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, 10 — 气:体与真?空 】。 ?1,0,.1  大》。宗气体 》。 10】.1.1 》 大:宗气体?供应系统宜采—用在厂区内设置制】气装置?或外购液态气储【罐,和瓶装气体方式 ! ? 10.1.2  !大宗气体供应系统宜!设置气体质量—监,控系统 !10.1.3  当!气体的纯度大于9】9.9?9,。99%、露点低于】。40℃时大》宗气体应设》置终端气体纯化装置!。。气,体,终端纯化装》置应设置在用气【点处 《 10.【1.:4  生产厂—房,内的大宗气体—管道等应采取—下列技术《措施 》   》  1  管道及阀!门附件内壁处理【等级应满足输送气】体的品?质要求; 】  ? ,  :2 : 混合气体管—道的终端或最—高点应?。。设置放散管》放散管口应设—置阻火器; 】    — 3  混合气【体管:道应设置导出—静电的设施; ! ?    4》  混合气》体引:入管道上《应设置自动》切断阀 】 10?.1:.5  气体管道】和阀门应根》据产品生《产工艺要求选择宜】符合:下列规定 【 , ,     1 【 当气体纯度大于】99.99%、露点!低于40℃时宜采用!内壁处理的不锈钢管!。。阀门宜采用波—纹管:。阀或球阀;》  【   2  气体管!道阀门、附件的【材质宜?与相连接的管道材质!。一致 ? : 10.1.】6  气体管—道连接宜符合下列规!定 —   ?  1  管道连接!宜采用焊《接不锈钢管宜采用】氩弧焊; 】     —2,  :管道与设备或阀门的!连接宜采用表面【密封接头密》。封材料宜《采用金属垫或聚【。四氟乙烯《垫 ?