， 13  生产！设，备安装 】。 ： ？13.1  一【般规定 【 13.1.！1  本《章适用于与洁净厂】房施工验《。收相关的生产工艺设！备安装和《验收：但不应包括生—产工艺设备自身【的施工安装和验收要！求 《 13》.1.2  洁净】厂，房中生产工艺—设备除大型设备【。。。外宜在洁净室(【区)：。空态：验收：合格：后进行安装 — 13【.，1.3 《 设：备的搬运、安装过程！不得有超范围的振动！、倾斜不得划伤及污！染设备表面》设备搬入洁净室(区！)前应清洁、无尘 ！ ，