6》.4  共  【晶  炉 ！ ： 6.4.》1  共晶炉的安】。装应符合下》列规定 《  — ，  1  设备的真！空泵应安置在稳【定的基础面上—并应配有衬垫； ！ ：   《  2  冷—水机应在《主机侧？面放置；《 》     3  根！据设备要求气体管路！应与：设备接？通气体通入前—应保证质量符合设备！。要求； 【 ：。    4》  应根《据设：。备，额定：功率配置主机电【。源 《 6《.，4.2？  共晶炉的调试及！试运行应符合下列规！定，。 ？     1 ！ 启：动真空泵运行时【噪声：。、，振动应无异常腔体真！空度可在规定时【。。间，内，。降到规定值》； —   ？ ， 2 ？ 冷：水机腔体《内应充入纯水接通】。冷水：机电源并启动水冷系！统水压应《满足设备使用要求】。； 《    — 3  在室温到最！高温：度间：选取某一温度—设定为炉温值—。进行加热《加热完成《后应分别在加热板】的九个固《定点上？用控：温热偶？测，量，温度并与设》定值比较允许偏差】应为±？5℃； 】    《 4  设定最高温！度加热完成后测量】实际值应能达—到设定值； 】   》  5 《 启动控制系统软】。件并应设置气体压】力、温度曲线、【真空：。度、加热电》。。流观察显示器上的】实时监控程序时应能！正常运行共》晶工艺进《程 ？