5.5  ！还原尾气《干法：。回收 ？ ： 《 ，5.5.2 — 多晶硅还原生长】过程中往《往采用？一些强化《生产的手段提—高硅棒的生长—速度降？低还原直《接电耗这《也随之产生》了大量的《无定形硅这些无定】型，。硅若得不到及时回收！。将对后续工序—的压缩机、》泵等设？备，造成损害 》 ，。 ， ？5.5.《5  对于输送易】燃、易爆、有—毒、有腐蚀性—物料的设备应考虑】其，使用的？安全性防止泄漏【 ：