7  【工艺检测设备安装、！调试及试运行 】。。 ？。 7—.1：  一般规定 ！ ？ ， 7.1.1—  微组装的工【艺检测设《备主要应《包括：飞针测试系统、声学！扫描检？测系统、《3D光学测量仪、自！动，光学检查仪》、激光测厚》仪，、X射线《检，查仪、芯片剪—切力／引线拉力测试！仪， 》 7.1.2  飞！针测试系统、—声学扫？描，。。检，测系统、《3D光？学测量仪、自动光】学，检查仪、X射—线检查仪可在地面】上安：装；激光测厚仪【、芯片剪切力—／，引线拉力测试仪宜在！。台面上放置 ！ 7.1》.3 ？ ，飞针测试系统、【声学扫描检测—系统应？安装在？7级净化的洁净间】中其他工艺》检测：设备可安《装在8级净化的【洁，净间中？温度宜？为18℃～》25：℃相对湿度》宜为40《％～6？。0％ 《