4.—13  激光调阻机！。 ： ： 4.—1，3.1  激光调】阻机的安装》应符：合下列规定 【     】1，  应通过调节地脚！螺，栓逐步调平调阻机内！的大理石平台； ！     2！  调试安全—保护门应以》输出激光《调阻：时能可靠关》。闭为合格 】 4.1》3，.2  《激光调阻《机的调试及试运【行应符合下列规定】 ？ ：    《 ，1  应备好待调阻！的样：品基板及相》应探针卡《；  】   2  开【机后应运行调阻软件！系统应？能通过自《检XY精《密工作台和Z轴升降！机构应运行平—稳无晃动、无噪【声；： 《。     3  ！激，光输出？应稳定并可受控； ！ 《   ？。  4 《 激光刻缝应—干净、应《无电阻材料残—留物边？缘应整齐缝宽不应】大于2？5μm；《 》     5—  用数字多用表】测，量微调后的电—阻值时？阻值应符《合设备指标要求 】 ，