10 【。 气体？与真空？ ： — ：10.？。1  ？大宗气体 】 ？ 10.1.1  ！。。大宗气体《供应：。系统宜？采用在厂区内设置】制，气装置或外购—液态：。气储罐？和瓶：装气：体方式 】 10.1.2 】 大宗气体供应【系统宜设置气体质量！监控系统 】 10.1.3 ！ 当气体的》纯，度大：于99.9999％！、露点低于40℃】时大：宗气：。体，应设置终端气—体纯：化装置气体终端【。纯化装置应设置在用！气点处 《 ？ 10《.1.4《 ， 生产厂房内的【大宗气体管道等应采！取，下，列技术措施 【 ？     1  管！道及阀门附件内壁处！理等级？应满足？输送气体的》品质：要求； 《。 《    《 2  混合气体】管道的终端或最【高点应设《置放散？管放散管口应设置】。阻火器； 】     3  ！。混合气体管道应设置！导出静？电的：设施：；  】   4 》 混合？气体引？入管道上应设置【。。自动切断《。阀 》 10.1—.5  气体管道】和阀门？应根据产品生产工艺！要求选择宜符合【下列规定 — ？     1  】当气体纯度大—于99.99—％、露点低》于40℃时宜—采用内壁处》。理，的不锈？钢管阀门宜采—。用，。波纹管阀或球阀【。； 【    2 — 气体管道》阀门、附件的材【质，宜与相连接的管道材！质一致 — 10.1.6！  气体《。管道连接宜符合下】列规：定 【    《1  管《道，连，接宜采？用焊接不锈钢—管，宜采用氩弧焊—； —     2 【 ，。管道与？设备：或阀门的《连接宜？采用表面密封接头密！封材：料宜采用金属垫或聚！四氟乙烯垫 【