8.5  ！工艺真？空，和清扫？真空 ？ 》 8？。。。.5.？1  工艺真—空系：统的设计《应符合？下列：规定  ！  ：。 1  工艺—真空系统的抽气【能，力应：按，生产：工艺所？需实：际用气？量及系统损耗量确定！； —    《 2：  供气设备应布置！在生产厂房内的【一个或？多个供气站》内；： ，     ！3  工艺真空【。设备：应选用？能，。。耗少、？噪，声低的设备； ！    — 4  工》艺，真空设备应根—据工艺系统的实际】情，况选用水环式或干】式，。真，。空泵；？。 ， 《     5— ， 工艺真空系—统宜设置真》空，压力过低保护装【置 8.！5.2  工艺【真空系？统的管？道设计应符合—下列规定 》   【 ，。 1：  工艺真空管路设！。计应布？置成支？。状系：统； — ，     》2  工《艺真空主《管道：。的直径应按全系统】实际抽气《量进行设计；主支管！。道的直径应按照局部！系统实际抽》气量进行设计支管】道的直？径应按设备最大【。抽气：量进行设计； 【    】 3  工艺真空】系统：的，管道材料宜根—。据工艺真空系统的真！空压力及真空特性选！用不锈钢管或厚壁聚！。氯乙：烯管道； —     】4  ？采用软？管连接时应》选用金属《。软管 — 8？.5.3  洁【净室(区)宜设【置集中式《真空吸尘系统洁净室！内的吸尘系统—管道宜暗《敷 ？