？ 5.6  硅芯】制备及多晶硅产品后！处理： 》 5.》。6.4  本条第1！款和第7款的—规定主？要是：为，了防止运输路径和】环境对硅料的—二次污染第2款【。和，第4款的《。规，定是为了《防止与硅料接—触的工？具对硅料造成二【次污：染 5.！。6.5？  多晶硅的酸腐蚀！主要采用氢氟酸和硝！酸的混？酸具：有强腐蚀性供酸【。室不应与腐蚀清【洗室设置在一—起本条第3》款规定了供酸—室与腐蚀《清洗室分开布置但】。布置时应兼》。顾供酸管道的距【离和：位置输送距》离远输？送管过长输送线路】不安全 》