7》.,3 声学扫描【检测系?统
!7.3.《1 声《学扫描?检测系统的》安装:应配置抽水》。泵、30μm级过滤!器盛液容器底—部液体应能彻底【排干
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7.3.2 声!学扫描?检测系统的调试【及试运?。行应符合下》列规定
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1— 应向盛液容器中!加入无气泡的纯水】并应确?认水深在规定范【围内:;
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《 2》。。 应安装好C【CD超声探头输【入正确的用户名和】密码进入程序初始】化界面?;
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】 3 在主—操作:界面检测各机—械,。运动部件《运行状态及运行范】围应全部达》到要求;
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4 】 ,应将待测样品放【入水槽的底部平台】。上合:理,设置工?艺,。参数并对样品—分,别完:成,B,超扫描、《C超扫描、TAM】I扫描、相位—扫描获取清晰扫描图!像;
! , 5 《 当使用《。线,宽和间距为10μm!的测试样件》、100MHz探头!进行扫描成像时【图像应能够清楚【地分辨样品的线条
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