5.—3 ： ，氯硅烷提纯》 5！.3.2《  氯硅烷》物料中三氯氢硅【、四氯化硅、二氯】。二氢硅性质接近【特，别适合差压》耦合工艺而且与其他！常规：精馏工艺相比差【压耦合工艺能有【效降低能耗》40％～80％因此！为，了降：低单位产品》能源消耗热量双【效，梯级使用宜》优先考虑采》用差压耦合工艺【 》 5.3《.，3  本条第4【款的规？定是为了防止耦合】氯硅烷？蒸气得不到完—。全冷：凝影响生产》的正常运行 【