安全验证
C.13 ! 大粒子的测试 】 ? 《C.13.》1  对洁净室(区!。)内粒径《大于5μm》。。的大粒?子的测试可》在三种占用状态中的!任一种状《态下进?行测试 !C.13.2—  大粒子》。的测试宜采》用过滤法《、粒子计数器计数法!等进行测量》其采样点、》采样流量可》按本规范第C.1】节的要求进》行 : ,