《8.5  工艺【真空和清扫真—空 】 8.5.1 【 工艺真《空系统？的设计应符合下【列规定 》 ：  ？   1  工【艺真空系统的抽气】能，力应按生产工—艺所需？实际用气《。量及系统损耗量确】定；  ！   2  供气】设备应布置在生【。产厂房内的》一个：或多个供气》站内； 【。     3 】 工艺真空》。设备应选用能耗少、！噪声低？。的设备； —     4！  ：工艺真空设备—应根据工艺系统的】实际情况选用—水环式或《。干式真？空泵：； 【    5  工艺！真空系统宜设置真空！压，力，过低保护装置 】。 8.5.】2 ： 工艺真空》系，统的管道设计应【符合下列规定— ， 》  ：  1  工—艺真：空管路设计应布置】成支状系统； ！ ：    《 2 ？ 工艺真空主管【道的直径应》按全系统实际—。抽气量进行设计【；，主支：管道的直径》应按照局部系统【实际抽？气量进行设计支管】道的直径应按设【备最大？抽气量进行》设计； —     3】。  工艺《真，空系统的管道—材料宜根据工艺真】空系统的真空压力及！真空特性选用不锈钢！管或厚？壁，。聚氯乙烯管道—；   ！ ， 4：  采用《。软管：连接时应选》用金：属软管 — 8.》5.3  洁净【室(区？)宜设置集中—。式真空吸尘系统洁净！室内的吸《尘系统？管道宜暗敷 【