。 ： 13.2 【。 设备安装 — ： 13.2！.1  生产工艺】设备安装施工条件宜！符合下列规定 【   【  1  安装生】产工艺设备》前，洁净厂房净化—空，调系：统，应已连？续正常运行48h】照，明系统应已正常【工，作且：现，场应有便捷电—源供应； 】 ，  ：  ： 2 ？ 大型？、特殊要求的生产设！备应：按设：计要：求在净化《空调系统安装—前就：。位可按本规范—。附录A？进行； ！  ：  3  》洁净室(包括风淋】室)应已启用并应建！立洁净厂房设备安】装管理操作规程【 13.！2.2  洁净【室(区)内生产【设备安？。装施：工，用辅助材料》应符合下列规定 】。 《     1  】应为无尘、》无锈、无油脂且【在使用过《程中不产《尘的清洁材料； ！ ：     2  ！应以洁净《、无尘的板材、【薄膜等材料》保护洁净室(区)】的建：筑装：。饰表面？； ：     ！3  设备》垫板应按设计或【设备技术文件要求】制作：如无要求《时可：用不锈钢板》或塑料板； — 》 ，。。   4  制作独！立基础和地板加【固用：的碳钢型材应—经防腐处理表面应】平整、光滑》； —    《 5  用于嵌缝】的弹性密封》材料应有注明—。成分、？。品种、出《厂日期、储存有效】期和施工《方，法的说明书及产品合！格证书 】 13.2.3  ！洁净室(区》)使：用的：机具不得搬》至非洁净室》。(区)使用》非洁净室(区)使】用机具不得搬至洁】净室(区《。)使用洁净区使用】机具应符《合下列规定 】     1】  机具外》露部分不应》产尘或采《取防止尘埃》污染环境的措施【； 【。。 ，   2  常用】机具在搬入洁净区】前应在气《闸室进行清洁处理】应达到无油、无【垢，、无尘、《无，锈，的，要求并？应经检查《。。合格：贴上“洁净》。”或“洁净区—专用”标识后搬入 ！ ， 1》3，.2.4  设备特！殊基：础应符合下》列规：定   ！  1  洁—净室地面《为，活，动地板时《基础：宜，设置在下技术夹【层地坪上或混凝【土多孔板上》； 【 ，   2  钢【。制框架结构的独立】基础应采用镀锌【材料：或不锈钢材》料制作？外露表面应》平整、光《滑，。； — ， ，   3  安装基！础所需拆除》的活动地板经手【持电锯切割后的钢】结构：应予：加固其承《载，能力不应低于原【承载能力 【。。 13.2.】5，  墙板、吊顶和】活动地？板开洞应符》合下列规定 ！  ？   1 》 ，。开洞作业不得—划伤或？污染需保留的墙【板、吊顶板表面【活，动地板开口后不【能及时安《装基础时应》设安全护《栏并设危《险标识； ！   ？  2？  生产设》。备安装后洞口四周】间隙应？进行密封《处理并应做到—设备与密封组—件为：柔，性接触；密封组【件与：壁板的连接应—紧，密、牢固；工—。作间一侧的密—。封面：应平整、光滑— 13.！2.6  拆除包】装应符合下列规定】 ？ ，    》。 1  设备开【箱拆除外包装—应在：设备搬？入平台上进》。行并不得《破坏内包装； 】 ？   ？  2  设备【的内包装应》在气闸室前拆除拆除！前应先用吸尘器、】洁净布清除》内包装外表面的尘】粒 》 13.2—.7  生》。产设备从搬入平台经！。搬入口、《气闸室至洁净室(区！)的搬？运应：符合下？列规定 《 《     1 【 对搬入设备—的最大件无法—通过预留的门洞时】可保护？性拆除门或洁净室隔！断应在设备搬入后再！。恢复到原有状态；】 ， ， ， ？   ？ 2  沿搬运【路线的门框、墙角】等处应设《保护措？施； 【   ？  3  在活动地！板上搬？运设备时应敷—设软塑料保护—层和不锈《钢，板或铝合金板—； ： ？     4  ！当搬运？重量超过活动—。地板的承《载能力时应》根据现场实际—情，况采取加固措施【并应采用不》产尘的材料 】 13.—2.8  洁净室】(区)内搬运生【产工艺设备》宜采用？搬运车或气垫搬运】装置搬运时应—控制其行进速—度不得大于1—。m／s 】 13.2.9 】 设备就位》。安装应符《合下列规《。定   ！  1？  ：在自：流坪地面安装—设备时应有地—面保护措施； 】    【 2  在》。活动地板上吊装设备！时应核对活动地【。板的允许荷载当【允许荷载不能满【足起吊荷重时应【对活动地板进行加固！； — ，    3》。  设？备就位安装需—开孔时应《。采用真空吸》尘接：。口或吸尘《。。器吸除所产生的尘粒！直，至吸尽孔内积—存，的尘粒？ ：