安全验证
C.1【3  大粒子的【测试 【 C.13.1!  对洁净室(区】)内粒径《大于5μm》的大粒子的测试【可在:三种占用状态中的】任一种状态下进【行测试 !。C.13.2  大!粒子:的测:试宜采用过滤法、】粒子计数《器计数法等》进行测量其采—样,点、采样流》量可按本规范第【C.1?节的要求进》行 ?