。 4.13 ！ 激光调阻机 ！ ， 4》.13.《1  激光调阻机】的安装？应符合下列规定 ！ 《  ：  1  应通过调！节地：脚螺栓逐步调—平调阻机内的大理石！平台；？  【   2  调试安！。全保护门《应以输出激光调阻时！能可靠关闭为合【格， 4【。.，13：.2  《激光调阻机的调试及！试运行应《符，合下列？规定 》 ， ：。  ： ，。 1：  应备好待—调，阻的：样品基板及相应探】。针卡； 《   【。。  2  开机后】应运行调阻》软件：系，统应能通过自检X】Y精密？工作台？和Z轴升降机构【应，运，行平稳无《晃动：、无噪声《； 《   》  3？  激光输出应稳】定并可受《控，； ？     4！ ， 激光刻缝》应干净、应无电阻】材料残留物边缘应】整齐缝宽不应大【于25μm； 】  》   ？5  用数字多【用表测量微调—后的电阻《值，时阻值？。应符合设备指标要求！ ：