。 ： 6.4》  共  晶 【 炉 》 6.【4，.1  《共晶炉的安装应符】合下列规定 —  —   1  设【备的真空泵应—安置在稳定的基【础面上并应配有衬垫！； ：。  — ，  2  冷水【。。机应在主机》侧面放置； 【     】3  根据设—备要求气体管路应与！设备接通气体通【。。入前应？保证质量符》合设：备，要，求；： ？。  《   4 》 应根据《设备额定功》率配置主《。机电源 【 6？.4.2  共晶】炉的调试《及试运行《应符合？下列规定 》 》  ：  1  启—动真空？。泵运行时噪声—、振动应无异常【腔体真空度可在规】定时间内降到规定值！；  】   2《  冷？水机腔体内应充入】纯水：接，通冷水机《电源并启《动水冷系统》水压应满足设—备使用要求； 】     3！ ， 在室温到最—高温度？间选取某《一温度设定》为炉温值进》。行加热加《热完成后应分别【在加热板《的九：个固定点上用控【温热偶测《量温度并与设定值】比较：允许偏差应为—±5℃； 【 ，     —4  设定最—高温：度加热完成》后测量实际值应【能达到设定值； ！ ：     —5  启动控制【系统软件并》应设置气体压力、温！度曲线、《真空度、加热电流】观察显示器上的实】时监控程《序时应能正常—运行共？晶工艺进程 — ，