安全验证
5.6  !硅芯制备及多晶硅】产品后处理 — , 5【.6.4  本【条第:。1款和第7款的规】定主要是为了—防止运输《路径和环境对硅料的!二次污?染第2款和第—4款的规《。定是为了防止与硅料!接触的工具对硅【料造成二《次污:染 》 , ,5.6.5 — 多晶硅的酸腐【蚀主要采用》氢氟:酸和:硝酸:的混酸具《有强腐?蚀性供酸室不应与腐!。蚀清洗室设置在一】起本条第《3款规?定了供酸室与腐蚀清!洗,室分开布置但布置时!应兼顾供酸管—道的距离和位置输送!。距离远输送管—过长输送线路不安】全 ?