13 【。 生产？设备安？装 ： ！13.1  一【般规：定 ！13.1.1  】。本章适？用于与洁净厂房【施工验收相》关的生？产工艺设备安—。装和验收但》不应包括生产工艺设！备自身的施工—安装和验收》要求 【 13.1.—2  洁净厂房中生！。产工艺设备除—大型设备《外宜：在洁净室(区)空态！验收合格后进—行安：装 《。。 13.1.3！  设备《的搬运、安装过程】不得有？。超范围的振动、倾】斜不得划伤》及污染设备表—面设：。备搬入洁净室—(区)前应清洁、】。。无尘 《