C.15】 ， 静电测试 ！ C.15】.1 ？ 洁净室(区)内】的地面？、墙面和工作台面等！的表：面，导静：电性能的测试应根】据生产工艺》要求确定宜》采用高阻《计进行测试 — 《 ，C，。.15.2  在相！。关表面的导静电测试！表，面上：采用图C.》15：。.2所示的测试装置！进行表面电阻—和泄漏电阻的—。测量圆柱形铜—电极的直径应为60！mm质量应为—2.0k《g；2个铜电极【之间的距离》应大于？或等于900—mm ！ 图C.】1，5，.2 ？ 表面导静电性能】测试装置 》 ： ？1-：高阻计；《2-：被测：。表面：；3-圆柱形铜【电极：；4-湿滤纸垫【 ：