， 7《  工艺检测设备安！装、：调试及试《运行 《 ： 7.1！  一般《规定 】 7.1.1  ！微组装？的工艺检测》设备主要应包括飞针！测试系？统、：。声学扫描检测系【统、：3，。D光学测量仪、【自动：光学检查仪》、激光测厚仪、X射！线检查仪《、，芯片剪切力／—。引线拉力《测试仪 】 7.1.》2  飞针测—试系统？、，声学：扫描检测系统、3】。D光学测量仪、自】动光学？检，查，仪，、X射？线检查仪可在地面上！安装；激光测厚【仪、芯片剪切力／】引，线拉力测试仪宜在台！面上放？置 ？ ， 7.1.【3  ？飞针测试《系统、声《学，扫描检？测系统？。应安装？在7级净化》的洁净间中其他工】。。艺检测设《备可安装在8级【净化：的洁净间中温度【。宜为18《。℃～25℃相对湿】度宜为40％～6】0％ 《