《4.13  激【光，调阻机 》 》 4.？13.1《  激光调阻机的】安装应符合下列【规定 《 ？。。    《 1  应通过调】节地：脚螺栓逐步调平调】阻机内的大理石平】台； 》。 ？   ？ 2  调试安全保！护门应？以输出激光调阻时】能可靠关闭》。为合格 》 ： 4.13.2 ！ 激光？调阻机的调试及试运！行应符合《下列规？定 》 ：    1 — ，应备好待调》阻的样品基板及相应！探针：卡； —。 ，     2  开！机后应运《。行调：阻，软件系统应能通【过自检XY》精密工？作台和Z轴升—降机构？应运行平《。稳无晃动、无噪【声； 】    3  【激光输出应稳定并可！受控：；   ！  4  激—光刻缝应干净、【应，无电阻？材料残留物》边缘应整齐缝—宽不应大于25μ】m； —    》 5  用数字【多用表？测量微调后的—电阻值时阻值应【符合设备指标—要求 ？ ，