。 5》.3  氯》硅烷提纯《 ，。 《 5.3.2 ！ 氯硅烷物料中三氯！氢硅、四氯化硅、二！氯二氢硅性质接近特！别适合差《压耦合工艺》。而且与其他常—规精馏工艺相比【。差压耦合工艺能【有效降低《能耗40％》～，8，0％因此为了—降低单位产》品，能，源消耗热量双—效梯级使用宜—优先考虑采用差压耦！合工艺 】 5：.3.3  本条第！4款的？规定是为了防止耦】合氯硅烷《蒸，气，。得不到完《全冷凝影响生产【的正常运行》。 ：