5.—6  硅芯制备【及多晶硅《产品后处理 【 ： 《。5.：6.4 《 本：。条第：。1款和第7款的规】定主要是为了防止】。运输路？径和环境对硅料的】二次污染第2款【和，。第4款的规定是【为了防止与硅—料接触的工》具对硅？料造成二次污染【 ：。 5.6.】5，  多晶硅的酸腐蚀！主，要采用氢氟酸和硝】酸的混酸《。具有强腐蚀性—供酸室不应》与腐：蚀清洗室设》置在一起本条第【3款：。规定了？供酸室与《腐蚀清洗室分—开布置但布置时【。应，兼顾：供酸管道的距离和位！置，输送距？离远输送管》过长输送线路不【安全 《