， 13  【生产设备安装 【。 》 ？ 13？.1  《一般规定 ！ 1《3.1.1  【本章适？用于与洁净》厂房施工《验收相关的》生产工艺《设备安？装和：验收但不应包括生产！工艺设备自身—的施工？安装和验收》要求 1！3.1.2 — 洁净厂房》中生：产工艺设《备除大型设备外宜】在洁净室(》区)空态《。验收合格《后进行安装 — 13【.1.3  设备】的搬运、安装过程】不得有超范围—的振动、倾》斜不得划伤及—污染设备表面设【备，搬入洁净室(区)前！应清洁、《。无尘 《