C.1【4 ： ，微振测试 【 ？ C.14.1】  洁净厂房中【需要微振控制的精】密设备仪器或房【。间(区域)应进【行微振控《制设施的建造质量】。检测检测宜采—。用微振测试分—析系：统进行测试可—包括：微振动传感器、【专用仪器和计算【机，分析系统等 ！。 C.14.【2  微振测试应按！下列规定分》阶，段进：。行 【   ？ 1  洁》净厂房建《设场地的环境—振动测试应提供振】动设计的本底数据】； 》 ： ， ，。  2  建筑结构！振动特性测》试应在结构工程施工！完成后按微振控制】设计要求进行—测试校核结构建【造，质量； 《 ：。     3 ！。。。 ，精密设备仪器—安装地点的环—境振动测试应在洁】净，厂房中各种公—用动力设《。。备，安装并？试运转后应》按洁净厂房中除生产！工艺：设备外的所有设【施、设备均已—正常运转《。后进行精密设—备仪器安装地—点的：环境振动《。测试以最终校核、】确定精？密设备仪器和相关】。设施的微振控制【措施； 【     —4  精《密设备仪《器的微振《最终测试应》在此类设备试—运，转后并应按生产工】艺要求？。的状态进行》最终测试检》查微振控制设施的】整体建造质》量 ？