安全验证
? C.14》  微振《测试 ! C.14.—1,。  洁净厂房中需要!微振控制的精密设备!仪器或房间》(区域)应进行【微振控制设施的建】造质:量检测检《测宜:。采用微振测》试,分析:系,统进:行测试可《包括微振动》传感器、专用仪【器和计算机分析系统!等 C.!1,4.2  》微振:测,试,应按下列规定分【阶段进行 —   —。 , 1  洁净厂房】建设场?地的环境《。。振动测试应提供振动!设计的本底数—据; 】    2  建筑!结构振动特性测试应!在结构工《程施工完《成后按微振控—制设:。计,要,。求进行测试》校核结构建造质量】;   !  3  精—密设备仪器安装地点!的环境振动测试【应在洁净厂房中各种!公用动力设》备安装并试运—转后应按洁净厂房】中除生?产工艺设备外的所有!设施:、设备均已》正常运?转,后,进行:精密设备仪器—安装:地,点的环?境振动测试以最终】校核、确定精密【设备仪器和相关设】施的微振控制措施;! 《     4【  精密设备仪器的!。。。微振最终测试—应在此类设备—试,运转:后,并应:按生产?工艺要求的状态【。进行最终测》试检:查微振控制设施的】整体建造《质量 《