7.3【  声学扫描检测】。。系统 】 7.3.—1  声学扫描检测！系，统的安装应配—置抽水泵、3—。0μm级过滤器盛液！。容器底？部液体应能彻底【排干 《 ， ： 7.？3.2  声学扫】描，检测系统的调试及】试运：行应符合下列规【定 【    《1  应向盛液容】器，中加入无气泡的【纯水并应确认—水深在规定范围内】；，。 ？ ： ，    2》  应安装好C【CD：超声探头《输入正确的用—户名和密码进—入程序？。初始化界面； ！。  《。   3  —在主：。操作界？面检测？各机械运动部—件运行状《态及运行范围应全部！达到要求；》 ？ ：   ？  4  应将【待测样品放入水【槽的底？。部平台上合理设【置工艺参数并对样品！分别完成B超扫描、！C超扫描、TA【。MI扫描、相—位扫描获取清晰扫】描图像；《    ！ 5  当使用线】宽，和间距为《10μm的》测试：样件、100M【Hz探头进行—扫描成像时图像应能！够清楚地分辨样【品的线条 》 ，