安全验证
。 C.—12  《超,微粒子的《测试: , C】.12.《1  对洁净室【(区:)内粒径小于0.】1μm的超微粒【子的测试《可在三?种占用状态中的任】一种状态下进行测】试 ? 《C.12《.,2, , ,超微粒子的测试宜】采用凝聚《核粒子计数器进【行;其采样点和【采样流?量可按本《规范第?C.1节《的要:。求进行 《。 ,