， 5.5—  还原尾气—干法回收 》 》 5.5.—2 ： 多晶硅还原生长过！程中往往采用一些】强化生产的手段【提高硅棒的生长速度！降低还原直接电【。耗，这也随？。之产生了大量的无】定形硅这些无—定型硅若《得，不到及时回收将对后！。续工序的压缩机【、泵等设备造成【损害 — ， 5.5.5 【。 对于输送易燃、】易爆、有毒、有腐蚀！。。性，物料的设备应—。考虑其使用》的，安全：性防止泄《漏， ：