： ， ，7  工艺检测【设，备安装、调》试及试运行 ！。 》 7.1《  一般规定 】 7.1！.1  微组—装的工艺《检测设备主要应【包括飞针测试—系统、声学扫描【检测系？统、：3，D光学测量仪、【自动光学检查仪、】。激光测厚《仪，、X射线检查仪【、芯片？剪切力／引》线拉力测试仪 】。 ？。 7.？1.2 《 飞针测试系—统、声学扫描检测系！统、3D《光学测量仪、自动】光学检查仪、X射线！。检查仪可在地—。面上安？装；激？光，测厚仪、芯片—剪切力／引线—拉力测试仪宜在台】面上放置《。 ？ ？7.1.3  飞针！测试：系，统、声？学，扫描检测系统应【安装在7级净—化的洁净《间，中其他？工，艺检测设备》可，安装在8级净化【的洁净间中温—度，宜为18℃～2【5℃相对湿度宜【为，40％～60％ 】 ，