7 工】艺检测设备安装【、调试及试运行【。
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7.1】 一般规定
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:7.1.1 微】组装的工《。艺检测?设备:主要应包括飞—针,测试系统、声学【扫描检?测系:统、:3D光学测量仪【、自动光《学检查仪、激光【测厚仪、《X射:线检查仪、芯片剪切!。。力/引线拉》力测试仪
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:7.1.2 — 飞针测试系统、】声学扫描检测系统、!3D光学测量仪【、自动光学检—查,仪、X射线检查【仪可在?地面上安装;—激,光测厚仪、芯片【剪切力/《引线拉力测试仪宜】在台面上《。放置
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7《。.1.3 飞针】测试系统、声学扫】描,检测系统应》安装在7级》净,化的洁?净间中其他工艺检测!设备可安装在—8级净?化的洁净间中温度宜!为18℃~25℃相!对,湿度宜为40—%~60《%
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