1》3  生《。产设备安装 — ！13：.1  一》般规：定 《 1—3，.1.1  —本，章适用于与洁净厂】房施：工验收相《关的生？产工艺设备安装【和验收但《不应包括生产工【艺设备自《身的施工安装和验】收要求 ！13.1.》2  洁净厂—房中生产《工艺设备除》大型设备外宜在【洁净室？(区：。)空态验收合—格后进？。行安装 】。 13.1.3【  设备的》搬运：、安装过程不得【有，。超范围的振动—、倾斜不得》划伤及污染设备表】面设备搬入洁净室】(区：)前应清洁、无尘】 ：