？ 5.3  —氯硅烷提《纯 — ？5，.3.2 》 氯硅烷物》料中三氯氢硅、【四氯化硅、二氯二氢！硅性质接近》特别适合差》。压，耦合工艺而且与其】他常规精馏工—艺相：比差压？耦合工艺能有效【降，低能耗40％～【80％因《此为了降低单位产品！能源：消耗热量双效—梯级使用宜》。优，先考虑采用差—压耦合工艺 【 5.3.3！  本条第4—。款的规定是为了防止！耦合氯硅烷蒸气得不！到完全？冷凝：影响生产的》正常运行 —