5.4 !三氯氢硅氢》还原
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5.4.1 !光,。伏制造行业》规范:条,件(工信部201】3年第4《7号)规《定新建和改、扩建项!目还原电耗小于6】0kW·h/k【g还原电耗是多晶硅!。生产的主要能源【消耗本条规》定的目的是》节约:资源能源
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5.4.2! 供料系》统,是指将三氯氢硅液】体汽:化,后和氢气混合以【气态的形式》送入还原炉内;若】。输送管线过长—容易出现《气体液化现》象影响产品质量和安!全;:因此还原炉》供料系统应靠近【或,紧靠还原车间
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5.4.!5 本条》中生产太阳能—。级,多晶硅的还原—。。炉室至少采用—三级:。过滤的洁净新风主要!是防止新风内—的粉尘对硅料造成二!次污染
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5.4.》6 如果遇到【突发:事故导致冷却介质】(主要是《指高温水《)不流动或》。还原炉?局部过热冷却介质】汽化超压将》发生:安全事故因此需在】顶部夹套处设置【排气口和《安全阀保护还原炉及!其夹套保《证还原炉安全运行】同时:安全阀的泄放口【要引至安《全处避免泄放伤人】
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