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,10 气体—与,真空
《
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》10.1 大【宗气体
】。
10.1.】1 大宗气—体供应系统》宜采:用在厂?区内设置制气装置或!外购:液态气?储罐和瓶装》气体方式
】
10.》1.2 《 大:宗气体供应系统宜设!置气体?质量监控系》统
【。10.?1.3? 当气体的纯度】大于:99.99》99%、露点低于4!0℃时?大宗气体应设置终端!气体纯化装置气【体终端纯化装置应设!置在用气点》处
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10.1.】4 生产》。厂房内的大》宗气体管道等应【采取下列技术—措施
】 ? 1 《管道及?。阀门:。附,件内壁处理等级应满!足输送气体的品质要!求;
【
2 】混合气体管道的终】端或最高点》应设置放《散管放?散管口应《设,置阻火器;
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— 3 混合】气体管道《应,设置:导出静电的设施;】
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》 4 混合【气体引入管道上应设!置,自动切?断阀
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10.1.5 ! 气体管道和阀门】应根据产品生产【工艺要求选择宜符合!下列规定
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1 【。 当气体《纯度大于99.【99%、《。。露,点低于40℃—时宜采用内壁—处理的不锈钢管阀】门宜采用《。波纹管阀或球阀;
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!2 气体管—道阀门、附件的材质!。宜与相连接的管道】材质:一,致
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10.1!.6 《气体管?道连接宜符合下列规!定
【 ? 1: 管道连接宜采用!焊接不锈钢管宜【采用氩弧焊;
【
《
》2 ?管道与设备》或阀门的连》接宜采用表面密封】接头密?封材料宜《采,。用,金属垫或聚四—氟乙烯垫
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