7.4 !3D光学测量仪【
》
7.》4.1 3—D光学测量仪的安】装应符合下列规【定
! 1 地—面振动频率小—于10?Hz:。。时振幅不应超过2】。μm振动频率在1】0H:z~50Hz—之间时加速度不应超!。过,0,.4g(《g,为,重力加速度);【
,。。
【 2 《 设:备安装环《境应有恒温措施【
7.4!.,2 3D光—学测量仪的》。调,试及试运行应符合下!列规定
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《 , 1 《 应仔细观察各轴的!传动构件运》动时应顺畅》无异响;
】
《 ,。 2 应根—据设备技《术要求由专业人员】使用计量合》格,的光学尺《、块规对《光,学测量仪的》系统测量误差进行】补偿建立系》统补偿文档;
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3 !。 测量光学校—准件中?标准图形及块规高度!测量误差应符合设备!技,术指标要求;
【
》 4 【多,次测量光学》校准件中同一—标准图?形及块规同一—高,度,重复测量误差—应符:合设备技术指—标要求;
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—。5 测量行程应符!合设备?。技,。术指标要求
【