8》.5  工艺真【空和清扫真空 】 ， 8.【5.1？  工艺真空系统】的，设计应符合下列【规定 《  》   1 》 工艺真《空系统的抽气能力应！按生产工艺》所需实际用气量【及系统损耗》量确：定； 【     2  】供气：设备应布置在生【产厂房内的一个或多！个供气站内；—    ！ 3  工艺真【空设备应《选用能耗少、—噪声：低，的设备； ！   ？  4  》工艺真空设备应根】。据工艺？系统的实际情况选用！水环：式或：干，式真空泵；》 —    5  【工艺真空系统—宜设置真空压—力过低保护》装，置 》 ：。8，.5.2 》 工艺？真，空系统的《管道设计应符合【下列规定 【 ：  ：   1  工艺真！空管路设计应布置】成，支状系统； 】    — 2  工》艺真：空主管道的直径应按！全系统实际抽—气量进行设计；主】支，管道的直径应按【照局部？。系统实际抽》气量：进行设计支管—。道的直？。径应按？设备最大抽气—量进行设计； 】 《  ：。  3？  工艺真空系统的！管道材料《宜根据工《艺真：空系统的真空—压力及真空特性【选用不锈钢管或厚壁！聚氯：乙烯管？道； 《    【 ，。4  采《用软管连接时—应选用金属》软管 —。 ：8.5.3  【洁净室(区》)宜设置集中式真】空吸尘系统洁净室】内的吸尘系统管道】宜暗敷 》