： 10 》。 气体与真空— ： ？ 10【.1  大宗气体】 — ， 10.1.1  ！大宗气体《供应系统《。。宜采用在厂区—内设置制气装置或外！购液：态气储罐和瓶装【气体方式 】 10.1.【2  大宗气体供应！系统宜设《置气体质量监控系】统 ： 》10.1.3  】当气体的纯度大【于99？.9999％—、露点低于40℃】时大：宗气体？。应设：置终：端气：体纯化装置气体【终端纯化《装，。置应设置在》。用气点处 ！ 10？.1.4《  生产厂房内的】大宗气体管道等【应采取下《列技：术措施 【     1  ！管道及阀门》附，件内：壁处：理，等级：应满足？输送气体的品—质要求； 》     ！2  混合》。气体管？道的终端或最—。高点应？设置放散管放散管】口应设置阻火器【； ？ ，     3】  混合气》体管道应设置导【出，静电的设施； ！  《   4 》 混合气体引入管】道上应设置自动【。切断：。阀 1】0.1.5  气】体管道和阀门应【根据：产品生产工艺要求】选择宜符合下列规定！ ，。 《     1 【 当气体纯度—。。。大于99.》99％、露点—低于4？0℃时宜《采用内壁处理的不锈！钢管阀门宜采—用波纹管阀或球阀】； —。。   ？。  2？  气体管道—阀门、附件的材【质宜与相《连接的管道材质一致！ 《 10.1—.6  《气，体管道连《接宜符合下列规定 ！    】 1  管》道连接宜采用焊接不！锈钢管宜采用—氩弧焊？； —。     2  】管道与设备或—阀，门的连接宜采用表】面密封接头密封材】料宜采用金属垫或】聚四氟乙烯》垫 ： ，