C.15 ! 静:电测试
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C.?15.?1 洁净》室(区?)内的?地面、墙《面,和工作台《面等的表面导静【电性能的测试—。应根据生产工艺【要求确?定宜采用高阻计进行!测,试
【C,.15.2 — 在相关表》面,的导静电《测,试表面上采》用图C.《15.2《所示:的测试装置进行【表面电?。阻和泄漏电阻的测】量圆柱形《铜电极的直径—应为:60mm质量应为】2.:0k:。g;2个铜电极之】间的距离应》大于或等《于900《mm
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图!。C.15.》2 表面导静电】性能测试装置
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?1-高?。阻计:;2-被测表面【;3-圆柱》形铜电极;4-湿】滤纸:垫
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