8 【净化空调《及工:。艺排风
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8—.1 《净,化空调
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《8.1.《3 为保证洁净室!空气:平衡:和洁:净室内的正压—值新:鲜空气量应》等,于补偿室内排—风量和保持室内【正压值所需新鲜【。空气量之和同—时新:鲜空气量应满足人】员新鲜空《气需求量因此—取两:者之中的最大—值现行国家标准采】暖通风与《空气调节设》计规范GB 5【0019-200】3规:定“工业建筑应保】证每人不小于30】m3/h的新风量”!现行国家标准洁【净厂房设计》规范GB 5007!3-2001规定】“保证?供给洁净《室内每人《每小时的《新,鲜,空气量不小于40】。m3:/h”因此》制订:了本条?。的规定
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8—.1.4 洁【净室与相邻的房间应!保,持一定压差确保【洁净室在正常状态】。或空气平衡暂—。时受到?破坏时气《流只能从《空气洁净度等级高的!房间流向空气洁【净度等?级低的区域使—洁净室内《的,洁净度不会受到污】染空气的影响渗漏空!气量与压差值—有,关压差值选择应适】当若压差《值过小?洁净室正压》很容易被《破坏洁净室的—洁净度会受》到影响若压差值过】大渗漏?风量会?较大补充新风量就】相应增加新风空【调冷:热,。负荷也会相》应增加新风空调器】。容量也会增大过【滤器负荷也会—增加过滤《。器使用寿命也会缩短!试验结果表明—洁,。净室内正压值小【于5Pa时洁—净,室,外的污染空》。气就有可能渗入【洁净室内《室外空气在洁净厂房!的迎风面上》产生正压在背风【面,上产生负《压因此洁《。净,。。室相对于室外—的,压差参照点》应位:于迎风面洁》净室与室外的相对】压力:应大于或等于5【P,。a
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8.1.5 【 集成电《路封装测试厂洁【净室面?积大新风《量也大通常采用多】台新风机组集中处理!新风集中处理新【风,具有以下优点①【新风集中处理可【以去除新风中的绝大!部分的灰尘有效【延,长末级高效》空气过滤器(H【EPA)的使—用寿命②新风—集中处?理有利于洁净—室湿:度控制避免冷热抵销!节约能耗③通常集成!。。电路封装《厂房新风机》。组有:多台一般并联运行】由于工艺设备分【期安装实际生产负荷!率也是根据市场【需求变化而变化的】工,艺,。设备排风量会随运】行设备数量和运行负!荷率的变化》而,变化新风《量也是变化的因此】新风:系统送风机宜采用变!频措:施以适应新风需求】。。。量的变化
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【此外由?于洁净室《内不同生产区域【的洁净度等》级、温度、相—对湿度?。要求各?不相同发热量也不】相同因此建》议分区?。设置循环空调系统】
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对!。于循环?空调系统包括冷【却设备、高效空气】过滤器、空气—循环通道空气冷却】设备可采《用循环空调机组或】干,盘管为了避免—盘,管供水温度低于进】风空气露点》将会导致《。结,露,产生冷凝水对—洁,净室湿?度控制?产生干?扰同时采用干—式冷却?可以使用《温度较高的冷冻水供!水,温度可?以采用中温冷水机单!独制备中温》冷冻:。水提高了冷水机组性!能系数从而达到了节!。能效果
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夏季室】外空气含《湿量高于洁净室含湿!量需要去湿处理到露!点当室内发》热负荷较小时—必须采用再加热或】二次回风才》能使室内空》气温度和《相对湿度均达到设计!状态采用二次回【风方式?可,以避免?冷热量抵销达—到节能目的
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8.》1.6 净—化空调系统过滤【器的选?用和布?置将会影响洁净【室洁净度、过滤【器,使用寿命和运行费用!
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?。 1 洁净室】内空气含尘浓—度与过滤《器的总?效率和换气次数直】接相关?当,送风:换气次数《确定后如果过滤器】总效率不足将会【造成洁净室空气【浓度超出洁净度【等级限值无法满足工!艺要求末级》过,滤器效率直》接影响送风》含尘浓度《和洁净室内空气含尘!浓度因此《末,级过滤器《效率选?择是至关重要的预过!。滤器(初《效、中效、高中【效,、高效)对末级【过滤器起到保—。护作用如果》预过滤器效》率低将无法对下【一级过滤器起到【保护作用下》一级过滤《器的使用《寿命将会缩短如【果两:级过滤器《效率过?于接近将会增—加系统阻力但总过滤!。效率增加并》显著为了《延长:集成电路封》装厂房洁净》室末级?过,滤器寿命《和确保洁净》室洁净度等级—其,。新风空调《机组一般设置初效】、中效、高效三级】过滤器?。
— , 2 —空,气过:滤,器阻力近似与处【理风量平方成—正,。比例如果过滤—器处理风量大—于额定风量阻力增加!很大空调系统运行】电耗增加同时也【会减少过《滤器的容尘量和使】用寿命造《。成运行维护》费用增加
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? 3 如果空!调,箱的末级过滤器(中!效,或高效过滤器—)安装在《空调箱的负压段污染!空气会通过空—调箱箱体缝隙渗漏进!入空调箱内将会使】经过过?滤处理后的清—洁空气被再》次污:染集中安装主要是便!于维护?
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《 4 净】化系统末《级过:滤器是整个》系统的核心安装【在系统的末》端可以有效滤除管】路中污染《物
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》 5 ? 同一净化空调【系统采用阻力、效】率相近的《末端高效《过滤器随着系统运】行时间增加过—。滤器:。的,阻力:增,加幅度相《近各过滤器的流【通能力相同可以【保持各洁净区—的,洁净:度,满足要求过滤器也基!本,上同时达到使用寿】。命也便于维护管【理
【。 《6 ?同一净?化空:调,系统内末端高效过滤!器的设?计使:用,。风量与额定风量的比!值,相近各过滤器—的积尘速度也—相近过滤器的阻力】。增,加幅度?相近各过滤器—的流:通能力相同可以保】持各洁净区的洁净】。度满足要求过滤器也!基本上同时达—到使:用寿命?也便于维护管—理
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!7 由于净化【厂房空气循环—量大发生火灾—时火灾污染物很【容易:扩散到整个洁—净区且恢复生产区】洁净度难度大因【此规定了“安装在洁!净厂房?洁净区内的高效【空,气过滤器应》采用不燃材料制【作”高效空气过【滤器滤芯和外框应采!用不燃材料》密封胶应采》。。用难燃材料
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