？ 7  工艺检【测设备安装、调【试及试运《行 ！ ：7，.1  一般—规定： 【 7.1.1—  ：微组装的工艺—检测设备主要应包括！飞针测试系统、声学！扫描检测系统、3】D光学测《量仪、自动光—学检查？仪、激光测》厚仪、X射线—检查仪、《芯片剪切力／引线拉！力测试仪 】。 ， 7.？1，.，2，  飞针测试系【统、：声学扫描《检测：系统、3D》光学测量仪、自【动光学检查仪、X射！线检查仪《可在地面上安装；】激光测厚仪、芯片】剪切力／引》线，拉力测试仪宜在台面！上放置？。 ？ ？7.：1.3  飞—针测试系《统、声学扫》描检：测系：统应安装在7级净化！的洁：净间中其他工艺检】测设备可安装在【8级净化的洁净间中！温度宜为《18℃～25℃相】对湿度宜为40％～！60％ 》