。 ： 13.2  】设备安装 — 》 13.2.1【 ， 生产工艺设—备安装施《。工条件宜符合下【列规定 【    》 1  安》装生产工艺设—备前：洁净厂？房净化空调系统【应已连续《正常运行48—h照明系统》应已正常工作且【。现场应有便捷电【源供应？； ：     ！2  大型、特殊】要求：的生产设备应—按设计要求在净【化空：调系统安装》。前就位可按本规范】附录A进行； 【 ？。     3 】 洁：净室(？。包括风？淋室)应已启—用并应建立》洁净厂房设备安装】管理：操作规？程 》 13.2—.2  洁》净室(区《)，内生产设备安装【施工：用辅：助，。材料：应符：合下列规定 【 ：  ？   1  应【为无：尘、无锈、》无，油脂且在《使用过程中不产【尘的清洁材料； 】    】 2 ？ 应以洁净、无尘】的板：材、：薄膜等材《料保护洁《净室(？区)：的建筑装《饰表面； ！     》3  ？设备垫板应按—设，计或：。设备技术文件要【求制作如无要求时】可用不锈钢》板或塑料板》； ：   【  4  》制作独立《基，础和地板加固用【的碳钢型材》应经防腐《。处理表面应平整【、光滑； 【    — 5  用于—嵌缝的弹性密封材】料应：有注明成分、—品种、出厂日期、储！存有效期和》施工方法的说明书】及产品合格证书 】 13.】2.3  洁净室】(区)使用的机具】不得：搬，至非洁净室(区)】使用非洁净室(【区)使用机具—。不得搬至《洁净室？(区)使用洁—净，区使：用机具应符》合下列规定》 ？     【1，  机具外露部【分不应产尘或采取】防止尘埃污染环境的！措施：； 【  ：  2  常用机具！在搬入洁净区前【应在气闸室进行【清洁处理应达到无】油、无垢、无—。尘、：无锈的要求并应经检！查合格贴上“—洁净”或“洁净【区专用”《标识后搬入 ！ 1？3.：2.：4  设备特殊基础！应符合下列规定 ！ 《    1》  洁净《。室地面为活》动地板时《基础：宜设置在下技—术夹：层，地坪上或《混，。凝土多孔板上； 】  —。。  ： ，2  钢制框架结构！的独立基础应采【用镀锌？材料或？。不锈钢材料制作【外露表面《应平整、《光，滑； —     3  ！安装基础《所需拆除的活动地】板经手持电锯切【割后的钢结构应予】加固其承载》能力不应低于—原承载？能，力 ？ ： 13《.2：.5 ？ 墙板、吊顶和活动！地板开洞应符合下】列规定 】     1—  开洞作业不得划！伤或污染需保留的】墙板、吊顶板表面】活动：。。。地板：。开，口后不？能及时？。安装基础时应设安全！护，。栏并：设危险标识；— 》   ？  ：2  ？生产设备安装后洞口！四周间隙应进行【密封处理并应做到设！备与密封组件为柔】性接触；密封组件】与壁板的《连接应紧密》、牢固；工作间一侧！的密封面《应平：整、光滑 】 13.2.6】  拆除包》装应：符合下列规定 】    【 1  《设备开箱拆除外【包装应在设备搬【入平台上进》行并不得《破坏内包装》；   ！  2  设备【的内：包装应？在气闸？室前：。拆除：拆除：前应先用吸》尘器、？洁净布清除内—包装外表面的尘粒】。 ？ ， ， 13.2》.7  生产设【。备从搬入平台经【。搬入口、气》闸室：至洁净室《(区)的搬运应符】合，下列规定 》 ：     【1  对搬入—设备的最大件—无法通过预留的门】洞时可？保护性拆除门或洁】净，室隔断应在》设备搬入后》再，恢复到？原有状态； ！ ：。   ？ 2  《沿搬运路线的门框、！墙角等？处应设保护措施【； ？ ：     —3，  在活动地板上】搬运设备《时应敷设软塑料保】护层和不锈钢板或铝！合金：。板；  ！   4《。  当搬《运重量超过活动地板！的承载能《力时应根据现场实】际情况采取加—固措施并应采用【不产尘的材》料 ： ， 13—.2.8  —洁净室？(区)内《搬，运生产工《艺设备宜采用搬运车！或，气垫搬运装置搬运】时应控制其》行进速度《不得大于《1m：／s 1！3，.2.9 》 设备就位安装应】符合下列《规定 》     1】  在自流坪地面安！装设备时应》有地面保护措—施； 【  ：   2《  ：在活动地板上—吊装设备时》应核对活动地板的】允，许荷载当允许荷载】不能满足起》吊，荷重时应对活—动地板进行加固； ！   【  3 《 设：备就位？安装需开孔时应采用！。真空：吸尘接口《或吸尘器吸除所产生！的尘粒直至吸—尽孔：内积存的尘粒 】