C.6 !温度的?检,测
!C.6.1 【温度测?试应确认空》气处理设《施的温度控制能力】洁净室(区)的温度!测试可分《为一般温度测试和】功能温度测》试一般?温度测试应用于【“,空态”时《的洁净室(区—)温度测试》功能温?度测试应用于洁净室!(,。区)需?严格控制温度精度】时或建?设方:。要求在“静态”或】“动态”进行—测试时
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C.6.2 温!度测试?可采用玻《。璃温度计、电阻温】度检:测装置、数字式温】度计等
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C.6.3】 :温度测试应在洁净室!(区)气流均匀【性测试完成后进行并!应在净化空》调系统连续运行24!h以上
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C.》6.4? 一般温度—测试:的测点每个温度控制!区或每个房间应至】少设1?个测点测试点高【。度宜为工《。作面高度《测量时间应》至,少,1.0?h并应至少每6m】in测量《一次读数《稳定后?应做好记录
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C.6.5 】功能温?度测试应《将洁净?工作:区划分为等面积【的栅格?每,个分格?的面积不应超—。过,。100m《2或与建《设方协商确定每【格,。。测点应为1个以【上每个房间测点应至!少2个?
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测【。试高度应为工—作面高度距洁净室(!区)的吊顶》、,墙面和地面不—应小于300mm并!应,计及热源《等的影?响测量时间应至【少1.0h并—应至少每6》min测量一—次读数?稳定后应做好记录】
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