。
2 术】 语
【
?
2.0—.1 《晶圆 ?。 ?wa:fer
! 经过—集成电路《前工序?加,。工后形成了电—路管芯的硅》或其他?。化合物半导》。。体,。的圆形单晶片
!
,。。
2.0》.,2 中测 — chip t!esting—
《
》 对完成前工序工】。艺的晶圆《进行器件标准—和功能性电学测试
!
,
2.0【.,3 磨片 【 wafer【 grinding!
:
,
:
通过磨】轮磨削等手》段对晶圆背面减薄】。以满足?划片加工的厚度要求!
2.】0.4 》划片: wa—fe:r :。saw
】
, : 将减薄后—的晶圆切割成独【立的芯片
!
2.0.5— , 粘片 d—。ie bond【
,
《
? 将切割好的芯片!置放到引《线框:。架或封装衬底或基座!条带上
!2.0.6 【焊线 —wire b—ond
【
芯片】上的引?线孔通过《金线或铜线等—与框架?衬底上的引脚连【接使芯片电路能与】外部电?路连通
—。
2.0.7 ! 塑封 mo!ldin《g,
,
?
》 ,环,氧树脂经《模,注、灌封、压入等工!序将芯片、框架或基!板、电极引线—等封为一体
!
,
2.0.8 电!镀 pla—tin?g
?
:
,
》在框架引脚》上形成保护性镀【层以增强《可焊性
《
2.0.!9 成品测试 】 testing
!
:
? 《对包封?后的集?成电路产品分选测试!的过程
!2,.0.10 晶】圆级封装 —wafe《r leve—l pac》k,aging》
! 在完整《晶圆上完成包括【成品测试在内的【各,道工艺最后切割【成单:。个电:路的封装形式
】
2.0【.11 《 通孔 thro!ugh 《silicon【 via
】
》 采:用深:层等:离子刻蚀、激光加】工或湿法《刻蚀等方式》在芯片?。和芯:片之间、晶圆和晶】圆之间制作垂直【导通
【
2.0.12 】 凸块 》 bump—ing
《
!采用金、铅锡或铜】。等材料利用薄—膜或:化学镀工艺制—成,。倒装芯?片电:路的接触点》
: