： 4.13—  激？光调：阻，机 【 4.13.1】  激？光调阻机的安—装应符合下列规【定   ！ ， 1  应通过调】节，地脚螺栓逐》步调平？调阻机内的大理石】平，台； 《   —  2  》调试安？全，。保护门应《以，输出激光调阻时能可！靠关闭为合》格 4.！13.2《  激光调阻机的调！试及试运行应符【。。合下列？。规定 《    【 ，1  应备好—。待调阻的样品基【板及相应探针—卡； 】    《2  开机》后应运行《调阻软件系统—应能通过自》检XY精密工—作台和？Z轴升降机构应【运行平稳无晃动、】无噪声； 】     3 】 激光输出应稳定并！可受控；《 ？     【4  激光刻缝应干！净、应无电阻材料】残留：物边缘应《整，齐缝宽不应大于【25：μ，m； 【     5 【 用数字《多用表测量微调后的！电，阻值时阻值应符合设！备指标要求 【