6.4 !共 晶 》 炉
》。
6.4】.,1 共晶炉—的安装应符》。合下列规《定
?
【 1 ? 设备的真空泵应】安置:在稳定的基》础,面上并?应配有衬垫》;
】 2 》 冷水机应在主机】。侧面:放,置;
【
, 3 根据!设备要求《气体管?路应与设备接通气】体,通入前应保证质【量,符合设?备要求;
【。
》 4 》。应根据设备额定功率!配置主机电源—
,
6.4.!。2 共晶炉的调试!及试运行应符合【下列规定《
【 : 1 启动真【。空,泵运行时噪声—、振动应无》。异常腔体《真空:度可在规定时间内降!到,规定值;
!
2— , 冷水机腔体—内应充入纯》水接:。通冷:水机电源《并启动水《冷系统水《压应满足设》备使用要求;
【
《
3 】在室温到最高温度】间选取某一温度【。设,定,。为炉温值进行加【热,加热:完成后应分》别在加热板的九【个固定点上用控温热!。偶测量温度》并与设?定值:比较允许偏差应为】±5℃;
—
《 , : 4 设》定最高温度》加热完?成后测量实际值应】能达到设定值;
!
》 5 启动控!制系:统软件并应设置气】体,压力:、温度曲线、真【空度、加热电流观】察显示器上的—实时监?控程序?。时应能正常运行【。共晶:工艺进程《
: