： 7？  工艺检》测设备安装、—调试及试运行—。。 — 7.1 】。 一般规定 【 》 7.1《.1  微组装的】工艺检测设备—主要应包括飞—针，。测试系统、声学扫】描检测系《统、3D《光学测？量仪、自动光学检查！仪、激光测厚仪【、，X射线检《查仪、？芯，片剪切力／引线【拉力测？试仪 【 7.？1.：。2  ？飞针测试《系统、声《学扫描检测》系统、？3D光学《。测量仪、自动—光学检？查仪、X《。射线检？查仪：可在地面上安装；】激光测厚仪》、芯：片剪切？力／引线拉力测试仪！宜在台面上放置【 —7.1？.3  飞针测试】系统、？声学扫描检测系统】应安装在7》级净：化的洁净间中—其他工艺检测设备】可安装在8级净化】的洁净间中》温度：宜为18《℃～2？5℃相？对湿度宜《为4：0，％～60％》 ：