， 5.》6  硅芯制备及多！。晶硅产品《后处理 — 5.6.！4 ： ，本条第1款和—第7款的规》定主要是为了防【止运输路径和环境】对硅料？的二次污染第2【款和第4款的规定是！为了防？止与硅料接触的【工，具对硅料《造，成二次污《染 ？ 5.—6.5  多—晶硅的酸腐》蚀主：要采用氢《氟酸和硝酸的混【酸具有强《。腐蚀性？供酸室不应》与腐蚀清洗室设【置在一起本条第【3款规定了供酸室与！腐，蚀清洗室《分开布置但布—置时应兼顾供—。酸管道的《距离和？位置：输送距？离远输送管》过长输送《线路不安全》 ：