安全验证
10  气!体与真空 【 《 10.—1  ?大宗气体 — 10】.1.1  大宗】气体供应系》统宜采用在厂区内】设置制气装》置,或外购液态气储罐和!瓶装气体方式 】 10.1.!2  大《。宗气体供《应系统?宜,。。设,置气体质量监控系】。统 1】0.:1,.3  当气体【的纯度大于99.】9999%、露点低!于40℃时大宗气体!应设置终端气—体纯化装置气—。体终端纯化》装置应设《置在用气点处— 》 10?.1.4《  生产厂房—内的大宗气体管道等!应采取下列》技术措?施   !  1  》管道及阀门附件内壁!处理等级《应满足输《送气体的品质要求;! : ?   ?  2  混—合气体管道的终端】或最高点应设—置放散管放散—管口应设置阻—火器; 》 ?     3 【。 混合气体管—道应设置导出静电】的设施; — 《  :  4  混合【气体引?。入管道上《应设置自动切断阀 ! 10.1!.5  气体管【道和阀?门,应根据产品》生产工艺要》。求选:择宜符?合下列规定 — ?     1 】 当气体纯度大【于99.99—%、露?。点低:于40℃时宜采用内!壁处理的不锈钢【管阀门宜采用波纹管!阀或球阀; !。     2【  气体管道—阀门:、附件的材质宜【与相连接的管—道材质一致》 ? ,。 1?0.1.6》  :气体管?道连接宜符》合下:列规定 【。 ,     1—  :。。管道连接宜采—用焊接不锈钢管【宜,。采,用,氩弧焊; 》 《  :   2《  管道与设备或阀!门的连接宜采用表面!密封接头密封材料宜!采用金属垫或聚【四氟乙烯垫 【