C.5 】 ，气流流型的检测 】 ： C.【5.1  气流【流型的检《测，应包：。。括气流目测和气流】流，向的测试气流目【测可采用示踪线【法、发？烟(雾)法和采用】图像处理技术等方法！气流流？向的测试宜采用示踪！线法、发烟(雾)法！和三维法测量—气流速度《等，方法 》 C.5.【。2  采用示踪线法！时可采用尼龙单【丝线、？棉线、薄膜带等轻质！纤维并？应，。放，置在测试杆的—末端或装在》气流：中细丝格栅上应【直接观？察出气流的方—向和因干扰引起的波！动 》 C？.5.3  采用发！烟(雾)《法时：可，采用去离子水并【应用固态二氧化碳】(干冰？)或超声波雾—。化器等生成直径为】0.5μm～—50：μm的水雾采用【四氯化钛(Ti【Cl4)作示—。踪粒子时应确保【洁净室、室》内设备以《及操作人员不受四】氯，化钛产生的酸—伤害 — ， C.5.4—。  应用图像处【理技术进行气—流，。目测时？应采用本规范第C.！。5，.，。2条得到的》在摄像机或膜上的】粒，子图像数据并应利】。用二：维空气？流速度？矢量确？认量化的气流特性】 C.5！.5  采用三维】法测量气流》速度时检测点—应选择在关》键，工作区及其》工作面高度根据【建，设方要？求需进行洁净室(】。区)的气流》方向的均匀分布【。测试时应进行多【点测试其测》试点的选择宜按本规！范第C.2》节的方法选用 【 ，