5.—6  硅芯制—备及多晶硅产品后处！理 《 ？ 5.6》.4 ？ 本条第1款—和，第7款的规定—主要是为了防—止运：输路径和环境对【硅料的二次污染第2！。款和第4款的—规定是为《了防止与硅料接触的！工具：对硅料造成二次污染！ ？ ， 5.6.5 】 ，多晶硅的《酸腐蚀主要采—用氢氟酸《和硝酸的混》酸具：有强腐蚀性供酸【室不应与腐蚀—清，洗室设置在》一起本条第3款规定！了供酸室《与腐蚀清洗室分开布！置但布置时应—兼顾供酸《。管道的距《。离和位置输送距离远！输送：。管过长输送》线，路不安？全 ？