？。。 13？.2  设备—安装 ！。 ，13：.2.1《  生产《工艺设备安装施工】条件：宜符合下《列，规定 】    1  【安装：生产：工艺设备前洁净厂房！净化空调系统应【已连续正常》运行48h照—明系统应已正—常工作且现场—应有便捷电源供【应； 【     2—。  大型、特殊【要，求的生产设备应【。按设：计要求在净化—空，调系统？安装前就位可—按本规范附录A进行！； ：。。   【  3  洁净室】(包括风淋室)应已！启用：并应建立《洁，净厂：房设备安装管理操作！规程 — 13.2.【2  ？洁净室？(区)内《生产设备安装施【工用辅助《材料应？符合下列规定—   】  ：1  ？应，为无尘、《无锈：、无油脂且在使【用过程中不产尘的】。清洁材料； 【     2！  应以洁》。净、：。无尘的板材、薄膜】等材料保护洁—净室(区)的建筑】装饰表面； 】    — 3  《设备垫？板应按设计》或设备技《。术，文件要求《制作如？无要求时可用不【锈钢板或塑料板【；   ！  4  制作【独立基础和地板加固！用的碳钢型材应经防！腐，。处理表面应平—整、光滑； ！ ：    5 — 用：于嵌缝的《弹性密封《材料应？有注：明成分、《品种、出厂》日期、储《存有效？期和施工《方法的说明书及【产品合格证书 ！ 13》.2.3  洁【净室：(区)使用》的机具不得搬—至非洁净室(区)使！用，非洁净？室(区)使用机具】不得搬？至，洁净：室(区)使用洁【净，区使用机具》应，符，。合下：列规定 【    》 1：  机具《外露部分不应产尘或！采取防止尘埃污染环！境，的，措施； 》  》。。  ：。。 2：  ：常用机具在搬—入洁净区前应—在气闸室《进行清洁处理应【达到无油、无垢【、无尘、无锈的要求！并应经检查合格【贴上“洁净”或“】洁净区？专，用”标识后搬—。入 1】3.2.《4 ： 设备？特，殊基础应符合下列规！定 ？ ？  ：   ？1  洁净》室地面为《活动地板时基础宜】设置在下技》术夹层地坪上或【混凝土多孔板上【； ？     】2 ： 钢制框架结构【的独立基础应采用镀！锌材料？或不锈钢《材料制作外》露表面应平》整、光滑；》。 》    《 3  安装—基础所需拆除—的活动地板经手【持电锯切割》。后的钢结构应—予，加固其承载能力【不应低于原承载【。能，力 — 13.2.5 】。 墙板？。、吊顶和活动地板开！洞应符合下列规定】 ： ：。   《  1 《 开洞作业不得划伤！或污染需保留的墙】。板、吊顶板》。表面活动地板开【口后不能及时安【装基础时应设—安全护栏并设危险标！识； 【     2  生！产设备安装》后洞口四周间—隙应进行密封处理】并应做到设备与密】封组件为柔性接【触；密封组件与壁】板的连接应紧—。密、牢固；》工作间一侧的密【。。封，面应平？。整、光滑 》 》13.2.6—  拆除包装应符】合下列？规定 《 ， ，     1【  设备开箱拆【除外包装应在设备搬！入，。。。平台上？进行：并不得破坏内包装】；   ！  2 《 设备的内包—装，应，在，气闸室？前拆除拆除前—应先用吸尘器、洁净！布清除内包装外表面！的尘粒 【 13.2.7】  生产设备从【搬入平台经搬入口、！气闸：。室，至，。洁，净室(区《)的搬运《应符合下《列规定 》。 ，     【1  对搬入设【备的最大件》。无法通过预》留的门？洞时可保护性拆除】门，或，洁净室隔断应在设】备搬入？后再恢？复到原有《状态； 《 《     2—  沿搬《运路：线的门框《、墙角等处应设保护！措施； ！    3  在活！动地板上搬运设备】。时应敷设软塑料保】护层和不锈钢板或铝！合金板？；， 《   《  4  当搬运重！量，超，。过活动？地板的承载能—力，时应根据现场实际情！况采取加《固措施？并应采用不产尘的材！料 》 13.2.8】  洁净《室(区)内搬—运生产工艺设备宜】采用搬运车或—气垫搬运装》置搬运时应控—制其行进速度不得】。大于：1，m，／，s 1】3.2.9  设】备就位安《装应：符合下列规定—。  【   1  在【自流坪地面安—装设备时应有地面】保，护措：施； 《 ，     【2  在活》动地板上吊》装设备时应核对活】。动地板的允许荷载当！允许荷？载，不能满足《起吊荷？。重时：应对活动地板进【行加固；《 》    《 3  设备就【。。位安装需开孔时应】采用真空《吸尘接口或吸尘【器吸除所产生—的尘粒直至吸—尽孔内积存的尘粒】 ：