。。 6.4 】 共  《晶  炉 ！。 ？。6.4.《1  共《晶炉的安装应符合下！列规定 ！   ？ 1  设备的真】空泵应安置》在稳定的基础—面上并？应，。配有：衬垫； 《 》。    2  冷】。水机应在《主机侧面放置； 】。 《     3—。 ， 根据设备要求【气体管路应与设备接！通气体通入前应保证！质，量符：合设备要求；— ？    — 4  应根—据设备额定功率【配，置主：机电源 】 6.4.》2  ？共晶炉的调》试及试运行应符合下！列规定 【   《  ：1  ？启动真空泵运行时噪！声、振？动应无异《。。常腔体？真空度可《在规：定时间？内降到规定》值； 】   ？ 2  冷水机腔】体，内应充？入纯水接通冷水机电！源并启？动水冷？系统水压应满—足设备使用要求；】 《     —3  在室温—到最高温《度间选取某一温【。度设定为炉》温，值进行？。加热加热完成后【应，分别在加热板的九】个固定点上用控温】热偶测量温度并【与设定值比较—允许偏差《应，为±：5℃：；   ！  4？  ：设定：最高：温度加热完成后测量！。实际值？应能达到设定值； ！ 》    5 — 启动？控制系统软件并【应设置气《体压力、温度曲线】、真空？度、加热电流—。观察：。显示器上的实时监】控程序？时应能正常运行共】晶工艺？进程 《