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:C.14 》 微振测《试
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C?.14.1》。。 洁净厂房中【需要微振控制的精】密设备仪《器或房间(区—域):应进行微振》控制设施的建造质量!检测检测宜》采用微?振测试分析》系统进行测》试可包括微振动传】感器、专用仪器和】计算机分析系统等】
—C.14.2— 微振测》试应按下列规定【分阶段进行
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1 】 ,。洁净厂房建设—场地的环境振动测】试应提供振动—设计的本底》数据;
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? 2 建筑】结构振?动特性测试应—在结构工程施—工完成?后按微?振控制设计》要求进行测试校核结!。构,。建造质量;
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3! 精密设备仪【器安装地《点的环?境振动测《试应在洁净厂—房中各种公用动【力设备安装并—试运转后应按洁净】厂房中除生》产工艺设备》外的:所有设施、设备均】已正常运转后—进,行精密设备》。仪器安装地点—的,环境振动测试以【最终:校核、确定精密设备!仪器和相关设—施,的微:振,控制措施;》
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— 4 精密—设备仪器的微振最】终测试应在此类【设备试运《转,后并应按生产工艺要!求的状态《进行:。最终测试检查微【振控制设《施的整体建》造质量
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