： ：13.2  设【备安装？ 》 ： 1：3.2.《1  生产工艺设】备，安装施工《条件宜符合下列规定！ 《    》 1 ？ 安装生产》工艺设备前洁—净厂房？净化空调《系统应已连续正常运！行48h照》明系统应已正—常工作？且现场应《有，便，捷电源供应； ！ ：。。     2—  大型《、特殊要求》的生产设备应—按设：计要求在净化—空调系统安装前就】位可按本《规，范附录？A进行； 》 ？   《  ：3  洁净室(包括！风淋室)应已启用】并，应建立洁净厂房【设备安装管》。理操作规程 【 1》3.2.2  洁】净室(区)内—。生产设备安》装施工用辅助材料】应符：合下：列规定 《 ？     1  ！应为无尘《、无锈、无油脂且】在使用过《。程中不？产尘的清洁材料【； ：   【  2  应—以洁：净，。、无尘？的板：材、：。薄膜等材料》保护：洁净室(区)的建筑！装，饰表面； 【。 ：。     3—  设备垫板应按设！计或设备技术—文件要求制作如【无要求时可用不【锈钢板或塑》料板：； 【。    4 — 制作独立基础和地！板加固用的碳—钢型材应经防腐处】理表面应平整、光滑！； 》  ？   5《  用于嵌缝的【弹性密封《材料应有注》明成分、《品种、出厂日期【、储：存有效期和施工方】法的：说明书及产品合格】证书 【。 13.《2，.，3  洁《净室(区)》使用的？机具不得《搬至非洁《净，室(区)使》。。。用非洁净《。室(区)使用机【具不：得搬至洁净室—(区：)使用洁净》区使用机具应符【合下列规定》  【   1  机具外！露部分不应》产尘或采取防止【尘埃污染环境—的措施； 】     —2  常用机具在】搬入洁净《区前应在气闸室进】行清洁处理应达到】无，油、：无垢、无尘、无锈】的要求并《应经检查合》格，贴上“洁《净”或“洁》。净区：专用”标识后搬入 ！ 13【.2.？4  设备》。特殊基础应符合【下列规定 》 》    1 — 洁净室地》面，为活：动地板时基础宜设置！在下技术《夹层：地坪上或混凝土多】孔板上； 【    — 2  钢》制框架结构的独【立基：。础，应采：用镀锌材料或不锈】钢，材料：制作外？露表面应平整、【光滑； 》    【。 3  安装—基础所？需拆除的活动地【板经：手持：电锯：切割后的钢结—构，。应予加？固其承载能力不应】低于：原承载能力 — 13.】2.5？  墙板《、，吊顶和活动地板【开洞应？符合下列规定 【     ！1 ： 开洞作业不得划伤！或污染需保留的墙】板、吊顶板》表，面活动地板开—口后不能及时安装】基础时应《设安：全护栏并设危险【标，识； 【 ，    2 — 生产设备安—装后洞口四周—。间隙应进行》密封处理并》。应做到设《备与密封组件—为柔性接触；密封组！件与：壁板的连接应紧密】、牢固；工》作间一侧的密封面应！平整、光滑 【 13.【2，。.6：。 ， 拆除？包装应？符合下列规定 ！     【1，  设备开》箱拆除外包装应在】设备搬入平台—上进行并不得破坏】内包装； —    【 2  设》备的内包装》应在：气闸室前拆除拆【除前应先用吸尘【器，、，洁净布清除内包【装外表面的尘粒【 《 13.2—.7  生产设备从！搬入平台经搬—入口、气闸室—至洁净室(》区)的搬运应—。符合下列规定 【。  —   1  对搬入！设备的最大件无【法通过预留的门洞时！可保护？性拆：除门或洁净室隔【断应在？设备搬入《后再恢复到原有状态！； ：    】 2  沿搬运路】线的门？框、墙角等》处应设？保护措施； ！     3【。。  在活动地板上搬！运设备时应敷设软塑！料保护层《和不：锈钢板或铝合金【板； 【   ？  ：。4  当搬》运重量超过活动地】板的承载能力时【应根据现场实际情况！采取加固措施并【应采用不产尘的材料！ 13】.2.8  洁【净室(区)内—搬运生产工艺设备宜！采用搬运《。车或气垫搬运装置】搬运时应控制其【行进速度不得大【于1m／s》 》 13.2.9【  设备就位—。安装：应符合下列规—定   ！。  1  在—自，流坪地面安装设【备时应有《地面保护措》施；： 》     2  】在活动地《板上：吊装设备时应核对】活，动地板的允》许荷载当允许荷载不！。能满足起《吊荷重时应对活【动地板进行加—固； ？   【  3  》。设，备就：位安装需开孔时【应采用真空吸尘【接，口或吸尘器吸除所产！生的尘粒直至吸【尽，孔内积存的尘粒【 ：