C.5 】 气流流型》的检测?。
】C,.5.1 气流】流型的检《测应包括《。气流:目测:和气流流向》的测试气流目测【可采:用示踪线法、发烟】。(雾:。)法和?。采用图?像处:理技术等方》。法气流流向的—测试宜?采用示踪线法、发】烟,(雾)?法,和三:维法测量《气流速?。度等方?。法
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C.5.》2 采用示—踪线法?时可采用尼龙单丝】线、棉线、》薄膜带等《轻质纤维并应放【置在测试杆的末端】或装在气流》中细丝格栅上应【直接观察《出气流的方向—和,。因干扰?引起:的波动
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C.5.3【。 , 采用发烟(雾【)法时可采用去离子!水并应?。用固态二氧化碳(】。干冰)或超声波【雾化:器等生成直径—为0.5μm~50!μm的水雾采用【四氯化钛(》。TiCl4》)作示踪粒子时【应确保洁净室、【室内设备《以及操作人员—不,受四:氯化钛产生的酸伤】害
C】.,5.4 应—用图像处理技—。术,进,行,气流目测《。时应采?用本规范《。第C.5.2条【得到的在摄像—。机或膜上的粒子【图像数据并应利【用二维?。空气流速度矢—量确认量化的气流】特性
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C.5.5—。。 采用三》维法测量气》流速度时检》。测点应选择在—关键工作区》及其工作面高度根】据建设?方要求需进行洁净室!(区)的气流方向】的均匀分布测试【时应进?行多点测试其测试】点的选择宜按本规】范第C.2节—。的,方法选用
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