，。 7  工【。艺检测设备安装【、调试及试运—行 【 ： ， 7：。。.1  《一般规定 【 7.【1.1  微—组，装的：工艺检测设备主【要应包括飞针测【试系统、声学扫【描检测系统、—3D：光学测量《仪、自动光学检查】仪、激光测》厚仪、X射》线检：查仪、芯片剪切力】／引线？拉力：测，试，仪 《 ？7.1.2  飞针！测试系统、》声学扫描检测系统】、，3D光学测量—仪、自动光学检查仪！、X射线检》查仪可在地面上安】装；激光测厚—仪，、，芯片：。剪切力／引线拉力】测试仪宜在台—。面上放置 】 7.1.—3  飞针》测试系统、声学【扫描检测《系统应安装在7【级净：化的：洁，净，间中其他《工艺检测《设备可安装在8级】。净化的洁净间中温】度宜为18℃～2】。5℃相？对湿度宜为40【。％～：。6，0％ 《