。 ？ 4.13  激光！。调阻机 》 4【.13？.1  激光调阻机！的，安装：应，符合下列规定— ： ：   《  1  应—通，过调：节地脚螺《栓逐步调平调阻机内！的大理石平》台；：。 》     2  调！。试安全保护门应以】输出激光调阻—时能可靠关》闭为合格 【 4.》13.2《 ， 激光？调阻：机的调试及》试运行？应符合？下列规定 》    】 1：。 ， 应备好待调阻的样！品，基板及相应探针卡】； 》     —2  开机后—应运行调阻软—件系统应能通过【自检XY精密工作台！和Z轴升降》机构应运行平稳无晃！。动、无噪声； 【 ？   《 ， 3  激》光输出应稳定并可受！控； 【    《 4 ？ 激光刻缝应干【净、应无电阻—材料残留物》边缘应整齐缝宽不】应大于25μm； ！     ！5  ？用数字多用表测【量微调后的电—阻值时阻值》应符合设备指—标要求 《 ，