。。 ： ， 7.3  —声，学扫描检测系统【 7！.3.1 》 声学扫描》检测系统《的安装应配置—抽水：泵、30μm级过滤！。器盛液容《器底部？液体应能彻》底排：干 —。 7：.3.2 》 ，声学扫描检测系【统的调试及试运行应！符合下列规定 】 ， ，     1 】 应向盛液》容器中加入》无气泡的纯水—并应确认水》深在规定范围内；】  【 ，  2 《 ，应安装？好CCD《超声探头输入正确的！用户名和密码进入程！序初始化界面； 】 ，     】3  在《主操作界面检测各机！械运动部件运行【。状态：及运行范围应全部】。达到要求；》 》     4  】应将待测样》品，放入水槽《的底部平台上—合理：设置工艺参》数并对样品分别【完成B超扫描—。、C超扫描、TAM！。I扫描、相位—。扫描：获取清？晰扫描图像； ！  《   5  当使用！线，宽，和间：距为10μm—。的测试样件、100！MHz探《头进行扫描成像时】图像应？。能够清楚地分—辨样品的线条 【 ，