5.4【  三氯氢硅—。氢还原 ！ 5？.4.？1  光《伏制造行业规范条件！。(，工信部？2013年》第47？号)规？。。定新建和改、扩建项！目还：原电：耗，小于60kW·h／！kg还原电耗是【多晶硅生产的主要】。能源消耗《本条规定的目的【是节约资源能源 】 ， 5》.4.2《  供料系统是【指将三氯《氢硅：。液体汽化《后和：氢气混？合以气态的》形，式送：入还原？炉内；若输送管线】过长容易出现—气，体液化现象影响产品！。质量和安全；因此还！原炉供料系》统应：靠近或紧靠》还原：车间 — 5.4.5  ！本，条中：。生产太阳能级多【。晶硅的还《原炉室至少》采用三级过》滤的洁？净新风？主要是防止》新风内？的粉尘对硅料造成】二次污？染 ： 5.4.！6  如果遇到突】发事故导致冷—却介质(《。主要是指高温水)不！流动或还原炉局部】过，。热冷却介质汽化【。超压将？发生安全事故因此】需在顶？部夹套处设置排气】。口和：安，全阀保护还》。原炉及其夹套保证】还原炉？安全运行同》时安全？阀，的泄放口要引—至安全处避免泄【。放伤人 《 ，