。。 ？ 7：.3  声学扫描检！测系统 — 7.3】.1  《声学扫？描检测？。系统的安装应配【置抽水？泵、30μ》m级过？滤器盛液容器底部液！体应能彻《。底排：干 ： 7.3.！2 ：。 声学扫描检—测系统的《调试：及，试，运行应符合下列规】定 《    — 1  应》向盛：液容器中加入无【气泡的纯水》并应确认《。水深在规定范围内；！ ：     】。2  应安装好C】CD超声探头输入正！。确的用户名和密码进！入程序初始化—。界面； ！    3 — ，在主操作界面—检测各机械》运动部件运行—状态及运《。行范围应全部达到】。要求； —     【4  应将待—测样品放入》水槽的底部平—台上合理设置—工艺参数并对样品】分别完成B超—扫描、C《超扫描、《TAMI扫描—、相位扫描获取清晰！扫描图像； ！     5 】 当使用《线宽和间距为1【0μm的《测，试，样件：。、100MHz【探头进行扫描成【像时：图像：应能够清楚》地分辨样品的线【条 ？