10 【。 气体?与真空?
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:10.?。1 ?大宗气体
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10.1.1 !。。大宗气体《供应:。系统宜?采用在厂区内设置】制,气装置或外购—液态:。气储罐?和瓶:装气:体方式
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10.1.2 】 大宗气体供应【系统宜设置气体质量!监控系统
】
10.1.3 ! 当气体的》纯,度大:于99.9999%!、露点低于40℃】时大:宗气:。体,应设置终端气—体纯:化装置气体终端【。纯化装置应设置在用!气点处
《
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10《.1.4《 , 生产厂房内的【大宗气体管道等应采!取,下,列技术措施
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1 管!道及阀门附件内壁处!理等级?应满足?输送气体的》品质:要求;
《。
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《 2 混合气体】管道的终端或最【高点应设《置放散?管放散管口应设置】。阻火器;
】
3 !。混合气体管道应设置!导出静?电的:设施:;
】 4 》 混合?气体引?入管道上应设置【。。自动切断《。阀
》
10.1—.5 气体管道】和阀门?应根据产品生产工艺!要求选择宜符合【下列规定
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1 】当气体纯度大—于99.99—%、露点低》于40℃时宜—采用内壁处》。理,的不锈?钢管阀门宜采—。用,。波纹管阀或球阀【。;
【 2 — 气体管道》阀门、附件的材【质,宜与相连接的管道材!质一致
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10.1.6! 气体《。管道连接宜符合下】列规:定
【 《1 管《道,连,接宜采?用焊接不锈钢—管,宜采用氩弧焊—;
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2 【 ,。管道与?设备:或阀门的《连接宜?采用表面密封接头密!封材:料宜采用金属垫或聚!四氟乙烯垫
【