5.3  ！氯硅烷提纯 】 5.【3.2  氯硅烷物！料中三氯氢硅、【四氯化硅、二氯二氢！硅性质接近特别【。适，合，差压耦？合工艺而且与其他常！。。规精：馏工艺？相比差压耦合—。工艺能有效降低【能耗：40％？～，80％因此为—了降低单位》产品能？源消耗热量双效【。梯级使用宜》优先考？虑采：用差压耦合工艺【 ： 《5.3？.，。3  本条第4款】的规定是为了防止】耦合氯硅烷》蒸，气得不到完全冷凝影！响生产的正》常，运行 《