， ？5.4  三氯氢硅！氢还原 《 ？ ？ 5.4.1  】光伏制造行业规范】条件(工信》部2013》年第47号)规定】。新建：和改、扩建项目还】。原电耗小于60k】。W，·h／kg还原电】耗是：多晶硅生产的主要能！源消耗本条规定的】目的是节约》资源：能源 【 5.4《.2 ？ ，供料系统《是指将三氯氢硅液体！汽化后和氢气混合以！气态的形式送入还】原炉内？；若输送管线过长】容易出现气体液化】现象影响产品质量】和安全；因》此还：原炉供料系统应靠近！或紧靠还原车间 】 》5，.4.？5  ？。。本条中生产太阳能级！多晶硅？的，还原：炉室至少采用—三级过滤的洁净【新风主要是防—止新风内的粉—尘对硅料造成—二次：污染 【 5.4.6—  如果遇到突【发事故导致冷却介质！。(主要是指高—温水)？不流动或还》原炉局部过热—冷却介质汽化超压将！发生安全事故因【此需在顶《。部夹：套处：设置排气口和安【全，阀保护还原炉及其夹！套保证还原炉—安全运行同时安【全阀的泄放》口要：引至：安全处避免泄—放伤人 《。。 ，