4》 低?温共烧陶瓷及—厚膜:。基板制?造工艺设备安装、调!试及试运行
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4.1 —一般规定
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4.1【.1 低温共【烧陶瓷及《厚膜设备主》要应包括流延—机、:切片机、生瓷打孔机!、激光打孔机、微】孔填充机、丝网印】刷机、叠《片机、等静压层压】机、热切机、低温】共烧:。陶瓷:烧结:炉、厚膜烧结炉【、激光调阻机均可】在地面上《直接:安装
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4《.,。1.2 低温【。。共,烧陶瓷基《板制造工艺设备应】满足:。联线要求《并,应,通过低温共烧—陶瓷标准测》试版产品的生产和】性能指标的测试来验!证低:温共烧陶瓷关键工】艺设备组线》时的相关性》能指标
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4.1—.3 低》温共烧?陶,瓷及厚膜设备应安】。装在:洁,净,度7级或《优于:7级:的洁净间中》温度宜?为18℃~25℃】、相对湿度》宜,为40%~60%】
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