7 【工艺检测设备安装、!调试及试运行
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7—.1: 一般规定
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7.1.1— 微组装的工【艺检测设《备主要应《包括:飞针测试系统、声学!扫描检?测系统、《3D光学测量仪、自!动,光学检查仪》、激光测厚》仪,、X射线《检,查仪、芯片剪—切力/引线拉力测试!仪,
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7.1.2 飞!针测试系统、—声学扫?描,。。检,测系统、《3D光?学测量仪、自动光】学,检查仪、X射—线检查仪可在地面】上安:装;激光测厚仪【、芯片剪切力—/,引线拉力测试仪宜在!。台面上放置
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7.1》.3 ? ,飞针测试系统、【声学扫描检测—系统应?安装在?7级净化的洁净间】中其他工艺》检测:设备可安《装在8级净化的【洁,净间中?温度宜?为18℃~》25:℃相对湿度》宜为40《%~6?。0%
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