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,10 气体与真空!
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10.《1 大宗气体
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10.1.1 】。 大宗气体供应系】统宜采用在厂—。区,内设置制气》装置或外购》液态:气储:罐和瓶装气体—方式
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1:0.1.2 大宗!气体供应系统宜设置!气体质量监控系【。统
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10.1.3【 , 当气体的纯度大】于99.《9999%、露【点,低于40℃时—大宗气体应》设置终?端气体纯化装置气体!终端:纯化装置应设置【。在用气点处》。
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10.1.—4 ?生产厂房内的大宗】气体:管道等应采取下列技!术措施
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1 】 管道及阀门附【件内壁处理等—级,应满足输送气体的品!质要求;
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2— 混合气体管【道的终端或最高点应!设,置放散管放散管口应!设置阻火器;
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?。 3 混合气!体管道应设置导出静!电的设施;
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? ?4 混合气体【引,入管道上《。应设置自动切断阀】
10】.1.?5 气《体,管道和?阀门应根据产品【生产工?。艺要求选择宜—符,合下列规定
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—1 当气体—纯度大?于99.99%、露!点低于40》℃时宜采用内壁处理!。的不锈钢《管,阀门宜采《。用波纹?管阀或?球阀;
! : 2 气体管道!阀门、?附件的材《。质宜与相《连接的管道材质【一致
1!0,.,1.6 气—体管:道连接宜符合—下列规定
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》 1 管道连接宜!采用焊接《不,。锈钢管?宜采用?氩弧焊;
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《 2 【管道与设备或阀门】的,。连接宜采用表面密封!接头密?封材料宜采用金属】垫或聚四氟乙烯垫
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