2》。 术 语】
:
:
《。2.:0.1 晶圆【 w》afer
!
经过集成!电路前?工序加工后形成【了电路管《芯的硅或其他化合】物,半导体的圆形—单晶片
!2,.0.2 中【测 chi】p testing!
?
对】完成前工序工艺的】晶圆进行器件标准和!功能性电学》测试
—
2.0.—3 磨《片 : w《afer gri】nding
【。
,
通过!磨轮磨削《等手段?对晶圆?背面减?薄,以满足划片加工【的,厚度要?。求
:
:
2.0—.4: , 划:片, waf【er saw
【
,
《 ? 将减薄《后的晶圆《切割成独《立的芯片
》。。
2—.0.5《 粘片 》。 di?e bond
【
:
,
—将切割好的芯片置】放到引?线框架或封装衬【底,或基:座条带上《
2【.0.6 焊【线 ?。 w?ire?。 bo?n,d
! 芯片上的引线孔!通过金线或铜—线等与框架》。衬底上的引脚连接使!芯片电路能与外部】电路连通
】。
2.0.7【 塑封 》 moldi】ng
》
:
环氧树】脂经模注、灌封、】。压入等工序将芯片、!框架或基板》、电极?引线等?封为一体
!
2.0.8 电!镀 : plating
!
— 在框架—引,脚上形成《保护性镀层以—增强可焊性
—
2—.,0.9?。 成品《。测试 tes【t,ing
【
对包封!后的集成电》路产品分选测—试的过程《
—2.0.1》0, 晶圆级》封装 《wa:fer? lev《el p《。ackaging】。
! 在完整《晶圆上完成》包括成?品测:试在内的各道工【艺最后?切割成?。单个电路的封装形】式
【2.:0,.11 《 通孔 th【rou?gh sili【con via
】
?
采【用深:层等离子刻》蚀、激光加》工或湿?法刻蚀等《方,式在芯片和芯—片之:间、晶?圆和:晶圆:。之间制作垂》直导通
!2.0.《12 凸块— , bumpi】ng
《
:
,
: ?采用金、铅锡或铜】等材料利用薄膜或】化学镀工艺制成倒装!芯片电?。路的接触《点
?