。 7  工】艺检：测设备安装、调试及！试运：行 — ？ 7.1  【一般规定 ！ 7.1—.1  《微组装的工艺—。检测设备主要应包括！飞针：测试系统、声学扫描！检测系统、3D光学！测量仪、《自动光学《检查仪、激光测厚】仪、X射线检查【仪、：芯片剪切《。力／引线拉力测试】仪 《 7.1.2】  飞针测》试系统、声学—扫描：检测系统、3D光】学测量仪《。、，自动光学检》查仪、X射线检查】。仪，可在地面上安装；】激光测厚仪、—。芯片：剪切力？／引线拉力测试仪宜！在台面上放置— ？ 7.1—.3  飞针测试系！统、声学扫描检测系！统应安装在》7级：净，化的洁净间中其他工！艺检测设备》可安装在8级净【化的洁净间中温【度宜为1《8℃：～，25℃相对湿度【宜为40％～6【0％ 《