13.1.1  本章适用于与洁净厂房施工验收相关的生产工艺设备安装和验收，但不应包括生产工艺设备自身的施工安装和验收要求。

13.1.2  洁净厂房中生产工艺设备除大型设备外，宜在洁净室(区)空态验收合格后进行安装。

13.1.3  设备的搬运、安装过程不得有超范围的振动、倾斜，不得划伤及污染设备表面，设备搬入洁净室(区)前应清洁、无尘。