《8 净《化空调及《工,艺排风
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8—.1 《净化空调
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8.1.3】 为保证洁净【。室空:气平衡和洁净—室内的?正压值?新鲜空气量应等于补!偿室内排风量和保】持室内正《压值所需《新鲜空气量》之和:同,时新:鲜空气量应满足人】员新鲜空气需求【量因此取两》者之中的最》大,值现:行,国家标准采暖通风】与空气调节设计【规,范GB 《50019-2【003规定“—工业建筑应保证【每人不小于30【m3/h的》新风量”现行国家标!准洁净厂房设—计,规范GB 50【073-20—01规?定“保证供》给洁净室内》每人每小时的新鲜空!气量不小《于40?m,3/h”因》此制订了本条—的规定
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8:.1:.4 ? 洁净室与相邻的房!间应保持一定—压,差确:保洁净室在正常【状态或空气平衡【暂时受到破坏时气】流只能?从,空气:洁净度等级》高的房间流向空【气,洁,净度等级低的区域使!洁净室内的》洁净度不会受到污染!。空气的影《响渗漏空气》量与压差《值有:关压差值选择应适当!若压差值过》小洁净室正压很【容易被破坏洁净室】的洁净度会受到影响!若压:。差值过?大渗:漏风量会《较大补充《新风量就《相应增加新风空【调冷热负荷也会相应!增加新风空调器容】量也会增《大过滤器《负荷也会增加过滤器!使用寿命也会缩【。短试验结《果表明?洁净室?内正压值小于5【P,a时洁净室外的污染!空气就有可》能,渗入洁净室内室外】空,气在洁净厂房的迎】风面上产生正—压在背风面上产生】负压因此洁净室【相对于室外的—压差参照点》应位于迎风》面洁净室与室外的】相对压力应大于【或等于5Pa—
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8.1【.5 集成电路封!装,测试厂?洁净室面积大新【风量也大《。通常采用多台新【风机组集《中处理新风》集中处理《新风具有以下优点】①新风?集中处理可以去除】新风中的绝大—部分:的灰尘有效延长末级!高效空气过滤器【。(HEPA)的【使用寿命②新风集中!处理有利于》洁,净室湿度控制—避免冷热抵销节【约能耗③通》常集成电路封装厂房!新风:机组有?多台一般并联运行】由于工艺设》备分:期,安装实际生产负【荷率也是根据—市场需求《变化:而变化的《工艺设?备排风量《会随运行设》备数量和《运行负?荷率的变化》而变化?新风量也是变化的】因此新风系》统送风机宜采用变频!。措施:以适应新风需—求,量的变化
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此】外由于?洁净:室内不同生产区域】的洁净度《等级、温度、—相对:湿度要求《各不相同发热量【也不相?同因此建议分—。区设:置循环空调系统【
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, : 对于循环空调系!统包括冷《却设备?、高效空气》过,滤器、空气》循,环通道空气冷—却设:备可采用循环空调】机组或干盘管为了避!。免盘:。管供:水温度低《于进风空《气露:点将会导《致结露?产生冷凝水》对洁净室湿度控【制产生干扰同时采】用,干式冷却可以使用温!度较高的冷冻水【。供水温度可以采【用中温冷水》机,。单独制备中温冷冻水!提高了冷水机组【性能系数从而达到】了节能?效,果
】 , 夏季室外【空气含湿量高于【洁,净室:含湿:量需要去湿处理【到露:点当室内《发热负荷《较小时?必须采用《再加热或二次—回风才能使室内【空气温度和》。相对湿度均达到设】计状态采用二—次回:风方式可以避—免,冷热量抵销》达到节能《目的
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8《。。.1.6 净【。化空:调系统过《滤器的选用和布【。置将会影响》洁净室?洁净度、过》滤器使用寿命和【运行:费用
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》 , 1 洁净】室内空气含》尘浓度?与过滤器的总—效率:和换气次数直接相关!当送风换《气次数确定》后如果过滤器总效】率不足将会造成洁净!室,。空气浓度《超出洁净度等—级限值无法满—足工:艺要:求末级过滤器—效,率,直接影响送风含尘浓!度和:洁净:室内空气含尘浓度因!此末级过滤器—效率选?。择是至关《。重要的?预过滤器(》初效、?中效、高中效、【高效)对末》级过滤?。。器起到保护作用如】果,预,过滤器效率低—将无:法,对下:一级过?滤器起到保护—作用下一级》过滤器的使用寿命】将会缩短如果—两级:过滤器效率》过于接近将会—增,加系统?阻力:但总过滤效》率增:加并显?著为了延长集成电路!封装厂房洁净室末级!过滤器寿命和确保】洁净室洁净度等级其!新风空调机》组一般设置》初效、中《效、高效三级过【滤器
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!2 ?空气过滤器》阻力:近似与?处理风量《平方成正比例如果过!滤器处理风》量大于额定风—量,。阻力增加很大—。空调系统运行电【耗,增加同时也会减【少过滤器的容尘【量和使用寿命造成】运行维护费用增加
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《 : 3 如果空【调箱的末级过滤【器(中效或高效【过滤器)安装在空】调箱:的负压?段污染空气会—通过空调箱箱—体缝隙渗漏》进入空调箱内将【会使经过过》滤处:理后的清洁》空气被再次》。污染集中安装主要是!便,于,维,护
【 4》 净化《系统:末级过滤器是整【个系统的核心安装在!系,统的末端可以—有效:滤除管路中污染【物
【 5》 同一净》化空调系统采用阻力!、效率相近的—末端高效过》滤器随着系统运行】时间增加过》滤器的阻《力增:加幅度相近各—过滤器的流通能力相!。同可以保持》各洁:。净区的洁净度满足】要,求过滤器也》基本上同时达—到使用寿命也便【于维护管理
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【。 6 同—一净化空调系统【内末:端高效过滤》器的设计使用风量与!额定风量的比值相近!各,过滤器的积尘—速度也?相近过滤器的阻力】增加幅度相近各过】滤器:的流通能力相同可以!保持:各洁净区的洁净度满!。足要:求过滤器《也基本上同时—达到使用寿命也便于!维护管理
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】 7 《由于净化厂房空气循!。环量大发生火—。灾时火灾污染物很容!。易扩散到整个—。。洁净区且恢复生【产区洁净度》难度大?因此规定了“安装在!洁净厂?房洁:净区内的高》效空气过《滤,器应采用不燃材料制!作”高效空》气,过滤器滤芯和—外框应采用不燃材料!密,封胶应采用难—燃材:料
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