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,
2 术 — 语
】
2.—0.1 晶圆 ! ,。 waf《er
【
经—过集成电《路前工序加工后形】成了电路管》芯的硅?或其他化合物半导体!。的圆形单晶片
!
2.0.2 ! 中测 c】h,ip testin!g
—
? 对完《成前工序工艺的【晶圆进行器件—标准和功《能性:电学测试
!
2.0.3 磨!片 wa【fer g》rindi》ng
?
【 通?过磨:轮磨削等手段对晶】圆,。背,面,减薄以满足划片【。加工的厚度要求
】
:
2.0.【4 ?划片 w【afer《。 s:aw
! 将减薄—后的晶?圆切割成独》立的芯?片
《
2.0.5 ! 粘:片 die— bond
【
《 将切割【好的芯片置放到引】线框架或封装衬底】或基座?条带:上
》
2.0》.6 焊线 【。 wire 】bond
】
芯片上!的引线孔通过金线】或铜线等与框架衬底!上的:引脚连接使》芯片电路《能与外部电路连通】
,
》2.0.7》 塑封 m!oldin》g
》
环氧】。树脂:。经模注、灌封、压】入等工序将芯片、框!架或基板、电极引】线等封?为一体
《
2—.0.8 电镀 ! p:。lating
!
》 在框架引脚上】形,成保护性镀层以【增强可焊性
!
2.《0,.9 成品测【试 te》sting》。
】 对包《封后的集《成电路产品》分,选测试的过程
!
2.0.【10 ? 晶:圆级封装《 , w:afer 》level pa】c,kaging
!
《 在完》整,晶圆上完成包括成品!。测试在内的》各道工艺最》后切割?成单:个电路?的封装形式
【。
,
?2,.0.1《1 通孔 —。。 thr《ough《 silico【n :via
【
,
采用深】层等离子刻蚀、【激光加工《或湿法?刻蚀等方式》在芯片和芯片—之间、晶圆和晶圆】之间制作垂直导【通
《
2.0.【12: 凸块《 b》umping
!
? 采用金、铅!。锡或铜?等材料利用薄膜【或,化学镀工艺制成【倒,装芯片电路的接触点!
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