5》.5  还原尾气干！法回收 ！ 5.5》.2  多晶硅【还原生长过程—中往往采用》一些强化生产的手】段提高硅棒的—生长速度降低还原】直接：电耗这也随之—产生了大《量的无定形硅这些无！定，型，硅若：得不到及时回收将】对后续工序》的压缩机、泵等设】备造成损害 ！ 5.5.5  ！对于：输送易燃《、易：爆、有毒、有腐【蚀性物料的设备应考！虑其使用的安—全性防止泄漏 【 ，