。。 5.2 】 三：氯氢硅合成》和四氯化硅氢化 】。 — 5.？2.1  目—前国内多晶硅—企业有的《自建合成装置有的】靠市场供《应补充有的调—。整生产工艺将氢化和！合成工？序合二为《一因此各个》企业应根据各自情况！来决定采《用，何种方？式补充三氯》。氢，硅 《 5.2.4 ！ 三氯氢《硅合成的反应气【体中含有粉尘—、金属氯化物等杂质！这些物质有》可能：堵塞设备和管—道影响生《产系统的运行造成停！车等问题；因此需】要采取合《适的除尘《工艺除去该类物质减！少系统？阻塞：的可能性保证—较长：的，运行：时间减？少停车检修时间【 ： 《5.2.《7  目前国—。内主流的四氯—化硅处理方式为高】温氢化、冷》氢化各有优缺点【高温氢化工》艺单位产品耗电【量高；冷氢化—工艺虽然单位—产品耗电量低但是会！引入新杂质与之配套！。的精馏提纯》工艺：较，为复杂蒸汽消耗量较！高所以各个》企业应根据各自情况！综合比较《后再决定采用何种氢！化，工艺 5！。.2.9  为保】证冷氢化工序—生产连？续长期运行应定期】排放固体含量很高的！。残，液防：止其：堵塞：管道：和设备由《于残液中含》有硅粉、金属氯【化物等物质不适合长！距离：输送而？残液需要回收有【用组分避免造成环】境污：染因此冷《氢化装？置应配套残液—回收装置且就—近配置 ！。5.2.《1，1 ： 对于输送易燃、易！爆、有毒《、有腐蚀性》物，料的设备应考—。虑其使用的安全性】防止泄漏《 ：