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, C.》13 《。大粒子的《测试 ! C.1《3.1 《。 对洁净室(区)内!粒径大于5》μm的大粒子的测试!可在三种占用状态中!的,任一种状态下—。进行:测,试 》 C.《13.2 大粒】子的测试宜采用【过滤法、《粒子计数器计数法等!进行测量其采样点、!采样流量可按本规】。范第C?.1节的要求—。。进行 《