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8 【净化空?调及工艺排风—
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8.1 净化空!调
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8.1《.3 为》保证:洁净室空气平—衡和洁净室内—的,正压:。值新鲜?空气量应等》于补偿室内排风量】和保持室内正压值所!需新鲜空气量—之和同时新鲜—空气:量应满足人》员新鲜空气需—。求量因此取两者之中!的最大值现行国家】标准采暖通风与空】气调节设计规范【。GB 500—1,9-200》3规定“工业建筑应!保证每人不小—于,30:m3/h的新风量”!现行国家标准洁【净厂房设计规—范GB 50073!-2001规定“保!证供给洁净室内每人!每小时的新鲜—。空,。气,量不小于40m3】/h”?因,此制订了本》条,的规定
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8.《1.4 》洁净室与相邻的房】。间应保持一》定压差?确,。保洁净室在正常【状态或空气》平衡暂时受》到破坏时《气,流只:能从空气洁》净度等级高的房间】流,向空气洁净》。度等:级低的区域使—洁净室内的洁—净度不?会受到污染空气的】影响渗漏空》气量与压差值有关压!差值选择应适当若压!差值过小洁净—。室正压很《容易被破坏洁净室】的,。洁净度会受到影响】若压差值《过,大渗漏?风,量会较大《补充新风《量就相应增》加新风空调冷热负】荷也:会相应?。增加新风空》。调器容量也会增【大过滤器负荷—也会增加过滤器使用!寿,命也会缩短试—验结果表《明洁净室内正压值】。小于5Pa时洁【净室:外的污染空气就有可!能渗入洁《净室内室外空—气在洁?净厂房的迎》。风面上?产生正压在背风【面上产生《负压因此《洁净室?相对于室外的压【差参照?点应位于迎》。风,面洁净室与室—外的相对压力应【大于或等于5P【a
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8.1.5! 集成电路封装】。测试厂洁净室面积大!新,风量也大通常采用多!。台新:风机:组集中处理新风【集,中处理新风具有【以下优点①新—风集中处理可以去】除新风?中的绝大部分—的灰尘有效延长【。末级高效空气过滤器!(HEPA)的使】用寿命②新风集中处!理有利于洁净—室湿度控制避—免,冷热抵销节约能【。耗③通?常集成电《路,封装厂房《新风机组有多台一】般,并联:运行由于《工艺:设,备分期安《装实际生产负荷【率也:是根据市场需—求变化而变化的工艺!设,备排风量《会随运行设备数【量和:运行负荷率》。的变化而《变,化新风?量也是?变化的因此新—风系统送风机宜【采用变频措施以适应!新风需求《量的变?化,
】 , ,此外由于洁净—室内不同生》。产区域的洁净度【等级、温度、相对湿!。度要求各《不相:同发热量也不—相,同,。因此建议分区设置】循环空?调系统
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对于【循,环空调系统包括冷却!设备、高效空气过】滤,器、空气循环通道空!气冷却设备可采用】循环:空调机组或干盘管】为,了避:免盘管?供水温?度低于进风空气露点!将会导致结露产生冷!。凝水对洁净室—湿度控制产》。。生干扰?。同时采用干式冷【却可以使用温度较】高,的,冷冻水供水温度【可以采用中温冷水】。机,单独制?备中温冷冻水提【高了冷水《。机组性能系数从【而,达到:。。了,节能效果
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: 夏季室—外空气含湿量高【于洁净室含湿量【。需要去?湿处理到露点—当,室内发热负》荷较小时《必须采用再加热【或二次?回风才能《使室内空气温度【和相对?湿,度均达到设计—。状,态采用二次回风方式!可以:避免冷热量抵—销达到节能目的【
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8.1.6 】 净化?空,调系统过滤器的【选用和布置将会【影响洁净室》洁净度、过》滤器使用寿命和运】行费:。用
】 , , 1 《。洁净室内《空气:含尘浓度与过滤器】的总效率和换—气次数直接相关当送!。风,换气次数确》定后如果过滤器总效!率不足将会造成【洁,净室空?气浓度超出洁净度等!。级限值无法满足工】。艺要求末级过—滤器效率直接影响】送风:含尘浓度和洁净室】内空气含尘浓度【因,此末级过滤器效率】选择是?至关重要的预过滤器!(初效、中效、高】中效、高效)对末】级,过滤器起《到保护作用如果预】过滤:。器效:率低将无法对下一级!过滤器起到保护【作用下一级过滤【器的使?用寿命将会缩短如果!两级过滤器效率【过于接?近将会增加系统【阻力但总过滤效【率增:。加并显著为了—延长:集成电路封》装厂房洁净室末级】过滤器寿《。命,和确:保洁净室洁净度等】级其新风空》调机组?一般:设置初?效、中效《、高效三级过—。滤,。器,。
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, ,。 ?。2 空气过—滤器阻力近似—与,处理风量平方成正】比,例如果过滤器处理风!量大于额定风量阻力!增加很大空调系统】运行电耗增加同【时也会减少过滤【器的容?。尘量和使用寿—命造成?运行维护费用—增加
! , 3 如—果空调箱的末—级过滤器《(中效或《高效过滤器)安装】在空:调箱的负压段污【染空:气会通过空调箱【箱体缝隙渗漏—进,入空调箱《内将会使经》。过过滤处理》后的清洁空》气被再?次污染?集中安装主》要,是便于维护
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《 4? :净化系统《末级过滤器是整【个系统的核心安装在!系统的末端可以【有,效滤除?管路中污染物
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》5 同一净化空调!系统采用《阻力、?效率相近的末端高】效过滤器随着—系统运行时间增【加过滤?器的阻力《增加幅度相近—各过滤器《的流通?能力相同可以保持】各洁净?区的:洁净度满足要—求过滤器也基本【上同时达《到使用?。寿,命也便于维护管理】
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? : 6 同一净化空!调,系统内?末端高效过滤器的设!。计使用风《量与额定风量的比】值相近各过滤—器的积尘速度也相近!过滤器的阻》力增加幅度相—近各:过滤器的流通—能力相同可以保【持各洁净区》的,洁净度满足要求【过滤:器也基本上同时达到!。使用寿?。命也便于《维护:。管理
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7 !由于净化厂房空【气循:环量大发生火—灾时火灾污染物【很,。容易扩散到整—个洁净区且恢—复生产区洁》净度难度大因此规定!了“安装《在洁净厂房洁—净区内的高效空气过!滤器应采《用,不燃材料《制作”高效空—。气过滤器滤》芯和外框应采用不】燃材料密封》胶应采用《难燃材料
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