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10 气体与!真空
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《10:。.1 《。大宗气体
】
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10.1.1 !大宗气体供应系【统宜采?用在厂区内设置【制气:装置或外《购液态气储罐和瓶】装气体方式
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10.1.2 ! 大宗气体供—应系统宜设置气体】质量监控系统
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10.《1.3 当气体】的纯度?大于99.999】9%、露点低—于40℃《时大宗?气体应设置终端气体!。纯化装置气》体终端纯化》装置应设置在用气点!处
10!.1:.4 生产厂房内!的大宗气体管道【等,应采取下列技—术措施
! ? 1 《管道及阀门》附件内壁处理等级】应满足输《送气:体的品质要求;
】
】 2 《混合气体管》道的终端或最高点】应设置?放散管放《。散管口应设》置阻火器;
!
? 3 —混合气体管》道应设置《导出静电《的设施;
!
4 混!合气体引入管—道上应设置自动切】断,阀
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》10.1.》5 气体管道【和阀门应根据—产品生产工艺要求】选择宜符合下列规定!
】 1 当—气体纯度大于9【9.99%、露点低!于40℃时宜采用内!壁处理的不锈钢管阀!门宜采用波纹—管阀或球阀;
【
》 2 气】体管道阀《门、:附,件,的材质宜与相连接的!管道材?质一致?
》。
10.1》.,6 气《体管道?连接宜符合》下列规定
!。
: 1 管道连!接宜:采用焊?接不锈钢管宜采【用氩弧焊;
!。
《 2 》管道与?设备或阀门的连接】。宜采用表《面密封接头密封【材料宜采用金属垫】或聚四氟乙烯—垫
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