《5.3  氯硅【烷，提纯 】 5.3.2 】 氯硅？烷物料中三氯—氢硅、四氯化硅、二！氯二氢硅性质接近】特别适合差压—耦合工艺而且与【其他常？规精：馏工艺？相比：。。差压耦合《工艺能有效降低能耗！。40％～8》0％因此为了降【低，单位产品能源—消耗热量双》效梯级使用宜优【先，考，虑采用差压》耦合工艺 ！ 5.？3.3  本条【第4：款的规定是为—。。了防：止耦：合氯：硅烷蒸气得不—到完：全，冷凝影响生产—的正常运《行 ？