？ C.15  静电！测试：。 】C，.15.1 — 洁净室(区)内】的地面、墙面和工】作台面等的》表面导静电性—能的测试应根—。据生产工艺要求确】定宜采？用高阻计进行测【试 【。。C.15.2  】在相关？表面的导静电—测，试表面上采》。。用图C.《15.2所示的【测试装置进行表【。面电阻和泄漏电【阻的测量圆柱形铜电！极，。的直：径应为60m—m，质量应为《2.0kg；—。2个铜？电极之间的距离【应大于？或等于900m【m 【 》 图C.1》5.2 《 表面导静》电性能测试》装置 》 1-高阻【计；2-被测表面】；3-圆《柱，形铜电极；4—-湿滤纸垫 【