9.3 】。 空气调节与净化 ！ ？ 9.—3.1  净化【空气调节系》统，。的新风？应，集中进？。行，热、湿、净化处理新！风处理机组的设置】应符合下列规定【。    ！ 1 ？ 送风机应》采取变频《措施； 》    【 2  空气应经过！粗效、？。中效、高效过滤器三！。级处理； 】 ，     3  阵！列、彩膜、成—盒厂房应《设置：备用新风处理机组】； 【    《4  ？阵列、彩膜、—成盒厂房的电机【与风机应采用—直联驱动方式且【有良好的减》振措施；《   】  5  新—。风的吸入口位置【应远离排放有害【物或：可燃物？的排：气口；？ 》    《 6  加》湿，方式宜？采用温？水淋水室； 【   — ， 7： ， ，应有良好的气密【性在工作压》力下的漏风率不得】。大，于1％？ 9【.3：.2  阵列—、彩膜、成盒厂房净！化空气调节系—。统的：循，环风宜采用风—机过滤器机组和干冷！却盘：管处：理模组和背》光源厂房净化空气】调节系统的循—环风：宜采用循环空气处理！机组处理 】 ：9.3.3》。。  阵列、彩膜、成！盒，厂房的洁净》室宽度超过》80m？时宜在？宽，。度，方向布置不同—阻力的回风高—架地板 】 9.3.4—。  干冷却盘管【的设置应符合—下列规定 】   《  1  迎面风速！不，宜超过2.5—m／s； 【 ？    2  空气！侧阻力不应大—于4：0Pa；《 《     —。3  布置在同一】洁净室(区》)内：的干冷却盘管—在工作？条件下空气》侧阻力相《。差不得大于1—0％； ！。    4》  冷冻水的供水】温度宜高于洁—净室(区)》内的露点温度—； ：  —   5 》 干：。冷却盘管应设置排】水系统非落地—安装的干冷却盘管】应设置？积，水盘 【 9.3.》5  风机过滤器机！。组的设置应符合下】列规定 —  《 ，  1  应根据】。空气洁净度等—级和送风量选用； ！   【 ， 2：  宜采用直流【调速电机； 【     3！ ， ，机组应采取消音措】施消音装置不得【采用产？尘材料且其燃烧性能！等级应达到B级； ！    】 4  洁净度等】级为7？级～9级的洁净室(！区)不宜采用聚四氟！乙烯滤料的过滤器；！ ？ ？ ，   5  应便】于安装、维修及过】。滤器更换 —。 ？。 9.3.6 【 当采用新风处理】机组＋风机》。过滤器？机组＋干冷却盘管的！净化空调《。系统：。时洁净区各部—位的风速应符合【下，列规：定   ！ ，。。。 1  上技术夹】。层，不应大于4m／s】；， ：  》   2 》 下技？术夹层不《应大于3m／—s，；   ！  3  回风【。夹，道不应大于4m／s！ 9.】3.7  空调冷】、热源和水系—统的设置应符合下列！规定 ？ ？     —1  空调冷媒应采！用低：温和中温冷冻—水，系统；除新风处理】机组的二级冷却盘】管使用低温冷—。冻水外其余》冷却盘管宜使用中温！冷冻水 》。   —  2  干冷却盘！管的中温《冷冻水系统宜采用】同程式供水干管的】末端宜？与，回水干管间设—置旁通管 —     】3  布置在吊【。顶，内，。、下技？术夹：层及回风《夹，道内的中《温冷冻水系统供【水干管应《保温 】    4  布】置在阵列、彩—膜、成？盒厂房核心生产【区内的冷《、热水管的固定【支架不应设置—在建筑结构体—系上  ！  ：。 5  《变电所内不宜布置空！气调节器《。不得布置各种水【阀和水系统》配件： —。。9.3.8》  洁净室的—。送风量应符合现【行国家标准洁净厂】房设计？规范GB 50【。073的有关规定】。 ： ： ， 9.3.》9，  洁净《室的噪声控制—设计的噪声级—(空态)应符合现】行国家标准电子工业！洁净：厂房设计规范GB】 50472的【有，关规定但当洁—。净室采用风机过滤】器，机组和干冷却—盘管处理循》环空：。气时单？向流和混合流洁净】室的噪？。声级(？空态)不应大于70！dB(A)》非单向流《洁净室的噪声级(】空态)不应》。大于：65dB(A)【 ：