C.5【 气?流流:型的检?。测
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,C.5.1 气】流流型的检测应【包括气流《目测和气流》流向的测试气流目测!可采用示踪线—法、发烟(雾)【法和:采,用图像处理技术等方!法气:流流向?的测试宜采用示踪】线法、发烟(雾)】法和三维法测量气】流速度等方法—
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C.5.2 】采用示踪线法时可】。采,用尼:龙单丝线、棉线、】薄膜带等轻质纤【维并应放置在测试】杆的末端或装在【气,流中细?丝格栅上应直—接观察出气流的【方向和因干扰引起】的波动
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,C.5.3 — 采:用发烟(雾)法【。。时可采用去离子水】并应用固态》二氧化碳(干冰)或!超声:波雾化器等生成【直径:为0.5μm~【50μm的水雾【采用四氯化钛(T】iCl4)作示踪】粒子时应确》保洁净室、室—内设备以及操作人】员,不受四?氯化钛产生的—酸伤害
!C.5.4 — 应用图像处理技】术进行气流目—测时应采用本规【范第:C.5.《2条得?到的在摄像》机或膜上《的,粒子图?像数:据,并应利用二》。维空气流速》度矢量确《。认量:。化的气流特性
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C》.5.5 —。采,用三维法测量气流】速度:时检测点应选择在】。关键工作区及其工】作面高度根据建【设方要求《需进行洁《净室(区)的—气流方向的均—匀分布测试时应进】行多点?测试其?测试点的选择—。宜按本规范第—C.2节的方法【选用:。
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