C.—15  《静电测？试 》 C.15】.，1  洁净室(【区)内的地面、墙】面和工作台》面等的表面导—静，电性：能，的测试应根据生【产工艺要《求确定宜《采，用高阻计进行—测试 ？ C—。.1：5.2  在—相，。关表面的导》静电测试表》面上采用图C.【。15.2所》示的测试装置—进行表面电阻和泄漏！电，阻的测量圆》柱形：铜电极的直径—应为60mm质量应！为2.？0kg；2个—铜电极？之间的距离应大【于或等于900m】。m 》 】。图C.15.2 】 表面导静电性能测！试装置 》 1-—高阻计？；2-被测表面；】3，-，圆柱形铜《电极；？4-湿滤纸垫 【 ，