： ：9.3  》空气调节与》净化 》 ： 9.3—.1  净化空气调！节系统的新风—应集中进行热、【湿、净化处理新风处！理，机组的设置应—符合下列规》定 ？    【 1  送》风机应采取变频措施！；，  【   2  空气应！经过粗效、中效、】高，效过滤器三级处理】； ？  》   ？3  阵列、彩膜、！成盒：厂房应设置备—用，新风处理机组—；， ？。     4 ！ 阵列、彩膜、成盒！厂房的？电机与？风，机，应采用直联驱动方】式且有良好》的，减振：措施； —。 ：     5  】新风的吸入口—位置应？远离排放《有害物或可燃物的】排气口？；  】   6《。  加湿方式—宜采：用温水淋水室； ！     7！  应有良好—的气密性在工作【压力下的漏风率不得！大于1％ 》 ？ 9.3.2  ！阵列、？彩膜、成盒》厂房净？化空气调节系统【的，循环风宜采》。用风机过滤器—机，组和干？。冷却盘管处理—模组和背光源—厂房净化《空，气，调节系统的》循环风？宜采用循环空气【处理机组处理 【 9.【3.3  》阵列、彩膜、—成盒厂房的洁净室】宽度超？过，80m？时宜：在宽度方《。向布置不同》阻力的回风高—架地板 】 9.3.4 【 干冷却盘管的【设置应符合下列【规定 《     1！  ：迎面风速不宜超过2！.5m／s； 】    【 2  空气侧【阻，。力不应大于40Pa！； 》    》 3  布置在【同一洁净室》(，区)内的干冷—却盘管在工作条【件下空气侧》阻，力相差不得大于1】0％； 】    《 4 ？ 冷冻水的供水温度！宜，高于洁净室(区)】内，。的露点温度； 【 《     5  】干冷却盘管应设置排！水系统非落地—安装的？干冷却盘管应—设置积水盘》 ， 9.3】.5  风机过滤器！。机组的设置应符【合下列规定》   】  1 《 应根据空》气洁净度等级和送】风量选用《；   ！  2  宜采用】直流调速电机； ！     】3 ： 机组应采》取消音措施消音装置！不得采用产尘材料且！。其燃烧性能》等级：应达到B级； 【。  —   4  洁【净度等？级为7级～9—级，的洁净室(区—)不宜采用聚四氟乙！烯滤料的《过滤器； ！     》5  应《便于安装、维修及过！滤器更换 — ，。 ？9.3.6 — 当采用新风处理机！组＋风？机过滤？器机组？＋，干，冷却盘管的净化空】调系统时洁》净区各部位》的风速应《符合下列规定 【 《     1—。  上技术夹层不】。应大于4m／s； ！ ？。 ，  ：  ： 2  下技术夹层！不应大于3m／s；！    ！ 3  回风夹道不！应大于？4m／s《 9.】3.7  空—调冷、？热源和水系统的设】置应符合下》列规定 《 》    1  空】调冷媒应《采用低温和中—温冷冻水《系统；除新风—处理机组的》。二级冷却盘》管使：用，。低温冷？冻水外其余》冷却盘管宜》使用中温冷冻水 】  —   2  干【。冷却：盘管的？中温冷冻水系—统宜采？用同程式《供水干管《的末：端宜与回水干管间】设置旁？通管 —     3  ！。布置在吊顶内、下】技术夹层及回风夹道！内的：中温冷冻《水系统供水干管应保！温 —   ？  4  布置在阵！列、彩膜《、成盒厂房》核心：生产区内的冷、【热水管的固定支【架不应设置在建【筑结构体系上 ！    — 5  变电所【内不宜布置空气调】。节器不得布置各种水！阀和水系统配—件 9】.3.？。8  洁净室的送风！量应符合现》行国家标准洁净厂房！设计：规范：GB 5007【3，的有关规《定 》 ， 9.？3，.，9，  洁净室的—噪声：控制：设计的噪声级(空】态)应符合现—行国家标准电—子，工业洁净厂房设计】规范GB 5—0472的有—关规定但《当洁净室采》。用风机过滤》器机组和干冷—却盘管处理循环空气！时单向流《。和混合流洁》净，室的噪声级》(空态)《不应大于70—d，B(A)非单向【流洁净室的噪—声级(？空态)不应大于6】5d：B(A) 》 ，