C.14】  微振测》试 《 ： C.14.1！  洁净厂房—中，需要微振《。控制的精密设备仪】。器，或房间(区域)应】进行：。微振控制设施的【建，造质量检测检—。测宜采用微振测试分！析，系统进行测试可包括！微振动传感器、【专用仪器和计算机】。分析系统等 — C.【14.2 》 微振测《试应按下列规定【分阶段？进行 【   ？  1  》洁净厂房建设场地的！环境振？动测试应提供—振动设计《的本底数据； 】     】2 ： 建筑？结构振？动特性？测试：应在结构工程施【工完成？后按微振《控，制设：计要求进行测试校核！结构建造《质，量； 《 《    3  精】密设备仪器安装【地点的环境振—动测：试应：在洁净厂房中各种公！用动力设备安—。装并试？运转后应《按洁净？厂房中除生产工【艺设备？外的所？有设施、设备均【已，正常运转后进行【精密设备仪器安【装，地点的环境振—动测试以最终校【核、确定精密—设备仪器《和相关设施》的微振？控制措？施；： ？ ：     4  】精密设备仪器的微振！最终测试应在—此类设备试运转后】。并，应按生产工》。艺，要求的状态》进行最终测试检查微！振控制设施的—整体建？。造质量 》