1》0 气《体,与真空
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10.1】 大宗气体
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10.1.1! 大宗气体供应系!统,。宜采用?在厂区内《设置制气装置—。或外:购液态气储》罐和瓶装气》体方:式
1】。0.1.《2 大宗》。气体供应系统宜【设置气体《质量监控系统
】
10.1.!3 当气》体的纯度大于—99.99》99%、露》点低于40℃时大】宗气体?应设置终端气体纯】化装:置气体终《端纯化?装置应设置在用【气点处
【
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10.1》.,4 生《产厂:房内的?大宗气?体,管道等应采取下列技!术措施
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》1 ?管道:及阀门附件》。内壁处理等》级应满足输送气【体的品?质要求;《
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《 :2 混合气—体管道的终》端或最高点》应,设置放散管放散【管口应设置阻火器】;
】 : 3 混合气【体管道应《设置导出静电的【设施;
《
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4【 混合《。气体引入管道—上应设置自动切断阀!
10】.1.5《。 :气体管道和》阀门应根据产品生】产工艺要求选择宜】符合下列规定—
—。 ? 1 当》气体纯度大于9【9,.99%、露点低】于40℃时宜采用】内壁处理的不锈【钢管阀门宜采用波】纹管:阀或球?阀,;
】。 2 气【体管道阀门、附件】的材质宜与》。相连接的管道材【质一致
《
10.1!.6 气体管道连!接宜符合《下列规定《
《
》 1 管道连接】宜采用焊接》不锈钢?管宜采用氩弧焊;
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2 ! ,管,道,与设备或《阀门的连接宜采用表!面密封接头密封材料!宜采用?金属垫或《聚四:。氟乙烯垫
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