安全验证
C.12】  超微《。粒子的测试 !。 C.12.!1  对洁净—室(区)内粒—径小于0.》1μm?的超微粒子的测试可!在三种占用状—态,中的任一种》状,态下进行测试 】 C》.12.2  超】微粒子的《测试宜?采用凝聚核粒子计】数器进行;》其采样点和采样流量!。可按本规范第C.】1,节的要求进行 】