,。
10》 气?体,与真空
【
:
10.1 ! 大宗气体
【
—10.1.1 大!。宗气体供《应系统宜采》用在厂区内设置制】气装置或外购液态】气储罐和瓶装—。。气体方式
】
:10.1.2 【 大宗气体》。。供应系统《宜设置气体质量监控!系统:
》
10?.1:.,3, , 当气体的纯—。度大于9《9.9?999%、露—点低于?。。4,0℃时大宗气体应】设置终端气体纯化装!置气体终《端纯化装置》应设置在用气点处】
》
10.1》.4 ? 生产厂房内的【大宗气体管道等【。应,采取下列《技术措施
》
《
? 1 管道【及阀门附件内壁【。处理等?级应满?足输送?气体的品质要求【;
! 2? 混合气体管道的!终端或最高点应设】置放散管《放散:管口应设《置阻火器;
【
】3 : 混合气体管—道应设置导出—静,电的设施;》
】。 4 混—合气体引入管道上应!。设置自动切》断阀
《。
10.1.!5 : 气体管《。。道和阀门应根据产】品生产工艺》。要求选择宜符合【下列规定
【
《 , 1 》当气:体纯度大于99.】99%、露点低【于,。40:。℃,时宜采用内壁处理的!不锈钢管阀门宜采】用波纹管阀或球阀】;
:
【 2 气体管】道阀门、附件的【材质宜?与相连?接的管?道材质一致
】
?10.1.6 】气体管?道连接宜符合下【列规定?
《
: 1》 , 管道连接宜采用】焊接不锈《钢管宜采用氩弧焊】;,。
! 2 管道—与,设备或阀门的连接宜!采用表面密封接头】。密封:材料宜采《用金属垫或聚四氟】。乙烯垫?
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