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13— 生产设备安装 ! ? —13.1 一【般规:定 !13:.,1.1 本章适用!。于与洁净厂》房施:工验收相关的生产】工艺设备《安装和?验收:但不:应包括生产》。工艺设备《。自身的施工安装和验!。收,要求 】13.1.2 【。 ,洁净厂房中生产工艺!设备除大型设—备外宜在洁净—。室(区)空态验收合!。格后进行安装— —13.1.3 【。 设备的搬》运、安装过程不【。得,有超范围的振动、倾!斜不得?划伤及污染》设备表面设备搬入洁!净室(区)前应【清洁、?无尘 《