《6，。.4  共  【。晶  炉 【 》6.4.《1  共晶》炉的安？装应：。符合下列《规定 【     1  】设备的真空泵应安置！。在稳：定的基础面上并应】配，有衬垫； ！     》2  冷水机应在主！机侧面放《置，； —   ？。 ， 3  根据设备要！求气：体管路应《与设备接通气体【通入前应《保证：质量符合《设备要求《； ？。     】。4  应根据设【。备，额定功率配置主机】电源 【 6.4.2— ，。 共晶炉《的调试及试运—。行应符合下列规定 ！ 《    《 1  启动真空泵！运行：时噪声、振动—应无异常腔》体真空？度可在规《定时间内降》到规定？值； —。     2【  ：。冷水机腔《体内应？充入纯水接》通冷水机电源并【启动：。水，冷系：统水压应《满足设备使用要【求； 》  《。 ，  3  在室温到！最高温度间选—取某：一温：度设定为炉》温值进？行加热加热完成后应！分别在？加热：板的九个固定点【上用控温热偶测【量温度并与设定【值比较？允许偏差《应为±5《℃； ？。。 《     》4  设定最—高温度加热完成【后测量实际值应能达！到设定值； ！     5 】 启动控制系统软件！并应设？置气：体压力、《温度曲线《、，真，空度：、加：热电流观察》显示器上的实—时监控？程序时应能正常运】行共：晶工艺进程 【