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C.4 【已装:空气过滤《器的检漏
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C.【4.1 《 对已安《装的高效空气过滤器!应进行检漏应—检测高效空气过滤器!送风口的整》个面、过《滤器的周边、过滤器!外,框,和安装框架之间【的,密封处检漏时应从过!滤器的上风侧引【入测试气溶胶并【应,立即在其《下风侧进行检测该项!。测试宜在洁净—室(区)的“空态”!或“静态”进行
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《C.4.2》 高效空气过【滤器安装后》的检漏方法应—。。采用光度计法和粒子!计数器法光》度计法?宜用于带小型—空气:处理系统的》洁净室或安装有【气,溶胶注入点的管【路系统可达到规定的!高浓度测《试气:溶胶;应采用—粒子计数《。器法进行《高效空气过滤—器,安装后?的检漏
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》C.4.3 采】用光度计《法进行扫描》检漏时被《测试的过滤器的【最高穿透粒》。径的穿透《率应等于或大于0】.005《%所采用的测试气】溶胶不?应影响洁净室(区】),内的产品或》工艺设?施
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【在,。。进行光度计法—。检漏前被测试—过滤器应《在额定?风速的80》%~1?。2,0%运?行并应?确认其送风》的均匀性《
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【 :被测试过《。滤器的上风向—引入的气溶胶—的浓度应为10m】g/m3《~100m》g/m3浓度低于2!0mg/m3时【可降:低检漏的《。灵,敏度而浓《度,高于80《mg/m3》时,长时间?测试可造成过滤器的!污堵在过滤器检漏前!应确认?气溶胶的浓度和均匀!性
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《 检漏扫描时若【。采用3c《m×3cm方形【探管扫?。描速度不《得超过5cm—/s:矩形:探,管的最大《面积扫描《率不得超过15【cm2/s在—。扫描过程中》显示有等于或—大于:限值的泄漏时应将探!。管停留在泄漏处高效!空气过滤器的泄漏值!应以:不,超过上风向测试气溶!胶浓度的10-4为!合格
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C.4.4【 :采,。用粒子计数器法进行!扫描:检,漏时被测《。试,的空气?过滤:。器最易?穿透粒径的穿透率应!大于:。。或,等于0?.00005%【不应允许采用可能】沉积在过《滤器或管道上的【挥发性油光尘的【测试用气溶胶
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在进【行,粒子:计数器检漏》前被测试《。过滤器应在额定【风速的70%~1】30%运行并应确认!其,。送风的均《匀性:
— : 检漏扫描时采样!口距离?被测:。部位应小于5.0】cm并应以0—。.05m/s的【速度:移,动空气高效过滤器】下风侧测试得—到的泄漏浓度换算的!透过率不得大于该】过滤器出厂合格【透过率?的3倍?
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C.4【.5 ? 安:装在管道或空气处】理机内的高》效空气过滤器的检漏!检,测可:采用光度《计法或粒子计数器法!。安装在管道或空气处!理机内的高效—空气过滤器采用粒】子计数器法检—漏时最易穿》透粒径的穿透率应】。大于0.《005%
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】检漏时被检测过滤】器应在设计风速【的70?。%~13《0%之间进》行并应?确认其送风均匀性】上风向引入的大气尘!或,气溶胶浓度应能【满足在下风向测【试,得到具有《统计意?义的读数
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, 测试时采】样口应?距被测部位30cm!~100cm—在,。管道中应距管—壁2:.5cm并》应记录实测的含尘浓!。度
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高!效空气过滤器检【漏的限值采用光度计!法时不得超过—10-?4(0.01%);!采用粒子计》数器法时不得大于】出厂合格透过率【的,3倍
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