9.3 】 空气调节与净化 ！ 《。 9.3.【1  ？。净，化空气调节系—统的新风应集中进】行热、湿、净—化处理？新风处理机组的【设置应符合下列规】定 《     1 ！ 送风机应采取变】。频措施； ！  ：   2  —空气应经《过粗：。效、中效、高效过滤！器三级处理》； ：  —   3《  阵列、》彩膜、成盒厂—房应设置备》用新风处理机组【；  】   ？4  阵列》、彩膜、《成盒厂房的电机与】风机：应采用直联驱动方】式且：有良好的减振—措施； 》    【 ，5  新风的—吸入：口位置应远离排放】有，害物或可燃物的排气！。口，；  】   6  加湿方！式宜采用《温水淋？水室； 【   《。 ， ，7  ？应有良好的气—。密，性，在工作压力下—的漏风率不得大于】1％ 《 9.3.2！  阵列、》。彩膜、成盒厂房【净，化空气调节系统的循！。环风宜采用风机过滤！器机组和《干冷却盘管处理模】组和背？光源厂？房净化空《气调节系统》的循环风宜》采用循环空》气处理机组》处理 【 9.3.3 【 阵列、《彩膜、成盒厂房的洁！净室宽度超过80】。m时宜在宽度方向】布，置不同阻力的—回风高架地板 】 9.3.4！  干冷《却盘管的设》。置应符合下列规定 ！ 《   ？  ：1  迎《。面风速？不宜超过2.—5m／s； ！  ？   2《  ：空气侧阻力》不应大于40—Pa； 】     3—  布置在同一洁】净，室(区)内》的干冷却盘》管在工作《条件下空气侧阻力】相差不？得大于10》。％； 》 ，     —4  冷《冻，。水的供水《温度宜高于洁净室】(区)内的露点温】度； 《     5！ ， 干冷？。却盘管应设》置，。排水系统非落地【。安装的干《冷却盘管应》设置积水《盘 ： ：。。 9.3.5】  风机过滤器机组！。的设置应符》。。合下列规定 【 ，     1 ！ 应根据空气洁净】度等级和送风量【选，用； 】   ？。 2 ？ 宜采用直流—调速：电机； ！    3》  机组《。。应采取？消音措？施，消音装？。置不得采用》。产尘材料且其燃烧性！能等级应《达到B级《。；， 》     4  】洁净：度等级？为7级～9级的洁】净室(？区)：不，宜采用聚四氟—乙烯滤料《的过滤器； 】     5】  应便于安装【、维修及《过，滤器更换 】。 ：9.3.《6  当采》用新风处理机组＋】风机过滤器机组＋】干冷却盘管的—净化：空调系统时洁净区各！部位的风速应符【合下列规定 【   —  1  上技术】夹层不应大于4m】／s；？  【   2  下【技，术夹层不《应大于3《m／s？；  】 ，  ：3 ： 回风夹道不应大】于4m？／s 9！.3.7《  ：空调冷、热》源和水系统的—设置应？符合：下列规定 ！ ，    1  空调！冷媒应采用》低温和？中温冷冻水系—统；：。除新风处《理，机组的二级冷—却盘管使用》低温冷？冻水外其余冷却【盘，管，。宜使用中温冷—冻水  ！   2  干【冷却盘管《的，中，温冷：冻水系？统宜采用同程式供水！干管的末《端宜与回水干—管间设置旁通管【 — ，。   ？3  布置在—吊顶内、下技术夹层！及，回风夹道内的中【温冷：冻水系统供水干【管应保温 】 ：   ？ 4  《布置在阵列、彩膜、！成盒厂房核》心生产区内的—冷、热水管》的固定支架》不应设置在建筑结】构体系？上 ：     ！5  变电所内【不宜布置空气—调节器不得布置【各种水阀和水系【。统配件 【 ：9.3.《8 ： 洁净室的送—风量应？符合现行国家标准】洁净厂房设计规范G！B 500》73：的有关规定 — 9.3】.9  洁净室的噪！声控制设《计的噪声级(空【态)应符合现行国】家，标准电子《工，业洁净厂房设计【规，范GB 50—472的有关—规定但？当洁净室采用风机】过滤器机组和干【冷却盘？管处理循《环空：气时单？向流和混合流洁【净室的噪声级(空】态，。)不应大于70dB！。(A)？非单向流洁》净室的噪声级—(空态)不应大于6！5dB(A)—。。 ：