7  工艺！检，测设：备安装、调》试及试运行 【 ？ ： 7《。.1  一》。般规定 — 7.【1，.，。1  微《。组装的工艺检测设】备主要应包括—飞，针测：试系统、声学扫描】检测系统、3D光学！。测量仪、自》动光学检查仪、激光！测厚仪、X射—线检查仪、芯片剪】切力／引线拉力测】试仪 《 ， ：。 7.1.》2，  飞针测试系【。统、：声学扫描检测系【统、3？D光学测量仪—、自：动光学检查仪、X射！线检查仪可在地面】上安装？；激光？测厚仪、《芯片剪？切力／引《线拉力测试仪—宜在台？面上：放置 】。7.1.3 — 飞针？测试：系统、声学》扫描：检测系？统应安装在》7级净化的洁—净，。间中其他工艺检测设！备可安装《在8级净化的洁【净间中温度》。宜为：18℃～《25℃相对湿度宜】为，40％？～60％《。 ：