5.2 】 ，三氯氢？硅合成？和四氯化《硅氢：化 【 5.《2.1  目—前国：内多晶硅企业有【的自建合成》装置有的靠市场【供应补？充有的调《整生产工艺将氢【。化和合成工序合二为！一因此各个企业应】根，。据各自情《况来决定采用何【种方式？补充三氯氢》硅 — 5.2.4 【 三氯氢硅合成【的，反应气？体中：含有粉？。尘、金属氯化物等】杂质这？些物质有可能堵塞设！备和管？。道影响生产系统的运！行造：成停车等问题；【。因此需要采取—合适的除尘》工艺除去该类—。物质：减少：系统阻塞的》可能性保证》较，长的运？行时间减少停车检】修时间？ ， 《 5.？2.7  目前国内！主流的四氯化硅【处理方式为高温氢】化、冷氢《化各有优缺点高温氢！化工艺？单位：。产品耗电《量高；冷氢》化工艺虽然单位产】品耗电量低但是会引！入新杂质《与之配？套的精馏提纯工艺较！。为复杂蒸汽消—耗量较高《所以各个企业应根据！各自情况综合比【较，后再决定采用何【种氢化工艺》 ？ 5.》2，.9  为保—证冷：氢化工序生产连续】长期运行《应定期排放固—体含量很高的残【液防止其堵塞管道和！设备由于残液—中含有硅《粉、：。金属氯化物等物【质不适合长距离【输送而残液需要【回收有用《组分避免《造，成环境污《染因此？冷氢：化，装，置，应配：套，残液回收装置且就近！配，置 — ，5.：2.：11  《对于输送易燃、易爆！、有毒、有腐蚀性】物料的设备应—考虑其使用的安全性！防止：泄漏 《