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7? 工艺检》测设备安装、—调试及试运行—。。
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7.1 】。 一般规定
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7.1《.1 微组装的】工艺检测设备—主要应包括飞—针,。测试系统、声学扫】描检测系《统、3D《光学测?量仪、自动光学检查!仪、激光测厚仪【、,X射线检《查仪、?芯,片剪切力/引线【拉力测?试仪
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7.?1.:。2 ?飞针测试《系统、声《学扫描检测》系统、?3D光学《。测量仪、自动—光学检?查仪、X《。射线检?查仪:可在地面上安装;】激光测厚仪》、芯:片剪切?力/引线拉力测试仪!宜在台面上放置【
—7.1?.3 飞针测试】系统、?声学扫描检测系统】应安装在7》级净:化的洁净间中—其他工艺检测设备】可安装在8级净化】的洁净间中》温度:宜为18《℃~2?5℃相?对湿度宜《为4:0,%~60%》
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