9 供暖!、通风、空气调【节与净化
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9.1 】 一般规定》
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9.1》.,1 洁净室(区)!的空气?洁净度等级以及洁】净,。室形式应根》据生:产工艺对生产环境的!要,求确:定
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9.1.2【 洁净室(—区)的气流组织应】根据洁?净度:等级以及《生产工艺要求—确定
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9.1.3! 净化空调系【统分开设置的原则】除,应符合?现行国家标准—电子工业洁净厂【房设计规范G—B 504》72的有关规定外】。还应符合下列规定
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— 1 —温、湿?。度基数差别大—的洁净室《应分开设置》净化空调系统;【
!。 2 温、湿度允!。许波动范围差别大的!洁净室应分开设置】净化:。空调系统
【
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9.1.》4, 洁净室内的新风!量,应,取,下列两项中》的最大值
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【 1 ? 补偿室内排风【量和保持室内—正压值?所需:新,风量之?和;
》。
? 2 保】证供给洁净室—内每人每小时的新】风量不小于40m3!
9.】1.5 》洁净室与周围的空间!应保持一定的静压】差静压差应符合【下列:规定
》
《 1 不【同等级的洁净室之间!的静:压差不?宜小于5Pa;
!。
》 2《 , 洁净室《与非洁净室之间的静!压差不应小于—5,Pa;
! ? 3 洁净—室与室外的静—压差不应小于10P!a
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9?.,1.6 布—置在阵列、彩膜、】成盒厂房核》心生产区的风—管,、,水管应采取》减振:措施
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