？ 5.？5  还原尾气干】法回收 — 5.5.！2  多晶硅还【原生长过程》中往往采用》一些强化生产的【手段提高硅棒的【生长速度降》低还原直接电耗这也！随之产生了大量的】无定形硅这些无定】型硅：若得不到《及时回收将对后【。续工序的压缩机、泵！等设备造《成损害 【 5.5.5 】 对于输《送易燃、易爆、【有毒、有腐蚀性【物料的设备应考虑其！使用的安全性防止泄！漏 ？