C.15】  静电测试 【 ： ：。。 ， C.《15：.1  洁》净室(区)内—的地：面、墙面《和工作台面等—。的表面导静电—性能：的测：试应根据生产工艺】要求确定宜采用高】阻计进行测试 】 ：。 C.《15.2  在相】关表面？的导：。静电测试表面上采用！图，C.15.2所示】的测试装置》进行表面电阻和泄漏！电阻：的测量圆柱形—铜电极的直径应为】60mm质量应为2！.0kg；》2个铜电极之—间的距离应大—于或：。。等于9？0，0mm？ ！ 图C.1【5.2  》表面导静电》性能测？。试装置 【 1-高阻—计；2-被》测表面；3-—圆柱形铜电极；【4-湿滤纸垫 】