， C.15 】。 静电测试 】 C.【15.？1  洁净室—(区)内《的地面？、墙面和工作—台面等的表》面，导静电性《能的测试应》根据生产工》艺要求？确定宜？采用高阻计进行测】试 【C.15.2  】在，相关表面的导—静电测试《表面上采用图C.1！5.2所示的测试装！置进行表面电—阻和泄漏电阻的【测量圆柱形》铜电极的直径应为】60mm质量应为】2.0kg；—2个铜电极之间的距！离应大于或等于90！0mm 【 ， 图】C.15.2  】。表面导静电性能测】试装置 】 1-高《阻计；2-被—测表面；3-—圆柱形铜电极；【4-湿？滤纸垫？ ：