， 7《.3： ， 声学扫描》检测系统 】 ？ 7.3.1  】声学扫？描检测系统的—。安，装应配置抽水—泵、30μ》m级过滤器盛液【容器底？部液体？应能彻底排干— ？ 7.3.2 ！ 声学扫描检—测系统的《调试及试运》行应符合下列规定】 ：     】1  应向》。盛液容器中加入无气！泡的纯水并应确认水！深在规定范围内【； 【    2》  应安装好C【CD超声探头输入正！确的用户名和密码】进入程序初始化界面！； ？    【。 3  在主操【作，界面检测各机械运】动部件运行状态及运！行，范围应全部达—到要求；《 ， 》。    4 — 应将待测样品放】入水槽的底部平台】。上合理设置》工艺参数并对样【品分别完成B超扫描！、C超？扫描、TAMI扫描！、相位扫描获取【清晰扫？描图像？；   ！  5？  当使用线宽和】间距：为10μm的—测试样件、100】MHz探头进—行扫描成像时图像应！能够清？楚地分辨样品的线条！ ：