8.5 】 工艺？真空和清扫真—。空 — 8.5.1 ！。 工艺真《空系统的《设计应符合》。。。下列规？定 【    《1  工艺》真，空系：统的抽气《能力应？按生：产工艺？所，需实际用气量—及系统损耗量确【定； ？ ， 《。    2  【供气设备应》布置在生产厂房内的！一个或？多个供气《站内；？ ： 《    《3  工艺真空设备！应选用能耗少—、噪声低的设备；】 ，    】 4  《工，艺真空设备应根据工！艺系统的实际情况】选用水环式或干式真！空泵；？ ， ： ：     5 【 工艺？真空系统宜》设置真空压力过低保！护装置 》 《8.5.2  工艺！真空系统的管—道设计应符合下列规！定   ！  1？  工艺真空管路】设计应布《置，成支状系统； 【     ！2  工《艺真：空，主管道的直径应【按全：系统实际抽气量进】行设计；主》支，管道的直径》应按照局部系—统实际抽《气量进行设计支管】道的直径应》按，。设备最大抽气量进行！设计； 《 ？ ，     3  工！艺真空系统的管道】材料宜根《据工艺真空系—统的真空压力及真空！特性选用《不锈钢？管或厚壁聚氯—乙烯管道； 】     【。4  采用软管连接！。时应：选用金属软管 】 8》.，5.3  洁净室(！区)宜设置》。集中式真空吸尘系】统洁净室内的吸【尘系统管《道宜暗？敷 ？