2 术】。 , 语《
2!.0.1《 , 晶圆 — waf《er
【
: 经《过集成电路前工序加!工后形成了电路【管芯:的硅或其他化—合,物半导体的》圆形单晶片
!
2.0.—2 中测》 , : c:hip te—。s,ting
!
对完成】前工序工艺》的晶圆?进行器件标准和【功能性?电学测试《。
2.】0.3 磨—片 waf】er grindi!。n,。g
:
!通过:磨轮磨削《等手:段,对晶圆背面减薄以满!足划:片加:工,的厚度?要求
》
2.》0.4 划片【 waf【er saw
】
【 将减薄后的晶圆】切割:成,独立的芯片
【
2.0.5! 粘?片 d《。ie b《ond
—
? 将切割好的!芯片:置放到引线》框架或封装衬底或基!座条带上《
《
2.0.6 !焊线 ?。 , wire b】。ond
! 芯片—上的:引线:孔通过金《线或铜线等与框架】衬底上的引脚连接使!芯片:。电路能与外部电【。。路连通
【
2.0.7 !塑封 ? : mold》ing
】
《 环氧树脂经模【注、灌封《、压入等工》序将:芯片、框架或基板、!电极引线等》封为一?。体,
2.】0.8 《 电镀 pla】ting
》。
:
:
, 在框—架,。引,脚上形成保》护性镀层《以增强?可,焊性:
《
:2.0.《9, 成品测试— testi【n,g
【。 对》包封后?的集成电《路产:品分选测试的—。过程
】2.0.10 【 晶圆级《封装 wa—fer level! pac《。kagi《ng
【
, 在完—整晶圆上《完成包括成品测【试在内?的各:。道工:。艺最后切割成单【。个,电路的封装》。形,式
—
2.0.1—1 通孔 t】。hrough— silicon】 via
—
?
《 采用深层等离子刻!蚀、激?光加工或湿法刻【蚀等方式在芯片和芯!片之间、晶圆—和晶:圆之间制作垂直【导通
《
2.0【.12 凸块【 bumpi!ng
! ?采用金?、铅锡或《铜等材料利用薄膜】或化学镀《工,艺制成倒《装芯片电路》的接触点
》
,