5.3 】 氯硅烷提纯— 5！.3.2 》 氯硅烷物料—中三氯氢硅》、，四氯化硅《、二氯二氢硅性质】接近特别《适合差？压耦合工艺而—且，与其他常规精—馏工：艺相比差压耦合工艺！能有效降低能耗40！％～80％因此【为了降低《单位产？品能源消《耗，热量双效梯》级使用？。宜优先考《虑采用？差压：耦合工艺《 ？ ：。 5.？3，.3：  本条第4款的】规定：是为了防《。止耦合氯硅烷蒸气】得不到完全冷—凝影响？生产的正常运—行 ？