， 13.2 】 设备安装 【。 ？ 13.2.1！  生？产工：艺设备安装施工条件！宜符合下《列规：定 —    《 1  《安装生产《工艺：设备前？洁净厂房《净化空？调系统应已》连续正常运行4【8h照明系统—应已正常工作—且现场应有便捷电源！供应；？ ， 》  ：  2  大型【、特殊要求的生产设！备应：按设计？要求在净化》空调系统安》装前就位可按—本规范附《录A进行； —   【  3 《 洁净室《(包括风淋》室)应？已，启，。用并应建立洁净厂房！设备安装《管理操作规程 】 ？。。 13.《2.2  洁—净室：(区)内生产设【备安装施《工，用辅助材料应符【合下列规定 【 ：  ？。   1 》。 ，应为无尘、无锈、无！。油脂且在使用过程中！不产尘的清洁材【料；  ！   2  —应以洁净、》无尘的板材、薄膜等！材料保护洁净室(区！)的建筑装饰表面；！ ？  《   3 》 设备垫板应按设计！或设备技《术文件要求制—作如无要求时可【用不锈钢板或塑料板！； —     4  】制作独立基础和地】板加固用的碳—钢型：材应经防腐处理【表面：应平：整、光滑； ！     5  ！用于：。嵌缝的弹《性密封材料应有注】明，成分、品种、出厂日！期，、储存有效期和施】工方法的说》。明书及？产品合格《证书 》 13》.2.3  洁【净室：(区)？使用的机具不得搬至！非洁净室(区—)使用非洁净室【(区)？使用机具不》得搬至洁净》。室(区)使用洁净】区使：用机具？应符：合下列规定 【 ：    》 1  机具—外露部分不应产【尘或采取防》止尘埃污染环—境的措施； 】   》  2 《 常用？机具在搬入》洁净区前应在气闸】室进行清洁》处，理应达到无油、【无垢、无尘》、无：锈的要？求并：应经检查合格贴上“！洁净”或“洁净区专！用”标？识后：搬入 — ， 13.2.—4  设备特殊【基础应符合》下列规？。定   ！  1  洁—净室地面为活动地】。板时基？础宜设置《在下技术夹层地【坪上或混凝土多【孔板上； ！     2  】钢制框架结构的独】立基础应采用镀【锌材料或不锈钢材料！制作外露表》面，应平整、光滑； ！     】3  ？安装基础所需拆除】的活动地《板经手持电锯—切割后的钢结构应予！。加固其？承载能力不应低于】原承载能力 】 ？。13.2.》5  墙板、吊顶和！活动地板开洞应符合！下列规？定， 《   《  1  开洞作】业不得划伤或污染需！保留的墙《板、吊顶板表面活】动地板？开口后不能及时安】装基础时应》设安全？护栏并设《。危险：标识； 《  —   2《  ：生产设备安装后洞】口四周？间隙应进行密—封处理并应做到设】备与密封《。组件为柔性接—触；密封组》件与：壁板的连《接，应紧密、牢固—；，。工作间一侧的密封】面应平整、》光滑 》 1《3，.2：.6  拆除包装应！符合下？列规定 》 《    1 —。 设备开箱》拆除外包装应—在设备？搬入平台上》进行并不《得破坏内包装—； 》  ？。   2  —设备的内包装—应在气？。闸室前拆《除拆：除前应先《用，吸尘器、《洁，净布：清除内？包装外？表面的尘粒》 》 13.2.7【。  生产设》备，从搬：入平台经《搬入口、气闸室至】洁净：室(：区)的？搬运应符《合下列规定 ！ ，     1 【 对搬入设备的最大！件无法通过》预，留的门洞时可保护】性拆除门或洁净室隔！断应：在设备搬入后再恢】复到：原有状？态； 【。     》2，。  沿？搬运路？线的门框、墙—角等：。处应设保护措施；】   】  3 《。 在活？动，地板上搬运设—备时应敷设软塑【料保护层《。和不锈钢板或铝【合金板； ！  ：  ： 4  《当搬运重《量超过活动地—。板的承载能》力时应？根据现？场实际情况采—取加固措《施并应采用不—产尘的材料 】 ， 13.2—.8：  洁净室(区【)内搬运生产工艺设！备宜采用搬运车或】气垫搬运装置—搬运：时应控制其行进速度！不得大？于1m／s ！ 13.》2.9 《 设备就位安装【应符合下列规定【 ？  《   ？1，  在自流坪—地面安装设备时【应有地面保护措【施； ？   【  2  在—活动地板上吊—装设备？时，应核对活动地板的】允许荷载当允许【荷，载不能？满足起吊荷重时【应对：活动：地板进行《加固；？。 》 ，。    3 — 设备？就位安装需开孔时】应采用真空》吸尘接口或吸尘器】吸除：所产生？的尘粒直至吸尽孔】。内积存的尘粒 】