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C:.1:4 微振测试
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C.14.1 】 洁净厂房中需要微!振控制的精密设备】仪器或房间(—区域)应《进行微振控制设施】的建造质量检测【检测宜采用微振测试!分析系统进》行测试可《。包括微?振动传感器、专【。用仪器和计算机分】析系统等
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C.14.!2 微振测试应按!下列规定分阶段进】行
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《。 : 1 《洁净厂房《建设场地的》环境振动测试应提】供振动设计的—本底:。数据;?
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2 建!筑结构振动特性测试!应,在,结构工程施工完成后!按,微振控制设计要求进!。行测试校核结构建造!质量:;
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《 , 3 精—密设备仪器安装地点!的环境?振动测试应在洁净厂!房中各种《公用动?力设备安《装并试?运转后应按洁—净厂房中《除生产工艺设备外】的所有设施》、,设备均已正常运转后!进行:精密设备仪器安装地!点的环?境振:动测试以《最终校核、确—定精密设备仪器【和相关设施的微振】控,制措施;
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》。 4 精密【设备仪器的微振最】终测试应《。在此:类设备试运转—后并应按生产工艺】要求的?状态进行最终测试】检查微振控制—设施的整体》建造质量
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