10— 气?体与真空
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10.1 大!宗气体
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10】。.1.?1 大宗气—。体供应系统宜采【用在厂?区内设置制》气装置或外》购液态气储罐和瓶】装气体方式
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10.1.【2 大宗气体【供应系统宜》设置气体《质量监?控系:统
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10.1.!3 :。。 当气?体的纯度大于99.!9999%、—露点低?于40℃时大—宗气体应设置—终端气体纯化装置气!体终:。端纯化装置应设置在!。用气点处
】
10.1.【4 生产厂—房内的大宗气—体管道?。等应采取下列技术】措,施
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1 管!道及阀门附件内壁】。处理等级应满足输】送气体的品》。质要求;
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— 2 混合气】体管道?。的终:端或最高点应设置放!散管放散管口应设】置阻火器;
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《 3 混合!气体管道应设置【导,出静电的设施—;
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? 4 混合气】体引入管道上应设置!自动切断阀
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10.1!.5 气体管道】和阀门应根据产品】生产工艺要求选【择宜符合下列规定】
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《。 1《 当气体纯度大】于99.99%【、露点低于40【℃时宜采用》。内壁处?理的不?锈钢管阀门宜采【用波纹管阀或球阀;!
】 2 气体管道!阀门、附件的材质】宜与相连接的管道材!质,一致
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10.1.【6 气《体管道连接宜符合下!列规定
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: 1 — 管:道连接宜采用焊接】不锈钢管宜采用氩】。。弧焊;
! , 2《 管道与设备【或阀:门的连接宜》采用:表面密封接头密封材!料宜采用金》属垫或聚四氟—乙烯垫?
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