。 C.12】 ， ，超微粒子的测—试 ？。 ， C.12！.1 ？ ，对，洁净室(区)内粒】径，。小于0.1μm的超！微粒子？的测试可在三—种，占，用，状态：中的任一种状态下】进行测试《 C.】12.2 》 超微粒子的测试】宜，采用凝聚核粒子计数！。器进行；其》采样：点和采样流量可按本！规范第？C.1节《的要求进行 【