C.15】 静电测》试
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C.15—.1 洁》净室(区《)内的地面、墙面】和,工作台面等的表【。面导静电性》能的测试《应,根据生?产工艺要《。求确定宜采用高阻计!进行测?。试
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C》.15.《2 在相关—表面的导静电测试】表面:上采用图C》.15.2所示的】测试:装置进行《。表面:电阻和泄漏》电阻的测《量圆柱形铜电极的直!。径,应为60mm—质量应?为2.0kg;【2,个铜电极《之间的距离应大于或!等于900》mm
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》图,C.15《。。.2 表面—导静电?性能测试《装置
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1-—。高阻:计;2-《被测表面;3-【圆柱形?铜电极;4-湿滤】。纸垫
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