4.13】  激光调阻机 】 4.！13.1  激光】。调，。阻，。机的安装应》符合下？列规定 《   【  1  应通过】调，节地脚螺栓逐步【调，平调阻？机内的大《理石平台； 】    — 2  《调试安全保》护门应以输出激光调！。阻时能可靠关闭为合！格 ？ 4.13】.2  激》光调阻机《的调试？及试运行《应符合？下列规定 ！  ：   ？1  应备》好待调？阻的：样品基板及相应探】。针卡； 》 《    2》  开机后应运行】调阻软件系统应【。能通过自检XY精密！工作：台和Z轴升降机构应！运行平稳无晃动、】无噪声；《 ？     【3  激《光输出应《稳定并？。可受控； 【。     4】  ：激光刻缝应干—净、应无电阻—材料：残留物边缘应整齐缝！宽，不应大于25μ【m； —     5【  ：用数字多用表测【。量微调后的》电阻值时阻值应符】。合设备指标要求 ！