《5.6？  硅芯制备及【多，晶硅产品《后处：理 》 5.6【.4  本》条第1款和第7【。款的：规定主要是为了防止！运输路径和》环境对硅料的二【次污染第2款和第】4款：的规定是为》了，防止与硅料接触【的工具对硅料造成二！次污染 《 5.【6.5  多—晶硅的酸腐》蚀主要采用氢氟【酸和硝酸的混酸【具有强？腐，蚀性供酸室不应【与腐蚀？清洗室设置在—一起本条第3—款规定了供》酸室与腐蚀清洗【室分开布置但布【置时应兼顾供酸【管道的距离和位【置输送距《。离远输送管过长输】送线路不安》全 ？