。 ， ，。 ， 5.6《  硅芯《制备：及多晶硅产品后处】理 》 5.6.4！  本条第1款【和第7款的》。规定主要是为了防止！运输路径《和环境对硅料—的二次污染第2【款和第4款的规定是！为了防止《与硅料接触的工具对！硅料造？成二次污染》 5.】6.5 《。 多晶硅的酸腐蚀】主要：采用氢氟酸和硝【。酸的混酸具有强腐】蚀性供酸室不—应与腐蚀《清洗室设置在—一起本条第》3款规定了供酸【室与腐蚀清洗室【分开布置但布置时应！兼顾供酸管》道的距离和位置【输送距离远输—送管过长《输送线路不安全 ！