。 9.3  ！空气：调节与？净化 】 9.3.1【  净化空气—调节系统的新风应】集中进行热、湿【、净：化处：理新风处理机—组的设置应符合下列！规，定 》     1【  送风机应—采取变频措施； 】 《     2  空！气应经过粗》效、中？效、高？效过滤器《三级处理；》  【   3  —阵列、彩膜、成盒】厂房应设置》备用新风处理机组；！ —  ：  4  》阵列、彩膜》、成盒？厂房的？电机与风机应采用直！联驱动？方式且有良好的【减振措施； ！     5【  新风《的吸入口《位置应远离排放有害！物或可？燃物的排气口；【 ？     6】。  加湿方》式宜：采用温？水淋水室； — ：     7 ！ 应有良好的气【密性在工作》压力下的漏风率不】得大于1％ 【。。 9.3.】2  ？阵列、彩膜、成【盒厂房净化》。。空气调？节系统的循环风宜】采用：风机过滤器机组【和干：。冷却盘管《处理：。模组和背光源厂房】净化空气《。调节系统的循环风】宜采用循《环空气处理机组【处理 【 9.3.3  阵！列、彩膜、成盒【厂房：的洁净室宽》度超：过80m时》宜在宽度方向—布置不同阻力的【回，风高架地板 — 9—.3.4  干冷】却盘管的设置应符】合，下列规定 【 ？   ？ 1  迎面—。。风速不宜超过2.】5m／s； 】     2 ！ 空：气，。侧阻力不应大于40！Pa； 】 ，    3  【布置在同一洁净室(！区)内的干冷—却盘：管，在工作？条件下空气侧阻力相！差不得？大于10《％； 【     4  】冷，冻水的供《水温度宜高于—洁净室(区)—内的露？点温度； 》 《     5  干！冷，。却盘管应设置排【水，系统非落《地安装的干冷却【盘管应设置积水盘 ！ ， 9.3.】。5  风《机过：滤器机组的设—置应符合下列规【定 —   ？  1  应—。根据空气洁》净度等级和送风【量选用； 【     【。2  宜采用直流】调速电机； 】 ，     3 】 机组？应，采取：消音措施消音装置】不得采用产尘—材料且其燃》烧性能等级应达到B！级； 【。。     4 【 洁：净度等级为》7，级～：9，级的：。洁净室(区》)，不宜采用《聚四氟乙烯滤料的】过滤器？。； ？     5！  应便于安装【、，维修及？。过滤器更换 】 ： 9：.3.6  当采】用新风处理》机组＋风机过滤器机！组＋干冷却盘—管，的净化空调系统时】洁净区各部位—的风速应符合—。下列规定 — ：     1 】 上技术夹层不【。应大于4m》／s； 《 》    2  【下技术夹层不应大】于3m？。／s； 《 》    3  回】风，夹道不应大》于4m／s — 9.3】.7  空调冷、】热源和？水系统的设置应符合！下，列规定 》。   —  1  》空调冷？媒应采用低》温，和中：温冷冻水系统；除】新风处理机》组的二？级冷：。却，盘管使用低》温冷冻水外其余冷却！盘，管宜使用中温—冷冻水 】  ：   2  干冷却！盘管的中温冷冻水系！统，宜采用同《。程，式供水干《管的末端宜与—回，水干管间设置旁通】管  】   3  布【置在吊顶内、—。下技术？夹层及回风夹道【内的中温《冷冻水系统供水干管！应，。保温 —     —4  布置》在阵列、彩》膜，、成：盒厂房核心生产【。区内的冷、热水管的！固定支架不应设【置在建筑结构—体，系上 》    — 5：  变电所内—不宜布置空气调节】器，不得布置《各种：。水阀和水《。系统配件 ！ 9.3.8—  洁净室的—送风量应符合—现行国家标准洁净厂！房设计规范GB 】50073的有关】规定 《 ： 9.3》.9  洁净室【的噪声控制设—计的噪？声级(？空态)应符合—现行国？家标准电子工业洁】净厂房？设计规范《GB 5047【2的有关《规，定但当洁净室—采用：风机过滤器机组和干！冷却盘管处理循环】空气时单向流和【混合流洁净室的噪】声级：(空态)《不应大于70dB(！。A，)非单向流》洁净室的噪》声级(空态)不应】大于65d》B(A) —