： 5.《3  ？氯硅烷提纯 — 《 5《.，3.2 《 氯硅？烷物料中三》氯氢硅、四氯化硅】、二氯二氢硅性质接！近特别适合差压耦合！工，艺而且与其他常规】精馏工艺相》比差压耦合工艺【能有效？降低能耗《4，。0％：～80％因此为了降！低单位？产品能源消》。耗热：量双效梯级》使用宜优先考—虑采用差压耦合工】艺 》 5.3.3【 ， 本条第4款的规】定是为了防止—耦合氯硅烷蒸气【得不到完全冷凝【影响生产的正常运】行 ？