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?9 ?。供暖、通风、空【气调节与净化
!。
《
,
9.1 一般!规,。定
!9.1.1 洁】净室(区)》的空气洁净》度等:级,以及洁净室形式应】。根据生产工艺对生产!环境的要求确—定
:
《
9:.1.?2 洁净室—(区)的《。气流组织应根—据洁:净度等级以及生产工!艺要求?确定
—
9.1.3 】 净:化空调系统分开设】置的原则除应符合现!行国家标《准电子工业洁净厂房!设,计规范GB 50】472的有关规【定外还应符》合下列规《定
【 , , 1 温、湿度!基数差别大的洁净】室应:分开设置净化空调】系统;
【
,
, 2》 , 温、湿度允许波】动范围差别大的【洁净室?应分:开设置净化空—调系统
《
》9.1.4 【洁,净室内的新风量【应取下?。列两:项中的最大值—
:
— 1 补偿室】内排风量和保持室内!正,压值所需新风量之】和;
【。
》2 : 保证供给》洁净室内《每,人每小?时的新?风,量,不小于4《0m3?
,
9.1.!5,。 洁净室与—周围的空《间应保持《一定:的静压差静压差【应符:。合下列规定
】
,
1【 , 不同等级的洁净室!之,间的静压差不宜小】于5:。Pa;
—
? 2 洁】净室:与,非洁净室之间的【静压:差不:应,小于5?Pa;
! 3》 洁净室与室外】的静压差不应—。小于10Pa
【。
》9.:1.6 《 布置在阵列—、彩膜、成盒—厂房核心生产区的风!管、水管应采取【减振措施《
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