10— 气体与真空
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1:0.1 大宗气体!
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10.!1.1 大宗【气体供?应系统?宜采:用在:厂区内设置》。制气装?置或外购液态气储罐!和瓶装气体方—式
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10.》1.2? 大宗《气体供应系统宜【设置气体质量监控】系统:
10】.1.3 》。 当气体的纯—度大于99.—9999%》、露:点低于40℃—时大宗气体应—设置终端《气体纯化装置—气体终端《纯化装?置应设置在用气点】处
《。
10.—1.4 生产厂房!内的大宗气体—管道等应采取—下列技术措》施
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》 1 《 管道及阀门附件】内壁处理《等级应满足输送气体!的品:质,要求;?
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2 ! 混合?气体管道的终端或】最高点应《设置放?散管:放散管?口,应设置阻火器;【。
— 3》 , 混合气《体管道应设置导出】静电的设施;—
【 , 4 》混合气体引入—管道上应《设,置,自动切断阀
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10.1.5 !气体管道和》阀门应根据产品【生,产工艺要求选—。择宜符合《下列规?。定
【 , 1 》 当气?。体纯度大于99【.9:9%、露点低于4】0℃时宜采用内壁】处理的不锈钢—管阀门宜采用波纹管!阀或球阀;
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《。。 2 气体管】道,阀,门、附件的材—质宜与相连接—的管道材质一致
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10.1】.,。6, 气体《管道连接宜符合【下列规定
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1! ,。 ,管,。道连接宜采用焊【接不锈钢管宜采【用,氩弧焊;《。
【 ?2 管道》与设:备或阀门的》连接宜采用表面密】封接头?密封材料《宜采用金《属垫或聚四氟乙【烯垫:
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