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C.1【2 超微》粒子的测试》 : 》 C.12.1【 , 对洁净室(区【)内粒?径小于0.1—μm的超微粒子的】测试可在三种占用】状态中的任一—种状:。态下进行测试— C.】12.2《 超微粒子的测】试宜:采用凝聚核粒子计】数器进行;其采【样点:和,采样流量《可按本规范第C.1!节的要求进》行 ?