。
,
9《 供暖、通风、】空,气调节与净化
【
!9.1 《 一般规定
!
9.—1,。。.1 洁》。净室(?区)的空气洁—净,度等级以及洁净室】形式应根据生产工】艺对:生产环境的》要求确定
!
,9.1?.2 洁净室(】。区)的气流》组织应?根据洁净《度等级以及生产工】艺要求确定
【
,
9.1—.3 《净化空调系》统,分开设置的原则除应!符合现行《国家标准电子工【业洁净厂房设—计规范G《B :50472的有关规!定外还应符合下【列规定
!。 : 1 温、湿】度基数差别》大的洁净室应分【。开设置净化空调【系,统;
—
《 :2 ?温、湿度允》许波:动范围差别大—的洁净室《应,分开设置净》化空调系统
】
?9.1.4 洁】净室内的《。新风量应《取下:列两项中的最—大值
【。
, 1 【补偿室?。内排风?量和保?持室内正压值所需】新风量之和;
【
— 2 保【证供给洁净室—内每人每小时的【新风量不小于40m!。。。3
:
9.1】.5 ? ,。洁净:室与:周围的空间应保【。持一定?。的静压差静》压差:应符合?下列规?。定
?
— 1 不同等级!的洁净室之间的静】。压差:不宜小于5Pa;
!
,
《 2 洁净!室与非洁净室之【间的静?压差不应小于5P】。a;
《
【 3 ?。 ,洁净室与《室外的?静压差不应》。小于10Pa
】
9》.1.6 —布置在阵列、彩膜、!成盒厂房核心生产区!的风管?、水:管应采取减》振措施?
: