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C.4 已装空!气过滤器的》检漏
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C.4.1! 对已安》。装的高效空气—过滤器?应进行检漏应检测】高效空气过滤器【送风:。口的:整个面、《过滤器的周》边、过滤器外框和安!装框架之间的—密封处?。检漏时应从过滤器的!。上风侧引入测试【气溶胶并应》立即:在其下风侧进行检】测该项测试宜在洁】净室(区)的“空】态”或“静态—。。”进行
!C.4.2 — 高效空气过滤器安!装后的检《漏方法应采用—光度计法和粒子计】数器法光度计法【宜用于带小型空气处!理系统?的洁净室或安装有】气,溶胶:注,入点的管路》。系统可达到》规,定的高浓度测试气溶!胶;应采《用粒子计数器—法进行?高效空气《过滤器安装后的【检漏
C!.4:.3: 采用光度计法进!行扫描?。检漏时被测试的【过滤:器的最高穿透粒径的!穿透:率应等于或大于【0.005%所采】用的测试气溶—胶,不应影响洁净室【(区)内的产品或】工艺设施
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—在进行光度计法检漏!前,被测试过滤器应在】额定风速的80%】~120%》。运行:并应确?认其送风的均—匀性
】 , 被《测试过滤器的上【风向引入的》气溶胶的浓度应为】10mg/m3~1!0,0mg/《m3浓度低于20】mg/?m3时可降低检漏的!灵敏度而浓度—高于80mg—/,m3时长时间测试可!造成过?滤器的污堵在—过滤器?检漏前?应确认?气,溶胶的浓度和—均匀性
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【 检漏《扫描时若采用—。3cm×《3cm方形探—管扫描速度不得超过!5,cm/s矩形—。探管的?最大面积扫描率【不得超过15cm】2/s在扫描过程中!显示有?等于或大于限值的】泄,漏时应将探管—停留在泄《漏处高效空气过滤器!的泄漏值应以不【超过上风向测—试气:溶胶浓度《的10-4为合【格
C.!4.:4 ?采用粒子计数器法】进行扫描检漏时被测!试的:空气过滤器最易【穿透粒径的》穿透率应大于或等于!。。0,.00005%不】应允许采用可能【沉积在过滤器或【管道上的挥发性油】光尘:的测:试用气溶胶
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? , 在进《行粒:子计数器检》漏前:被测试过滤器应【在额定风速的7【0%~130%【运行并应确认其【。送,风,的均匀?性
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《 检漏扫》描时:采样口距离被—测部位应小于5.】0cm并应》以0:.05m/s的速】度移动空气高效过滤!器下风?侧测试得到的—泄漏浓?度换算的透过率不】得大于该过滤—。器出厂合《格透过率《的3倍
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C?.4.5 安装】在管道或空气处【理,机内的?高效空气过滤器【的检漏检《。测可采用光度计【法或:。粒子计数器法安装】。在管道或《空气:处理:机内的?。高效空气过滤—器采用粒子计数【器法检漏时最易【穿,透粒:径的穿透《率应大于0.005!%
! 检漏时被检测】过滤器应在设计风】。速的70%~—13:0%之间进行—并应确认其》送风均匀性上风向引!。入的大气尘或气【溶胶浓度应能—满足在下《风向测试得到具有】统计意义的读数
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》 测试时采》样口应距被》测部位30cm~1!00cm《在管道中应》距管壁2.5cm】并应记录实测—的含尘?浓度
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《 高效空气过滤【器检漏的限值采用】光度计?法时:不得超过1》0-4?(,0.01《%);采用粒子计数!器法时不得》大于出厂合格透过率!。。的3倍?
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