8.5 】 工：。。艺真空和清扫真空】 】。8.5.1 — ，工，艺真空？。。系统的设计应符合下！列规定 ！   ？ ，1  工艺真空【系，统的：抽气能力应按生【产工艺所需实际用】。气量及系统损—耗，量，。确定； 《   【  2 《 供气设备》应布置在生产厂房内！的一个或《多个供气《。站内； — ：     3  】工艺：真空设备应》选用能耗少》、噪声低的设—备；  ！   4  工【艺真空设备应—根据工艺系统的【。实际情况选用水环】式或干式真空泵【； —     5—  工艺真空系【统宜设置真空压力过！。低保护装置 — 8.5.！2 ： 工艺真《空系统的管道设计】应符合下列规—定 【    1 — 工艺真空管路设计！应布置成支状系【统； —  ？   2 》 工艺真空》主管道的直径应按】全系：统，实际抽？气量进行设》计；主支管》道的直径应按照【。局部系统实际抽气】量进行？设计支管道的直径应！按设备最《大，抽，气量进行设计—。；  】   3  工【。艺真空系《统的管道材料宜根】。据工艺真《空系统的真空压【。力及真空特性—选用不锈钢管或【厚壁聚氯乙烯管道；！ —  ： ， 4 ？ ，采用软管《。连接时应选》用金属软管》 ？ ： 8.5《.3：  洁净室》。(区)宜设置集中】式真空吸《尘系统？洁净室内《的吸尘系统管—道宜暗敷 —