9 【供暖、?通风、空《气调:节与净?化
—
9.【1 一般规—定
:
【9.1.《1 洁净室—(区)的《空气洁净度等级以及!洁净室形式应根据生!产,工艺对生产环—境的要?求确:定
?
《9.1.《2 洁净》室(:区)的气流组织应】根据洁净度等级【以及生产工艺—要求确?定,
9【。.1.?3 净化空—调系统分开设置的】原则:。除应符?合现行国家标—准电子工业洁净厂】房设:计,规范GB 》。50472的有【关规定?外还应符合下列规定!
! 1 温》、湿度基《数,。差别大的洁净—室应:分开设置净化空调】系统;
【
: 2 【温,、湿度?允许波动范》围差别大的洁净室应!分开设置《净化空调《系统
《
9.—1,。.4 洁净—室内的新风量应【取下列两项中的最】大值
】 1 补偿!室内排风量》。和保:持室内正压值所需新!风量之?和;
】 2 保证!供给洁净室内每人每!小时的新风量不小】于,40m3
】。
9.1.5【 洁净《室,与周围的空间应保】。持一定的静压差静压!差应符?合,下列规?定
:
:
【。1 不同》。等级:的洁净室之间的静压!差不:宜小于5Pa;
】
— :。 ,2 : 洁净室与非—洁净室之间的静【压差不应小于5Pa!;
! :3 ?洁净室与室外—的静压差不应小于】10Pa
》
《
9.1.6 【 布:置在阵列、彩膜、成!盒厂:房核心生产》区的风管、水管【应采取减振》措施
《