ ？     4 】 洁净？度，等级为7级～9【级的洁净室(区)不！宜采用聚四氟乙【烯滤料的过滤器【；   ！  5 《 应便于安装、【维修及过《滤器更换 》 ， ？ 9.？3.6 《 当采？用新风处理机组＋风！机过滤器机组＋干冷！却，盘，管的净？化空调系统时洁【净区各部位的风速应！符，合下列规定 —。    】 1：  上技术夹层不】应大于4m／s【； 》     —2 ： 下技术夹层不应大！。于3m？／s：； —  ： ，。  3  回风夹道！不应大于4m／s ！ ？ ， 9.3.》7  空调》冷、热源和水系【统的设置《应符合下列规定 】   【  1  空调冷媒！应采：用低：温和中温冷》冻水系统；除—新，风处理机组》的二：级冷却盘管使—用低温冷冻水外其余！冷却盘管宜使用【中温冷冻水》。   】  2  干冷却盘！管的中温冷冻水系统！宜采用同《程式：供，。水干管？的末端宜与回水【干管间设置旁通管 ！。 ？     3 】 布置在吊》顶内、下技术夹层及！回，风夹道内《。的中温冷冻水系【。统供水干管应保温 ！ 》   ？。 4  《布置在阵《列、：彩膜、成盒厂—房核心？生产区内的》冷、：热水管？的固定？支架不应设置在建】筑结构体《系上： — ，   5 》 变电？所内不宜布置空【气调节？器不：得布：置，各，种水阀和水系统【配件 》 9.》3，.，8  洁净室的送】风量应符合现行国家！标准洁净《。厂房设？计规范GB》 50073的有关！。规定 】9.3.9  洁净！室的噪声《控制设计的噪声级(！空，态)应符合现—行国家标准电子【。工业洁净厂房设计规！。范GB 504【72的有《关规定？但当洁净室》采用风机《过滤器？机组和干冷却—盘管：处，理循环空气时单向】流和：混合流洁净室—的噪声级(空—。态)：不应大于《70dB《(A)非《单向流洁净室的噪】声级(空态)不【应，大于65dB—(A) 》