10 气!体与真空
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10.—1 ?大宗气体
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10】.1.1 大宗】气体供应系》统宜采用在厂区内】设置制气装》置,或外购液态气储罐和!瓶装气体方式
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10.1.!2 大《。宗气体供《应系统?宜,。。设,置气体质量监控系】。统
1】0.:1,.3 当气体【的纯度大于99.】9999%、露点低!于40℃时大宗气体!应设置终端气—体纯化装置气—。体终端纯化》装置应设《置在用气点处—
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10?.1.4《 生产厂房—内的大宗气体管道等!应采取下列》技术措?施
! 1 》管道及阀门附件内壁!处理等级《应满足输《送气体的品质要求;!
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? 2 混—合气体管道的终端】或最高点应设—置放散管放散—管口应设置阻—火器;
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3 【。 混合气体管—道应设置导出静电】的设施;
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《 : 4 混合【气体引?。入管道上《应设置自动切断阀
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10.1!.5 气体管【道和阀?门,应根据产品》生产工艺要》。求选:择宜符?合下列规定
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1 】 当气体纯度大【于99.99—%、露?。点低:于40℃时宜采用内!壁处理的不锈钢【管阀门宜采用波纹管!阀或球阀;
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2【 气体管道—阀门:、附件的材质宜【与相连接的管—道材质一致》
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1?0.1.6》 :气体管?道连接宜符》合下:列规定
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1— :。。管道连接宜采—用焊接不锈钢管【宜,。采,用,氩弧焊;
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: 2《 管道与设备或阀!门的连接宜采用表面!密封接头密封材料宜!采用金属垫或聚【四氟乙烯垫
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