《C.13《  大粒《子的测试 【 ： C.13.】1  对洁净室(】区)内粒径》大于：5μm？的，大粒子的测试可【在，。三种占用《状，态中的任一》种状态？下进行测试 【 C.13】.2  大粒子的测！试宜采用过滤法、粒！子计数器计数法【等进行测量其—采样点？、采样流量可按本】规范第？C.1节的》要，。求进行 《 ，