1》。3.2  》设备安装 》 》 13《.2.1  生【产工艺？设备：安装施工《条件宜符合下列【规，。定  】  ： 1  安装—生产工艺《设备前洁净厂房【净化：。空调系统《。应已：连续正常《运行4？8h照明系统应【已正：常工作且现场应有便！。捷，电源供？应； 《  》   2  大【型、特殊要》求的生产《设备应按设计要求在！净化空调系统安装前！就位可按《本规范附《录A进行； — 《     3—  洁净《室(包？括风淋室)应已【启，用并：应建立洁净厂房【设备安装管理操【作，规程 《 《13.2.2 【 洁净室《(区)内《生产设备安装施【工，用，辅助材料应符合【下列：规定 【   ？ ，。 1 ？ 应为无尘、—无锈：、无：油脂且在使用过程】中不产尘的清—洁材料； 》 ：     【2  应《。以洁净、《无尘的板材、薄膜】等，材料保护洁》净室(区)的—建筑装饰表面； ！ ： ：    3  设备！垫板应按设计或设】备技术文件要求制作！如无要求时可用【不锈钢？。板或塑料板；—   】  4  制作【独立基础和地—板加：固用的碳钢型材应经！。防腐处理表》面应平？整、光滑； ！ ，     5  用！于嵌缝的弹性密封材！料应有注明成分、品！。种、出厂日期—、，储存有效期和—施工方？法的说明《。书及产品合格证书 ！。 1—3，.2：.3  《。洁，净，室(区？)使用的机具不得搬！至非洁净室(区)使！用非：洁净：室(区)使用机具】不得搬至洁净室【(区)使用洁—净区使用机》具应符合下》。列规定 】    《 ，1  ？机具外露部分不【。应产尘？或采：取防止？尘埃污染环境—的措施？； ？     】。2  常用机—具在搬入洁净区【。前应在气闸》室进行清洁处理应达！到无油、《无垢、无尘、无锈的！要求并应《经，检查合格贴》上“：洁净”或“洁净区专！用”标识后搬入【 1【3.：2.4  设备特】殊基础应符》合，下列规定 】   《 ， 1  洁》净室地面为活动地】板时：基础宜？设，置，在下技术夹层地坪】上或混凝土多孔【板上； 》。  》。 ，  2  》。钢制框架结构的【。独立基础应》。。采用镀锌《材料：或不锈钢材》料，制作外露表面应【平整、？光滑； —     3 ！ 安装基《础，所，需拆除的活》动地板经《手持电锯切割后的】钢，结构应予加固其承】载能力不应低于【原，承载能力 】 1？3，.2.5  —墙板、吊顶和—活动地板开》洞应符合下列规【定   ！  1  》开，洞，作，业不得划《伤或污染需保—留的墙板、吊顶【板表面？活动地板开口后【不能：及时：安，装基础时应》设安全护栏并设危】险标识； 》    】 2 ？ 生产？设备安装后洞口四周！间隙应进行密封处理！并应做到设备—与密封？组件为？柔，性接触；密封组件与！壁板的连接应紧密、！牢固；工作间一【侧的密封面应平【整、光滑 】 13.2.6】  拆除包》。装应符合《下列规定 】     1【  设备《开箱拆除外包装应】在设备？搬入平台上进—行并不得破》坏内包装； 【。 ，     2 ！ 设备的内包—装应在气闸室—前拆除拆除》前应先用吸尘器、洁！净布清除内包装【外表：面的：尘粒： —13.2.7 【 生产？设备：从搬入平台经搬入】口、气闸室至洁净室！(区：)的搬运应》符合下列规定 ！。  《   1  对搬】入设备的最大—件无：法通过预留的门【洞时可保护性拆【除，。门或洁净室隔断应在！设备搬入后再恢复到！原有状态； 【 ？ ，    2》  ：沿搬运路《线的门框、》墙角：等处应？设保护措施； 】     3！  在活动地—板上搬运设》备时：应敷设？软塑料保护层—和不锈钢《板或铝合金》板； 》     4 ！。。 当搬运重》量超过活动地板【的承载能力》时应：根据：现场实？际情况采取加固措施！并应采用不产尘的】材料 】13.2.8—  洁？净室：(区)内搬》运生：产工艺设备》宜采用搬运车或【气垫搬运装置搬运时！应控制？其行进？速度不得大于1m／！s ： ，。 13.2】.9：  设？备就位安装应符合】。下列：规定 》  《。   1  在自流！坪地面安装设—备时应有地面保【护措施；《    ！ 2  在活动地板！上吊：装设：备时应？核对活动地》。板的：允许荷？载当：允许荷载不能满【足，起，吊荷重时应对活【动地板进行》加固：； 》 ，     3  】设备就位《安装需开孔时应【采用真空吸尘—接口或吸尘器吸除所！产生的尘粒直至吸】尽孔内积《存的尘粒 —