， 8.5  】工艺真空《和清：扫，。真空 《 —8.：5.1  工艺【真空：系统的？设计应符《合，下列规定 — ， ，     1  ！工艺真？空系统？的抽气能力》应按生产工》艺所：需实际用《气量及系统损耗量确！定； 】   ？ 2  《供气设备《。应布置在生产—厂房内的一个—或多个？供气站内；》  【   3《  工艺真空设【。备应选用《能耗少、《噪声低的设》备；： —    4  工艺！真空设？备应根据《工艺系统的实际情况！选用水环式或干式】真空泵； —     5！  工艺真》空系统？宜设置真空》压力过？低保护装《置 — 8.5.》2  工艺真空系统！的管道？设计：应符合下列规定【    ！ ，1 ： ，工艺真空管路—。设计应布置成支状】系统；？ ， 《 ，    2》  工艺真空主管道！的直径应按全系【统实：际抽气量进行设计】；主支？管，道的直径《应按照局部系统实】际抽气量进》行设计支管道的【直径应按《设备最大《抽气：。。量，。进行设计； ！     3 】 工艺真空系—统，的管道材料宜根【据工艺真空系—。统的真？空压力及真空特性】选用不锈钢管或【厚壁聚氯《乙，烯管道；《 》     》4  采《用软管连接时应选】用金属软管 — 》8.：5.3  洁净【室(：区)宜设置集中式】真空吸尘系统洁净】室内的吸《尘，系，统管道宜暗敷 【 ，