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: 6.《4 共 晶 !炉 【 6.《4.1? 本条规定了共】晶炉:。的安:装要求 》 , 《 1《。 当设备的真空】泵,安,装在主机外面时【因振动较大应安【置在稳定的基础面】上并配有衬》垫; ! 4《 由于设备加热功!率,大主机电源承载电】流应确保在32【A以上 》