2 术】 《语
!2.0.1 — 晶圆 wa!fer
! 经过—集成电路前工—序,加工后形《成了电路管芯—的硅或其《他化合物《半导体的圆形单晶片!
《
2.0》.2 中测 ! chip te】。st:ing
【
对完】成前工序工艺—的,。。晶圆:进行:器,件标:准和功能性》电学测试
!
2.?0.3 》磨片 wa】fer? ,grind》in:g
》
—通,过磨轮磨削等手段对!晶圆背面减薄—以满足划片》。。加工的?厚度:要求
—。
:2.:0.4 划片 ! w?afer saw
!
】 将减薄后的晶圆】切割成独立》的芯片
!2.0.5 — 粘片? die》 bond
!
将切割!好的芯片置放—。到引线框架或封装】衬,底,或基座条《带上
?
》2.0.6》 焊线 》 wir—e bond
!
芯片!上的引线孔》通过金线或铜线等与!框架衬底上的引脚连!接使芯片电路能与外!。部电路连《通,
:
2.0【.7 ? ,塑封 mo】ldin《g
?。
?
环氧树】脂经:模注、灌封》。、压入等工序将【芯片、框架或基板、!。电,极,。引线:等封为一体
—
2.【0.8 电—镀 ?plating【。
】 :在框架引脚》上形成保护性镀层以!增强可焊性
—
?
,
2.0.9 】成品测试 —testing
】
【 对包封后—的集成?电路产品分选—。测试的?过程:
—2.0?.,10 晶圆级封装! :wafer —level pac!kaging
】
】。在完:整晶圆上《完成包括成》。。品测试在《内的各道工艺最【后切割成单个—。电路的封《装形式?
,
2.0.!11 《通,。。孔 ?thro《ugh sili】con? ,via?
》。。
》采,用深层等离子—刻蚀、激光加—工或湿法刻》蚀,等方式在芯片和芯】片之间?、晶圆和晶圆之间】制作垂?直,导通
【
2.0.1—2 : 凸块 》。。 bumping!
】 采用金》、铅锡?或铜等材料利—用薄膜或化学镀【工,艺制成倒装》芯片电路的接—触点
?。
,