： 13.2  】设备安？装 ？ 13】.2.？1  生产工—艺设：备安装施工条件【宜符合下列规定 ！  》   1 》 安装生产工艺设】备前：洁净厂房净化空调系！统应已连《续正常运《行48h照明系【统应已正常》工作且现场应有【便，捷电源供应；— 《     2  ！大型、？特殊要？求的生产《设备：应按：设计要求在净化【空调系统安装前【就位可按本》规范附录A》进行； 】 ，    《3，。  洁净室(—包括风淋室)—应已启用并应建立洁！净厂房设备安—装管理？操作规程 【。 ： 1：3.2.2  【洁净室(区)内生产！设备安装施工用【辅助材料应符合下】列规定 《 ：     1 ！。 应为无尘、—无锈、？无油脂且《在使用过程中不产尘！的清洁材《料；  ！   ？2  应以洁净、无！。尘的：。。板材、薄膜等材料保！护，洁净室(《区)的？建筑装饰《。表面； ！    3  【设备垫板应》按设计？或设备技术文—件要求制作如无要求！。时，可用不锈钢板—或塑料？板； 》     4】  ：制作：独立基础和》地板加固用的碳钢】型材应经防》。腐处理表面应平【。整、：光滑； —   》  5  用于【嵌缝：的弹性密封》。材料：应有：注明成分、》品种、出《厂日期、《储存有效《期和施工《方法的？说，明书及产《品合：格证书 【 13《.2.3  洁净室！(区)？使用：。的机具不《得，搬至非洁净室(区)！使用非洁净室(【区)使用《机，具不得搬至洁—净室(？区)使用洁净—区使用？机具应符合下列规】定 ： ，     】。1，  机具外露部分不！应产尘或采取防止】尘埃污染环境的措】施，；  】 ，  2 《 常用机具在搬入】洁净区前应在气闸】室进行清《洁处理？应达：到无油？、无：垢，、无尘、无锈的要求！并应经检《查合格贴上》“洁净？。”或“洁净区—专用：”标识后搬入 】 ， 13.2.】4，  设备特殊基【础，应符合下列规—定，    ！ 1  洁净—室地：面为活动地》板时基础宜》。设置在下《。技术：夹层：地坪上或混凝土【。多孔板上； ！     2  ！钢制框架结构的【独立基础《应采用镀锌材料或不！锈钢材？料，制作外露表面应平整！、光滑； 【    — 3  安》装基础所需拆除的活！动地板经《手持电锯切割—后的钢结构应予加固！其承载能力不应【低于：原承载能力 — ？ 1？3.：2.5  墙板【、吊顶和《活动地板开洞应【符合下列规定 ！     【1  开洞作—。业不得划《伤或污？染需保？。留的墙？板、吊顶板》表面活？动地板开口后不能】及时安装《基础时应《设，安全护栏《并设危险标识； ！    【 2 ？ 生产？设，备安：装，后洞口四周间隙应】进，行密封处理并应【做到设备与密封【组件为柔性》接触；密封组件与壁！板的连？接应紧密、牢固；】工，作间一侧的》。密封面应《平整：、光滑 —。 1《3.2.《6  ？拆除包装《应符合下列》规定  ！   ？1，  ：设备开箱拆除外包】装应在设备》搬入平台上进行并不！得破坏？内包装；《 《 ，     》2  设备的—内包装应在气—闸室前拆除拆除前】应先用吸尘器、洁净！布清除内包装外【表面的尘粒》 13】。。.2.7  —生，产设备？从搬入？平台经搬入口、气闸！室至洁净室(区)的！搬运应符合下列【规定 】  ：  1  对搬入】。设备的最大件—无法通过预留—的，门洞时可保》。护性拆除《门或洁净室隔断应】在设备搬入后再恢复！。到原有状态； ！ ？    2  【沿搬运？路线的门《框、墙角等处应【设保护措施》；  】 ，  3  在活【动地板上搬运设备】时应敷设《软塑料保《护层和不锈》钢板：或，铝合金板； 【     4！  当搬运重量超过！活动地板的承—载，能力时应根》据现：场实际情况》采，取加固措施并应采】。用不产尘的》材料 ？ 13.2！.8 ？ 洁净室(区—)内搬运生产工艺】。。设备宜？采用搬运《。车或气垫搬运装置搬！运，时应控制《其行进速度不得大】于1m／s 【 1》。3.2.9》  ：。设备就位安装应符合！下列规？定 ： 》    1  在自！流坪地？面安装设备时应有】地面保护《措，施；： ，  —   2  在【。活动地板上》吊，装设备时《应，核对活动地板—的允许？荷载当允许》荷载不能满足起吊】荷重时应对活—动地板进行加固【。；  】  ： 3：  设备就位安【装需开孔时应—采用真空《吸尘接口或吸—尘器吸除所》产生的尘粒直至吸尽！孔内积存的》尘粒 《