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7.?3 声学扫描检测!系统:
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7.3.1 !。声学扫描检测系统】的安装应配置抽【水泵:。、30μm级过滤器!盛液容器底部液体应!能彻底排干
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7?.3.2 声【学扫描检测》系统的调《。试及试运《行应符?合下列规定
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1 】 应向盛液容器【中,加入无气泡的—纯水并应确认水【。深在规定范围内【;
】 2 —应安:装好:CC:D超声?探头输入正确的用户!名和密码进入程序初!始化:界,面;
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《 3 在主操【作界面检测各机械运!动部件?运行状态《及运行范围应全部达!到要求?;,
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!4 应将》待测样品放入水【槽的:底部平台上合理设】置工艺参数并—对样品?分别完?成B:超扫:描、C超扫》描,。。、TAMI扫描、相!位扫描获取清—晰扫描图像;
】
【 5 当使用【线宽和间距》为10μ《m的测试样件、【100?MH:z探:。头进行扫描》。成像时图像》应能:够,清楚地?分辨样品的线—条
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