9》.，3  空气调节【与净化 》 《 9.《。3，.1  净化空气调！节系统的新风应【集中进行热》、湿、净化处—理新风？处理机？组，的设置应符》合下列规定 — 《     1  送！风机：应采取？变，频措施； 【 ，    》 2：  空气应》经过粗效《、中效、高效—过滤器三《级处理；《  【 ，  ：3  阵列》、彩膜、成》盒厂房？应设置备用新风处理！机组； 【 ：    4  阵】列、彩膜、成盒厂房！的电机与风》。机应采？用直：。联驱动方式》且有良好的减振【。措，施，；  】   5  新风的！吸入口位置应远离】排放有？害物或可《燃物的排气》口；  ！  ： 6  加湿方式宜！采用温水淋》水室； 》  》   ？7  应有良好【的气密性《在，工作压力下的漏风】率不得大于》1％： —9.3.2  【阵列、彩膜、成【盒厂房净《化空气调《节系统的循》环风宜采用风机【过滤器机组和干冷】却盘管？处理：模组和背光源厂房净！化空气调节系统【的循环风宜》采用：循环：空气处理机组处理 ！ ： ？9，.，3.3  阵列【。、彩膜、成》盒厂：房的：洁净室？。宽度超过80—m时宜在宽》度方向布置不同阻】力的回风高架地板】 9【.，3.4  干冷却】盘管的设置》应符合下《。列规定 》 ？     1  】迎面风速不宜—超过2.5m／【s； —。     2  ！空气侧阻力不应大】于40Pa； ！ ：。     3 【 布：置在同一洁净室【(区)内的干—冷却盘？管在工作条》件下空气侧阻—力，相差不得《大，。于10％《。； ： 》   ？ 4：  冷冻水》的供水温度宜高【于洁净室(区—)内的露点温度；】    ！ 5  干冷却【盘管应设置排水系统！非落地？安装的干冷》却盘管应设置积水盘！ ？ 9.》3.5？  风机《过滤器机《组的设置应符合【下列规定 —    【 1  应》。。根据空气洁净度等】级和：送风量选用； 】 ：    》 2 ？ 宜采？用直流？调速电机；》 》 ，    3 — 机组应采取消【音措：施，消音装置不》得，采用产尘材料且其】燃烧性能等》级应达到B级；【 ？     4】  洁净度》等级：为7级～9级—的，洁净室(区)—不宜采用聚》四氟乙烯滤料—的过滤器《； 《     5 ！ 应便？于，安装、维修及过【滤器更换《 9【.3.6  —当采用？新风处？理机组＋风机—过滤器机组＋干冷却！盘管的净化空调系统！时洁净区《各部：位的风速应符合下列！规定 》 ：   ？ ， 1  《上技术夹层不应大于！。4m／？s； 【。     2—  下技术夹—层不应大于》3m／s《； —     3 【 回风夹道不—应，大，于4：m／s？ —9.3.《7  空调冷—、热源和水系统的】设置应符《合下列规定》 ， ， 《    1  空】调，。冷媒应采用低温【和中温冷冻》水系统；《除新：风处理机《组的二级冷却盘管使！用低温冷冻》水外其余冷却盘管】。宜使用？中温冷冻水 【    【 ，2，  干冷却盘管的】中温冷冻水系—统宜采用同程式供水！干管：的末端宜与回水干】管间设？。置旁通管 》     ！3  布置在吊【顶内、下技术—夹层及？回风夹道内的中温冷！冻水系？统供水干管应保温 ！ ， ？ ，    4》  布置在》阵列、彩膜、成【盒厂房核心生产区】内的：冷、热水《管，的，固定支架不》应设置？在建筑？结构：体系上 【     5 】 变电所内不—宜布置？空气调节器不—得布置各《种，水，。阀和水系统配件 】。 ， 9.—3.8  洁—净室的送风量—应，。符，合现行国家标准洁】净厂房设计规范G】。B 5007—3的：有关规定 》 ？。 9.《3.9 《 ，洁净室的噪声—控制设计的噪声【级(空态)应—符合：现行国家标准—。电子工业洁净厂【房设计规范GB【 50472—的有关规定但—当洁净室《采用风机过滤器机组！和干：冷，却盘管处理循—环空气时单》向流和混合流—洁，净室的噪声级—(空态)不应大【。于，70d？B(A)《非单向流《洁净：室，的噪声级(》。。空态)不应大—。于65dB(A【。) ？