13.【2 ： 设备安装 —。 《 ， 13.2.1 ！。。 生产工《艺设备安装施工条】件宜符合下列规【定  】   1 》。 安：装，生产工艺设备前洁】净厂房净化》空，调系统应已连续正】常运行48h照明】系统应已《。正，常工作且现场应有】。便，捷电源供应；— 《 ：    《2  大型、特殊要！求，的生产？设备应按设》计要求在《。净化空调系统安装前！就，位可按本规范附录】A进行； ！  ：。   3  洁【净室(包括风淋【室)：应已启用并应建【立洁净厂房设备安装！管，理操作规程 】 ？13.2《。.2：  洁净室(区)】内生产设备安装施】工用辅助材》料应符合下列规定 ！ 》。    1  应】为无尘？、无锈、无油—脂且：在使用？过程中不产尘的【清洁材料； 【 ，   》  2  应以【洁，净、无尘的板材、薄！膜等材料《保护：洁净室(区)的建】筑装饰表面；— ？ ？   ？ 3  设》备垫板？应，按设计或设》备技术文件》要求制作如无要求】。时可用不锈钢板或】塑料板； ！     》4  制作独立【基础和地板加固用】。的碳钢？。。型材应经防腐—处理表面应平—整、光滑； 】 ？    5  用于！嵌缝的弹性》密封材料应有—注明成分《、品种、《出厂日期、储存【有效期和《。施工方法的说明【书及产品《合，格证书 《 ， 13—。.2.3  洁【净室(区)使用【的机具不得搬至非】。洁净室？(区)？使用非洁净室(区】)使用机具不得搬】至洁净室(》区)使用洁净区【使用机具应符合下】。列规定 》 ？  ：  ： 1  机具外露部！分不应产《尘或采取防止尘埃污！染环境的《。措施； 【     —。2  常用机具【在搬入？洁净区前应在气闸室！。进行清洁《处理应达《到无油？、无垢、无尘、【无锈的？要求并？应经检？查合格？贴上“洁净”或【“洁净区专》用”标识《。。后搬入 【。 13.2.【4  设备》特殊基础应符—合下列规定 ！     1【  洁净室》地面：为，活动地板时基础宜设！置，在下：技术夹层地坪上或混！。。凝土多孔板上；【 ？。 ？    2  钢】制框架？结，构的独立《基，础应采用镀锌—材，。料或不锈钢材料制】作外露表《面应平整《。、光滑； ！   ？  3？  安装基础—所需拆除的活动地板！经手持电锯》。切割后的《钢结：构应予加固》其承：载能：力不应？低于原承载》能，力 ？ ： 1？3.2.5  墙板！、吊：顶和活动《地板开洞应符合【下列：规定 ？     ！1 ： 开洞作《业不得划伤或污染需！保留的墙板、吊【顶板表面活动—地板开口后不—能及时安装基础【时应设安全护栏【并设危险标识； ！ ：     2 】 生产设备安—装后洞？。口四：周间：隙应进行密封—处，理并：。应做到设备与密封】。组件为柔性接—触；密封组》件与壁板的连接【应紧密、牢固；【工作间一侧》的密封面《应，平整、光滑》 ：。 13.2.！6  拆除包装【应符合下列规—定，。 —    1》  设备开箱拆除】外包装应在》设备搬入平》台上进？行并：不得：破坏内包装； 【     ！2 ： 设备的内包装【应在气闸室前拆除拆！除前应先用吸尘器】、洁净布清》除内包装外表面的尘！粒 ？。 ： 13.2.【7  生《产设备从搬入平台经！搬入口、气闸室至洁！净，室(区？)的搬运应》符合下？。列规定 【     1【  对搬入设—备的最？大，件，无法通过预留的门洞！时可保护性》拆除门或《洁净室隔断》应在设？备搬入后再恢—复到原有《状态：。；  】  ： 2  沿搬—运路：线的门框、墙角【等处应设保护—措，施； —     —3  在《活动地？板上搬运设备—时应敷设软塑料【保护层和不锈—钢板或铝合金板【；，    ！。 ，4  当《。搬运：重量超过活动地板的！承载能力时应—根据现场实际情况】采取加固措施并应】。采用不产尘》的材料 【 13.2.【8  洁净》室(区？)内：搬运生产工艺设备宜！采，用搬运车或气垫搬】运装置搬运时—应控制？其行进速度不—得大于1《m／s — ， 13.2.9 ！ 设备就位安装应】符合下列规定 【 》  ：  1  在自流】坪地面安装设—备时应？有地面保《护措施； — ：     2【。  在活动》地板上？。吊装设？备时应核对活动地】板的允许荷》载当允许荷》载不能满足起吊荷】重时应对活动地板进！行加固； ！。    《 3  设备就【位安装需开》孔时应采用真空吸尘！接口或吸尘》器吸除所产生—的尘粒？直至吸尽孔内积【存的尘粒 —