？ ，5.5  还—原尾气干法回收 】 》 5.5》。.2  多晶—硅还原生长过程中往！往采：用，一，。些强：化生产的手段提高】硅棒：的生：长速度降低还原直】接电：耗这也随之产生【了大量的《无定形硅这》些无定型《硅若得不到》及时回？收将对后续工—序的压缩机、泵【等设备造成损害 ！ 5》.5.5《  对于输送易燃、！易爆：、有毒、有》腐蚀性物料》的设备应考虑其使】用的安全《性防止泄《漏 ？