6.4【  共 《。 晶  炉 】 6.【4.：1，  共晶炉》的安装应符合—下列规？定 《   》  1  设—备的真？空泵应安《置在稳定的》基础面上并应配【有衬垫； 】     2  ！冷水机应在》主机侧面放置—。； ？。     3！  根据《设备要？求气体管《路应与设备接通气】体通：入前应保证质量符】合设备？要求； 】 ，    4  【应根据设备额定【功率配置主》机电源 【 6.4.2 】 共晶炉的》。调试及试运行应符】合下列规定 —     ！1  启动真—空泵运行时》噪声、振《动，。应无异常腔体真空】度可在规定时间内降！到规定？值； ？。     ！2  冷水机腔【。。体内应充入纯水接通！冷水：机电源并启动水冷系！统水压应满足—设备使用要求；【 《   《 ， 3  在室温【到最高温度》间选取某一》温度设定为炉温【。值进行加热加热完成！后应分别在加热板的！九个固定《点上用控《温热偶测量温度并】与设定值《比较允许《偏差应？为±5℃《；   ！ ， 4  《设定最高温度加热完！成后：测量实际值》。应能达到设定值；】 ，。  —   5 》 启动控制系统软】件并应设置》气体压力、》温度曲？。线，、真空度《、加热电流》观察显示器上的【实时监控程序时应能！正常运行共》晶工艺？进程 《