《10 《气体与?真空
?。
,
,
1】0.1 《 大宗气《。体
【
:10.?。1.1 大—宗气体?供应:系统宜采用》在,厂区内设置制气【装置或?外,购液态气储罐和瓶装!气体方式
—
?
10.1.—2 大宗气体供】应,系统宜设置》气体质?量,监控系统
—。
:
10.1.3】 :当气体的纯》度大于99》。.9999%、露点!低,于,40℃时大宗—气体应设置》终端气体纯化—装置气体《终端纯化装置—。应设置在用气点处
!
10【.,1.4 生产厂】房内的大宗气体管】道,等,应采:取下列?技术措施
—
【 1 《管道:及阀门附件内—壁处理等级应满足】。输送气体的品质要】求,;
:。
:
《 2 混合】气体管道的终端【或最高点应》设置:放散管放散》管,口应设置《阻火器;《
! 3 混合气体】。管道应设置导出静】电的:设施;
【
: : 4 混合气】体引入管道上应设】。置自动切断》阀
1】0.1.5 气】体管道和阀门应根】据产品生产》工艺要求选择—宜符合下列》规定:
— 1 — 当气体纯》度大:于99.9》9%、露点低于【40℃时《宜采用内壁处理的不!锈钢管?阀门宜?采用波纹管阀—或球阀;
》。
【 2 气体管道!阀门、附件的材【质宜与相连接的管】道材质一《致
《
1《。0.1.6 【气体管道连接—宜符:合下列?。规定
—
—1 管道连接宜采!用焊接不锈钢管宜】采用氩弧焊;
!
— 2 管道与设备!或阀门的连接宜采】用表面密封接头密】封材料宜采用金属】垫或聚?四氟乙烯垫
—
,