C.6 】 温度的检测
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C.《。6.1 温度【测试应确认空气处】理设施的温度控制能!。力洁净室(区—)的温度《测试可分为一般温】度测试和功能温度测!试一般温度测试【应用于“空态”时的!洁,净室(区《)温度测试功—能,温度测?试,应用于洁净室(区】)需严格控》制温度精度时—或建设方要求在“静!态”或“动态—”进行?测试时
!C.6.2 — 温度测试可采【用玻璃温度计、【电阻温度《检测:装置、数《字式温?度计:等
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C.6.3— 温度测》试应在洁净室—(区)气流均—匀性测试完成后【进行并应在净化空调!系,统连续运行24h】以上
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C.《6.4 一般温度!测试的测《点每个温度控—。制区或每个》房间应至少设1【个测点测试点高度宜!为,工作面高度测量时】间应至少1》.0h?并应至少《每6min测量一】次读:数稳定?后应做好记录
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C.6.5! 功能温度—测试应将洁》净工作?区划分为等面—积的栅格每个分【。。格的面积不应—超过100m2【或与建设《方,协商确定每》格测点应为》1,个以上?。每个房间测》点应至少2个
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《 测试高度应【为工作面高度—距洁净室《。(区)的吊》顶、墙面和地面不】应小:于,300mm并应【计及热?源等的影《响,测,量时:间应至少1.0【h并应至少每6mi!n测量一次读数【稳,定后应?做好记录
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