5》.2  《三氯氢硅合成和【四氯化硅《氢化 《 5.】2.1  目前【国内多晶硅企—业有的自建合—成装置？有的靠市场供应【补充有？的调整生产工艺【将氢化和合成工【序合二为一因此各】个企业应根据各自情！况来决定采用—何种方式补充—三氯氢硅《 5【.2.4  —三氯氢硅合成的反应！气体中？含有粉？。尘、金属《。氯化物等杂质这些】物质：有可能？堵塞设备《和管道？影响：生产：系，统的：运行造成停车等问】。题；：因此需？要采取？合适的除尘》工，艺除去该类物—质减少系统阻塞的】可，能性保证较长的运行！时间减少停》车检修时间 ！ 5？.2.7《  目前《国内主流的四—氯化硅处《理方式为高温—氢化、冷氢化—。各有优？缺点高温《。氢化工艺单位产【品耗电量高；冷氢化！工艺虽然《单位产？品耗电量低但是会引！入新杂？。质与之配《套的精馏提》纯工艺较为复—杂，蒸汽消耗量较—高所以各《个，企业应根《。据各自情况综合比】较后再决定采—用何种氢化》工艺 】5.2.9》  为保证》冷氢化工序生产连续！长期运行应定期排】放固体含量很高的残！液防止其堵塞管道和！设备由于残液中【含有硅粉、金属氯】化物等物质不—适合长距离》输，送而残液《需要回收有用—组分：避免造成环》境污染？因，此冷氢化装置应配】套残液回收装置【且就近配置》 ， 》。5.2？.1：1  对于输送【。易燃、易《爆、有毒、有腐蚀性！物料的设备应—考虑其使用的安全】性防止泄《漏 ？