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9 供—暖、:通风、空气》。调节与净化
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9.1 】一般规定《
9!.1.1 洁净】室(区)《的空气洁《净度等级以及—洁净室形式应根据】生产工艺对生产【环境的要求确定
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9.《1.2 《 洁净室(》区,)的气流组织应根据!洁净度等级以及【生产工艺《。要求确定
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9.1.3! 净化空调系【。统分开设《置的原则除》应符合现行国家标准!电子工业洁净—厂房设计规范G【B 50472的】有关规定外还—应符:。合下列规定
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1 !温、湿?度基数?。差别大的洁净室应】分开设?置净化空《调系统;
【
《 2 》 温、湿度允—许波动范围差别大】的洁净室《应分开设置净化空】调,系统
【
9.1.》4, 洁净室内的新风!。量应取下列两项【。中的最?大值
》
? 1》 补偿室内排风】量和保持室内正压】值所需新风量之和;!
,
【 :2 保证供给【洁,净室内每人》每小时的新风量【不小于40》m3
【
9.1.》5 洁净室—与周:围的:空间应?保持一定的》静压差静压差应符】合下列规定
【
《 1 【不同等级的洁—净,室,之,。间的静压差不—宜小于5P》a;
】 2 洁净!室与非洁净室之间】的静压差不应小【于5P?a;
》
— 3 洁净室与】室外的?静压差不应小于【10P?。a
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9.?1.:6 布置在阵列】、彩膜、成》盒厂房?核心生产区的风管】、水管应采》取减振措施
【