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, 6.》4 : 共 晶 — 炉 — ? 6.4.1 本!条规定了共》晶炉的安装要—求, 》 ? 1 当—设,备的真空泵安—装在主?。机外面时因振动【较大应安置在稳定的!基础面上并》。配有衬?垫; 】 4 【由于设备加热功【率大主机电源承【载电:流应:。确保在32A以上】 :