7 — 工艺检测设备安】装、调试及试—运行 — ， 《 7.1  —一般规定 ！ 7《.1.？1  微组装的工】。艺检测设备主要应】。包括飞针测试系统】、声学？扫描检测系统、【3D光学测量仪【、自：动光学检《查仪、激光测—厚仪、X《射线检查仪、芯片剪！切力／引《线拉：。力，测，试，仪 ： ： ， ， 7.1.2 【 ，飞针测试系统、声】学扫描检测》。系统、3D光学测】量仪、自动光—学检查仪、X—射线检查仪可在【地面上安装；激【光，测厚仪、芯片剪【切力／引《线拉力测试仪—宜在台面上放置【 7.1！.3  飞针测试系！统、声学扫描检测】系统应？安装在？7级净化的洁—净间中其他工—艺，检测设备可安装在8！级净：化的洁净《。间中温？度宜为1《8℃～25℃相对】湿度：。宜为40％～6【0％ 《