9》 :供暖、通风》、空气调节与净化】
【
9.1— 一?般规定
】
9《.1:.1: 洁净室》(区:)的空气《洁净度等级以及【洁净室形式》应根据生产工艺【对生:产,环境的要求确定
!
?
,9.1.2 — 洁净?。室(区)的气流组织!应根据洁净》度等:级以及生产工艺【。要求确?定
—
9.?1.:3 : 净化空调系统分】开设置的原》。则除应符合现—行,国家标准电子—工业洁净《厂房设计规范G【B 5047—2的有关规定外还应!符合下列规定
】
— , 1 温、—湿,度基数差别大的洁】净室:应分开?设置净?化空调?系统;
《
— : 2 温、湿度】允许波动范围差别】大,的,洁,净室应分《开设置净化空调系】统
》
:9.1.4 洁净!室内:的新风量应取下列】两项中的最大值
!
— 1 补—。偿室:内排风量和保持室内!正压值所《需新风量之和;
!
?
, ? 2 《保证供给洁》净室内每人》每,。小时的?新风量不小于40m!3
9】.1.5 洁净】室与:周围:的,空间应保持一定【的静压差静压差应符!合下列规定》
?
:
1 【 不同?等级的洁净室—之间的静压差—不宜小于5Pa;
!
】 ,2 : 洁净室与非—洁净:室,之间的静《。压差不应小于—5Pa;
】
3【 洁净《室与室外的静压【差不应小于》10Pa
》
?
9.1.6 】 ,布置:在,阵列、?彩膜、成盒》厂房核心生产区【的风管、《水管应采取减振措】。施
?