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7?.4 3D—光学测量《仪
!。7.4.1 3】D,光学测量仪的安【装,应符合下列规定
!
》 1 地【。面振动频率小—于,10H?z时振?幅不:应超过2μm振动】。。频率在10Hz~】50Hz之间时【加速度不应超过0】.4g(《g为重力加》速度);
》
— : 2 设备安装环!境,应有恒温措》施
7】.4.2 》。 3D光《学测量仪的调试及】试运行应符合—下列规定
】
《 1 应—仔细观察《各轴的传动构件【运动时应顺》畅,无异响;
!
2 】应,根据:设备技术要求—由专业人员使—用计量?合格:的光学尺、块规对光!学,测量仪的系》统测量误差进行补】偿建立系统》补偿文档《;
》
? 3 》 测量光学》校准:件中标准图形及【块规高度测量误差应!符合设备技术指标要!求;
《
— 4 多—次测量光学》校准件中同一标【准图形及《块规同?一高度?重复测量误》差,应符:合设备技术指标【要求;
《
— ?5 ?测量行程应符—合设:备技术指标要求
】
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