《8 净化》空调:及工艺排《风
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8.【1 净化空调
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8【.1.3 —为保证洁净室空气】平衡和洁净室内【的正压值新鲜空气】量应等?于补偿室《内,排风量和保持—室,内正压?值所需新鲜空气量】之和同?时新鲜空气量应满】。。足人员新鲜空气【。需,求量:因此取两者之中的】。最大值现行国家标准!采暖通风与空气调节!设计规范《GB 5《0019-2—。003规定“工【业建筑应保证—每人不小于30【m3/h的新—风,量”现行国家标准】洁净厂房《设计规范《GB: 50073-【2001规定“保】证供给洁净室内每人!每小:时的新鲜空气量不】小于40m3—/h”因此制订了】本条的规《定
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8.1.4 ! 洁净室与》相邻的房《间应保持一》定压差确保》洁净室在《正常状态或》空气平衡《。暂时受到破坏时【气流只能从空气【洁净度等级高的房间!流向:空气洁?净度等级低的—区域使?洁净室?。内的洁?净度不会受到污【染空气的影响—渗漏空气量》与压差?值有关压差值—选择应适当若压差】值过小洁净室正压很!容易:被,。。破坏洁净《。室的洁净《。度会受到影》响,若压差值过大—渗漏:风,量会:。较大补充新风量【就相应增加新风【空调冷热负荷也【会相应增加新—风空:调器容量也》会增大过《滤器负?荷也会增加过滤器】使用寿命《也会缩短试》验结果表《明洁净室内正压【值小于5Pa时洁】净室外?的污:染空气就有可能【渗入洁净室内室【外空气在洁》净厂:房的迎?风面上产《。生正:压在背风面上产【生负压因《此洁:净室相对于室外的】压差参照点》应位于迎风面洁【净,室与室外的相对压力!应,大于或等于5—Pa
8!.1.5 集【成电路封装》。测试厂洁净》室面积大《新风量也大通常【采用多台新风机组】集,中处理新风》集中处理新风具有以!下优点①新》风集中处理可以【去除:新,风中的绝大部分的】灰尘有效延长末级】高效空气《过滤器(H》。EPA)的使用【寿命:②新风集中处理【有利于洁净》室湿度控制避免冷】热抵销节约能耗③】通常:集成电路封装—厂房新风机组有【多,台一般?并联运行由于—工艺设?。备分期安装实际生产!负荷率也是根—据市场需求变化【而变化的工艺设【备排:。风量会随运》行设备数《量和:运行负荷率》的变化?而,变化新风量也是【变化的因此新风系统!送风机宜采用—变频措施以适—应新风需求量的变】化
【 ?。 此外由于洁净室内!不同生产区域—。的洁净度等级、温度!、,相对湿度要求—各,不,相,。同发:热量:也不:相同因此建议—分区设?置循环空调》系,统,
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《 对》于循环?。空,调系:统包括冷却设备【。、高:效空气过滤器、空气!。循环通?道空气冷却设—备可:采用:循,环空:调机组或干盘—管为了避免盘管【供水温度低于—进风空气露》点将会导致结露产生!冷凝水?对洁净?室湿:度控制?。产生干扰同时采用干!。式冷却可以使—用,温度较高的》冷冻水供水温度【可以采用《中温冷水机单独制】备中温冷冻》水提高了冷》水机组性能系—数从而达到了节能】效果
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? 夏季》室外空气含湿量高】于,。洁净室含湿量需【要去湿处理到—露点当室内发热负荷!较小时必须采用再加!热或二次回》。风才能使室内空气温!度和相?对湿度均《达到设计状态—采用二次回》风,。方式可以避免冷【热量抵销达到节能】目,的
8】。.1.6 —净化空调系统过滤】器的选用和》布置将会影》响,洁净室?洁净度、过滤—器使用寿命》和运行费用
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【。 :。。1 : 洁:净室内空《气含尘浓度与过【。滤器的总效率和换气!次数直接《相关当送风换—气,次,数确:定后如果过滤器总】效率不?足将会造《成洁净室空》气浓度超出洁净度】等级限值无法满足工!艺要求末级》过滤器效率》直接影响送》风含:尘浓:度和洁净《室,内空气含《尘浓度因此》末级:。过滤器效《率,选择是?至关:重要的预过滤—器(初效《、中效、高中效、】高效)对末级过【滤器:起,到,保护作用如果预过滤!器效率低将》无法对下一级过滤器!起到保护作用下【一级过滤《器的:使用:。寿命:将会缩短如果两级过!滤器效率过于接【近将会增加系统【阻力但总过》滤效率增加并显【著为了延《长集成电路封装【厂房洁净室末级过滤!器寿命和确保洁【净室洁?净度:等级其新《风空调机组一—般设置初《效、:。中效、高效三级过】。滤器:
】 2 》空气过滤器阻力近】似与处理风》量平方成正比例如】果过滤?器处理风量大—于额定风量阻力增加!很大:空调系统运》。行电耗增加同时也】会减:少过滤器的》。。容尘量和使用—寿命造?成运行维护费用【增加
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—3 如果空调箱】的末级过滤器(中效!或高效过滤器)安装!在空调箱的负压段污!染空气会通过—空调:。箱箱体缝隙渗漏【进入空调箱内—将会使经过过—滤处:理后的清洁空气被再!次,污染集中安装—主,要是:便于维护
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,。 《4 净《化系统末《级过滤器是整个【系统的核《心安装在系统的末端!可以有效滤除管路中!污染物
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《 5 — 同一净化空—。调系统采《用,阻,力、效率相近—的末端高效过滤器】随着系统运》行时间增加过滤器的!阻力增加幅度相【近各过?滤器的流通能力相同!可以保持各》洁净区的洁净度满】足要求过《滤器也基本上—同时:达到使?用寿命也《便于维护管理
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? 《6 同一》净化空调《系统内末端高—效过:滤器的设《计使:用风量与额》定风量的比值相近各!过滤器的积尘速【度也相近过滤器【的阻力增加幅—度,。相近各过滤》器的流通能力相【同可以保持各洁净】。区的洁净度满足要求!过滤:器也基本上同—时达到使用寿命也便!于维护管《理
【 7》 由于净化厂房空!气循环量大》发生:火灾时火灾污染【物很容易扩散到【整个洁净区且—恢,复生产区《洁净:度难:度大因此《。规定了“《安装在洁净厂房洁净!区内:的高效空气过—。。。滤器应采用不—燃材:料制作?”高效空气过滤器】滤芯和外框应采用】不燃材料密封胶应】采用难?燃材:料
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