7》  工艺检测设备】安装、？调试及试运行— 《 7.】1  一般规—定 【 7.1》.1  微组装的】工艺检？测，设，。备主要应包括—飞针测试系》统、声学《。扫描检测系统、3D！光学测量仪、自动光！学检查仪、激光【测厚仪？。、X射线检查—仪、：芯片剪切力／—引线拉力测试—仪 7.！1.2  飞针测试！系统、声学扫描检测！系统、3D》光学测量仪、自动】光学检查仪、X射线！检查仪可在地面上】安装；激光测厚仪】。、芯片剪切》力／引线拉力测试】仪宜：在台面？上放置 《。 7—.1.3 》 飞针测试系统、声！学扫描检测系—统应安装在7级净化！的洁净间中其他【工艺检测设备可安】装在8？。级，净化的洁净》间中温度宜为18℃！～25℃相》对，湿度宜为40％～】60％ 》