C.1【2  超微粒子【的测试 》 》。 ，C，.12.《。1  对《。。洁净室(区)内粒径！小于0？.1μ？m的：超微粒子的测—。试可在三种》占用状？态中：的任：一种状态《下，进行：测试 《 C.—12：.2  超微粒子】的测试宜采用凝聚】。核粒子计数器进【行；其采样》点和采样《流量可？按本规范第》C.1节的》要求进行 —