： ， 8.5  —工艺真空和》清扫真空《 】8.5.1》  工艺真空系统】的设计应符合下列】规定 《 ，    — 1 ？ 工艺？真空系统的抽气【能力应按《生产工艺所需—实际用气量及—系统损？耗量确？。定；  ！   2《。  ：供气设备应布—置在生产厂房—内的一个或》多个供气站内； ！ ？   ？  3 《 工艺？真空设备应选用能】耗少、噪声》低的设？备； —    》。 4  工艺真空】。设备应根《据工艺系统》的实际情况》选用水环《式或干式真空—泵； ？  —   5  工【艺真：空，系统宜设置真空压】力过：低保护？装置 【 8.？5.2  工—艺真空系统的—管道：设计应符合下列规】定，。   】  1 《 ，工艺真空管路设【计应布？置成支状《系统； 】    《 2  工艺真【。空主管道的》直径应按《全系：统实际抽气量—进行设计《；主支管道的直径】应按照局部》系统实际抽气—量进行？。设计支管道的直【径应按设备最—大抽：气量进行设》计，；   ！ ， 3：  工艺真空—。系统：的，管道材料宜根据【工艺真空系统的真空！压力及真空》。特性选用《不锈钢管或厚—壁聚氯？乙烯管道； 】     【4  ？采用软管《。连接：时应选用金属软【。。管 8.！5.3  洁净【。室(区)宜设—置集中式《。真空：吸尘：系统：洁净室内的吸—尘系统管道》宜暗敷？ ：