。
:
2? 术 《 语《。
】。2.0.1》 晶圆 w!afer
—
:
经过集!成电路前工序加工后!形成:了,电,路管芯的硅或—其他化合物半导体】的圆形单晶》。片
—
2:.0.2 》 中测 《 chip t!。e,sting
】
? 对完成【前工序工艺的—晶圆进行器件—标准和功能性—。电学:测试
【
2.?0.3 磨片 】。 ?wafer g【rinding
】
— 通过磨轮【磨削:等手段对晶圆背【面减薄以满》足划片?加,工的厚度《要求
【
2.0.4 】划片: : wa《fer saw
!
】将减薄后的晶圆切割!成独立的芯》片
2.!0.5 粘片【 , ,d,ie bond
!
— :将切割好的芯片置放!。到引线框《架或封装衬底或基】座条带上
】
2.0.6 】 ,焊线: wir【e bond—
【 : ,芯片上的引》线孔通过金线或铜】线等与框架衬—底上的引脚连接使芯!。片电路能与外部【电路连?通
《
2.0—.7 ? 塑封 mo!ldi?ng:。
— 环氧—树脂经模注、灌【封、压入《等工序将芯片、框】架或基板、》电极引线等》封为一体
》
?
2.0.8【 电镀 》 plating
!。
,。
— :。在框架引脚上形【成保护性《镀层以增《强可焊性
】
2.0》.,9, , 成品?测试 tes【tin?g
【 《对包封后《的集成电路》产品分选测试的【过程
》
2.0—.10 晶圆级封!装, wafer l!evel p—ackag》ing
! 在》完整晶圆上完成包】括成品测《试,在内的各道工艺【最后:切割成?单个电路的封装形式!。
2.0!.11 通—孔 throu】gh si》licon v【。ia
—
: 采用—深层:等离子刻蚀、激【光加:工或湿法刻蚀—等方式?在,芯片和?芯片:之间、晶圆》和晶圆之《间制作垂直导—。通,。
2.】0.12 》 凸块? bu—mping
【。
《 , 采《用金、铅《锡或铜等材料—利用薄膜或》化学镀工艺制成【倒装芯片电路—的,接触点
》