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6.—4 共 晶 !炉 【。 6.《4.1 本条规定!了共:晶炉的安装要—求 — , 1》 , 当设备的》真空泵安《装在主机外》面时因振动较大应】安,置在稳定的》基,础面上并配有衬垫;! : , — 4: 由于设备—加热功率大主机电源!承载:电流应确保》在32?。A以上 》