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13.2 】 设备安装
【。
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13.2.1! 生?产工:艺设备安装施工条件!宜符合下《列规:定
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《 1 《安装生产《工艺:设备前?洁净厂房《净化空?调系统应已》连续正常运行4【8h照明系统—应已正常工作—且现场应有便捷电源!供应;?
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》 : 2 大型【、特殊要求的生产设!备应:按设计?要求在净化》空调系统安》装前就位可按—本规范附《录A进行;
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【 3 《 洁净室《(包括风淋》室)应?已,启,。用并应建立洁净厂房!设备安装《管理操作规程
】
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13.《2.2 洁—净室:(区)内生产设【备安装施《工,用辅助材料应符【合下列规定
【
:
?。 1 》。 ,应为无尘、无锈、无!。油脂且在使用过程中!不产尘的清洁材【料;
! 2 —应以洁净、》无尘的板材、薄膜等!材料保护洁净室(区!)的建筑装饰表面;!
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《 3 》 设备垫板应按设计!或设备技《术文件要求制—作如无要求时可【用不锈钢板或塑料板!;
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4 】制作独立基础和地】板加固用的碳—钢型:材应经防腐处理【表面:应平:整、光滑;
!
5 !用于:。嵌缝的弹《性密封材料应有注】明,成分、品种、出厂日!期,、储存有效期和施】工方法的说》。明书及?产品合格《证书
》
13》.2.3 洁【净室:(区)?使用的机具不得搬至!非洁净室(区—)使用非洁净室【(区)?使用机具不》得搬至洁净》。室(区)使用洁净】区使:用机具?应符:合下列规定
【
:
》 1 机具—外露部分不应产【尘或采取防》止尘埃污染环—境的措施;
】
》 2 《 常用?机具在搬入》洁净区前应在气闸】室进行清洁》处,理应达到无油、【无垢、无尘》、无:锈的要?求并:应经检查合格贴上“!洁净”或“洁净区专!用”标?识后:搬入
—
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13.2.—4 设备特殊【基础应符合》下列规?。定
! 1 洁—净室地面为活动地】。板时基?础宜设置《在下技术夹层地【坪上或混凝土多【孔板上;
!
2 】钢制框架结构的独】立基础应采用镀【锌材料或不锈钢材料!制作外露表》面,应平整、光滑;
!
】3 ?安装基础所需拆除】的活动地《板经手持电锯—切割后的钢结构应予!。加固其?承载能力不应低于】原承载能力
】
?。13.2.》5 墙板、吊顶和!活动地板开洞应符合!下列规?定,
《
《 1 开洞作】业不得划伤或污染需!保留的墙《板、吊顶板表面活】动地板?开口后不能及时安】装基础时应》设安全?护栏并设《。危险:标识;
《
— 2《 :生产设备安装后洞】口四周?间隙应进行密—封处理并应做到设】备与密封《。组件为柔性接—触;密封组》件与:壁板的连《接,应紧密、牢固—;,。工作间一侧的密封】面应平整、》光滑
》
1《3,.2:.6 拆除包装应!符合下?列规定
》
《 1 —。 设备开箱》拆除外包装应—在设备?搬入平台上》进行并不《得破坏内包装—;
》
?。 2 —设备的内包装—应在气?。闸室前拆《除拆:除前应先《用,吸尘器、《洁,净布:清除内?包装外?表面的尘粒》
》
13.2.7【。 生产设》备,从搬:入平台经《搬入口、气闸室至】洁净:室(:区)的?搬运应符《合下列规定
!
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1 【 对搬入设备的最大!件无法通过》预,留的门洞时可保护】性拆除门或洁净室隔!断应:在设备搬入后再恢】复到:原有状?态;
【。
》2,。 沿?搬运路?线的门框、墙—角等:。处应设保护措施;】
】 3 《。 在活?动,地板上搬运设—备时应敷设软塑【料保护层《。和不锈钢板或铝【合金板;
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: : 4 《当搬运重《量超过活动地—。板的承载能》力时应?根据现?场实际情况采—取加固措《施并应采用不—产尘的材料
】
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13.2—.8: 洁净室(区【)内搬运生产工艺设!备宜采用搬运车或】气垫搬运装置—搬运:时应控制其行进速度!不得大?于1m/s
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13.》2.9 《 设备就位安装【应符合下列规定【
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《 ?1, 在自流坪—地面安装设备时【应有地面保护措【施;
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【 2 在—活动地板上吊—装设备?时,应核对活动地板的】允许荷载当允许【荷,载不能?满足起吊荷重时【应对:活动:地板进行《加固;?。
》
,。 3 — 设备?就位安装需开孔时】应采用真空》吸尘接口或吸尘器】吸除:所产生?的尘粒直至吸尽孔】。内积存的尘粒
】