？。 C.5  —气流流型的检—。。测 》 ？ ，。C.5.1 — 气流流型的检测】应包括气流目测和气！流流：向的测？试气流目测》可采用示《踪线法、发烟—(，雾)法和采》用图像？处理技术等方法气流！流向的测试宜采【用，示，。踪线法、《发烟(雾)法和三】维法测量气流—速度等方法 ！ C.《5.2？  采用示踪线法时！可采用尼龙单—丝线、棉《线、薄膜《带等轻质纤维并应放！。置在测试《杆的末端或装在【。气流中？细丝：格栅：上应直接《观察：出气：流的方向和因—干扰引起的波动【 C.5！.，3  ？采用发烟(雾)法】时可采用去》离子水并应用固【态二氧？化碳(？干冰)或《超声波雾化》器等生成直径为0.！5μm～50—μm的水雾采—用四氯化钛(T【iC：l4)作示踪—粒子：时应确保洁净室、】室内：设备以及操作人员】不受四氯化钛产生】的酸伤害 — 《C，.5.4《  应用《。图像处理技术进【行气流目测》时应采用本规—范第C.5.2条得！到的在摄像机或膜】上的粒子图像数【据，并应利用二维—空气流速度矢量【。确认量化的》气流特性《 C.5！。.，5  采《用三维法《测量气流速》。度时检测《点应选择在》关键工作区及其工作！面高度根据》建，设方要？求需进行洁净室(区！)的气流方向的【均匀分布测试时应】进行多？点测试其测试—点的：选择宜按《。本规范第C.2【节的方法选》用 ？