《6.4  》共， ，。 晶  炉 【 ： 6》.4.1  共晶】炉的安装应符合下】列规定 — ：     1 【 设备的真空泵应】安置在稳定的基础】面上：并应配有衬垫； 】 ， ：     —2  冷水机—应在：主机侧？面，放置； 】     》3  根《据设：备，要求气体《管，路应与设备接—通，气体通入前应保证】。质量符合设》备要求； — 《   ？ 4：  ：。应根：据设备？额定功率配置主机电！源 ：。 6—.，4.2  共—晶炉的？调，试及试运《行应符合《下列规定《 ： ：     1  ！启动：真空泵运《行时噪？声、振动应无异常腔！体真空度《可在规定《时间内降到规—定值； ！。    2  冷】水机腔体内应充【入纯水？接通冷水机》电源并启《动水冷系统水压【应满足设备使用要求！； ？  》。   3  在室温！到，最高温度间》选取某一温》度设定为炉温值【进，行加热加《。热完成后应分别在加！热，板的九个固定点【上用控？温热偶测量温度并】与设定？值比较允许偏—差，应为±5℃； 】     】4 ： 设定最高温—度加热完成后测【量实际值应能达【。到设：定，值；  ！   5  启动】。控制系统软件并应】设置气体《压力、温度》。曲线、真空度、加热！电，流观：察显示器上的实【时监控程序时应【能正常运行共晶工艺！进程 《