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4? 低?温共烧?陶瓷及厚《膜基板?制造:工艺设备安装、调试!及试运?。行
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4.1 一般!规定
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4.!1.:1 ?低温共烧陶瓷及【厚膜设备主要应包括!流延机?、切片?机、生瓷打》孔机、激光打孔【机、微孔填充机、】。丝网:印刷机、叠片机、】等静压层《压机:、热切机、低温共烧!。陶瓷烧结炉、厚【膜烧结炉、激光调】阻机均可在地—面上直接《安装
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4.1.2 低!温共烧?陶瓷基?板制造工艺设备应】满足联线要求并应通!过低温共烧陶瓷标准!测试版产品的生产】和性能指标的测试】。来验证低《温共:烧陶瓷?关键工?艺设备?组线时的相关—性能指标
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4.1—.,3 低《温共烧陶瓷及—厚膜设备《应安装在洁》净度:。7级或优于7—级的洁净间中温度】。宜为18℃~25℃!、相:对湿度?宜,为4:0%~60%
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