。
?
2: 术 》 语
!
,
2.?0.1 晶圆【 waf【er:
,。
】 经过集成电路前工!序加工后形成了【电路管芯的硅或【其他化合《物半导体的圆形单晶!片
?
《2,.0.?2 中测 — ?c,hi:p testing!
,
— 对完成—前工序工艺的—晶,圆进行器件标准和】功,能性电学测试
】
《。2.0.3 磨】片 wa【fer g》rinding
!
通!。过磨轮磨削等—手段对晶圆背面减】薄以:满足划片加工—的厚度要《求
:
?
2.《0.4 划片 】 wa》。fer saw【
— 将减薄【后的晶圆切割成独立!的芯片?
2【.0:.,。5, 粘片 》。 d:ie bond【
,
:
【将切割好的芯—片置:放到引线框架或【封装衬底《或,基座:条带上
!2.0.《6 焊线 】 wire》 bon《d
! 芯?片上:的引线孔通过金线】或铜线等与框—架衬底上的引脚【连接使?芯,片电路能与外部【。电路连通《。
?
2.0.7】 塑封 】molding
!。
】。环氧树脂经模注、灌!封、:。压入等工序》将芯片、框架或基】板、电极引》线等封为一体
【
》2.0.8 — 电镀 《 platin【g
》
《 , 在框架引脚上【形成:保护性镀层以增【强可焊性
!
2.0.9— 成品《测试 《tes?。ting
》
— , :对包封后《的集成电路产—品分:选测:试的过程
!
2.0.》10 晶圆级封】装 waf—e,r level 】packagi【ng
?
:
在】完整:晶圆上完成包括【成品测试在内的【各道工艺最后切割成!单个电路的》。封装形式
】
2.0》.11 通—孔,。 th《roug《h sil》icon 》vi:a
《
采】用深层等离子—刻蚀、?激光加?工或湿法刻蚀等方】式在芯?片,和芯片之间、晶圆】和晶圆之间制作垂直!导通
》
2《.0.12》 凸?。块 》bum?ping
》
:
— 采用?金、铅锡或》铜,。等材料?利用薄膜或化学镀工!。艺,制,成倒装芯《片,电路的?接,触点
《