： ， 7.3《。 ， 声学扫描》检测：系，统 《 》7，.，3.1  声—学扫描检测系—统的安装应》配置抽水泵、—30μm级过滤器盛！液容器底部液—体应能彻底排—干 ： 7.3.！2  声学扫描检】测系统的调试及试】运行应符合下列规定！  【   1  应向】盛液容器中加入无气！泡的纯水并应确【认水深在规定范围】内； —     2 】 应安装好CC【D，超声探头《输入正确的》用户：名和密码进入程【序初：始化界面；》 ？ ？    3》  在？主操作界面检测【各机械运动部件运行！状态及运行范围应】全部达到要求； ！  》   4《 ，。 应将待测样—品放入水《槽的底？部平台上合理设【置工艺参《数并：对样品分别》完成：B超扫？描、C超扫》描、TA《MI扫？描、相位扫描获【取清晰扫描图—像； 《     5！  ：当，使用线？宽和间距为10μm！的测试样件、1【。00M？Hz探头进行扫描成！像时图？像应能够《清，楚地分辨样品的线条！ ：