C.1【。5  静电》测试 【 ： C.15.1 】 洁净室(区—)内的地面》、墙面和工作—。台面等的表面导静电！性能：的测试应根据生【产，。工艺要求《确定宜采用高阻计】进行：测试 C！.15？.2  在相关表】面的导静《电测试表面上采【用图C.《15.2所》示的测试装置进行】表，面电阻和泄漏电阻的！测量圆柱形铜电【极，的直径应为60mm！。质量：应为2.0》kg；2个》铜电极之间的距离应！大于或？等于900mm ！ ！ 图C.15.【2  表面导静电性！能测：试装置 ！1-高阻计；—2-被？测表面；3-圆柱】形铜电极《；4-湿滤》纸垫 《