《4.13  激【光调：。阻机 】。 4.13.1 ！ 激光调阻》机的安装应符合下】列规：。定 —     1  】应通过？调节地脚螺栓逐【步调平调阻机内的】。大理：石平台；《 —。 ，  ： 2 ？ 调试安全保护【门应以输出激—光调阻时能可靠关闭！为合格 》 ： 4.13.2 ！。 激：光调阻？机的调试及试运行应！。符合下列规》定 《 ，     —1  应备好—待调阻？的样品基板及相【应探针？卡； 《  》   2  开【机后应？运行调阻软件系统】应，能通过自检XY【精密工作台和Z【轴升降机构应运行平！稳无：。。晃动：、无噪声；》    ！ 3：  ：。激光输出《应稳定？并可受控； ！ ：    4  激】光刻缝？应干净、应无电阻】材料残？留物：边缘应整《齐缝宽不应大于2】5μm； —    【 5 ？ 用：数字多用表测量【微调后的电阻值【时阻值应符合设【。备指：标，要求 《