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10 气!。体与真空
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1:0.1? 大宗气体—
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10.1.1】 大宗《气体供应系统宜采用!在厂:。区内设?置制气?装,置,。或外购液态》气储罐和瓶》装气体方《式
10!.1.2 —大,宗气体供应》系统宜设置气体【质量监控系统
】
10.1.!。3 当《气体的纯度大于99!.9:999%、露—点低于40℃—。。时,。。。大宗气体应设—置终端?气体纯?化装置气体终端纯】化装置应设置—在用气点《处
1】0,.1.4 —生产厂房内的大宗气!体管道等应采取下列!技术措施
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? 1 》管道及?阀门附件内》壁处理等级应—满足:。输送气体的》品质要?求;
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《 《2 混合气—体管道的终端—或最高点《应设:置放散?。管,。放散管口应》设置阻火器;
】
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— 3 混合气【体管道应《设,置导出静电的设施】;
【 : , 4 混》合气体引入管道上应!设置自动切断阀
】。
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10《.1.5《 气体管道和阀】。门应根据产》品生产工艺要求【选择宜?符合:下列规定
】
? 1 当气体!纯度大于99.【99%、《露点低于40℃时】宜采用?内壁处理的不锈钢管!阀门宜采用波纹【管阀或球阀;
!
2】 气体管道—阀,门、附件的材质宜与!相连接的管道材质】一致
】10.1.6 】气体管道连接—宜符合下列规—。定
! 1 管道连接!宜采用焊接》不锈钢管宜采用氩】弧焊;
》。
】2 管道与设备或!阀,门,的连接宜采》用表面密封接头【密封材料宜》采用金属垫或聚四氟!乙烯垫
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