4》 , 低温共烧陶瓷【及厚膜基板制造工】艺设备安装》、调试及试运行【
?。
4.!1 一《般规定?
】。4.1.1 低温!共,烧陶瓷及厚膜设备主!要应包括流延—机,、切片机、生瓷打孔!。机、激光打孔机、】微孔填充机》、丝网印刷机—、叠片机《、等静?。压层压机《、,热切机、低》温共烧陶瓷烧结【炉、厚膜烧结炉、】激光调阻机》。均可:在地面上直接安装
!
:。
4.1—.2 ? 低:温共烧陶瓷基板【制,造工艺设备应满足】联线要?求并应通过》低温共烧陶瓷标准】测试版?产品的生产和性能】。指标:的测试来验证低【温共烧陶瓷关键工艺!。设备组线《时的相关性能指【标
4.!1.3 《 低:温共烧陶瓷》及厚膜设《备应:安装:在洁净度《7,级或优于7》级的洁净间中温【度宜为18℃~2】5℃、相对湿度宜】为40%~60%
!
,