： 5.2 — 三氯氢硅合—成和四氯化硅氢化 ！ 《 5.2.1】  目？。前国内多晶硅企业有！的，自建：合成装置有》的靠市？场供应补充有的调整！生产工艺将氢化和】合成工序合二为【一因此？。各个企业应》根据各自情况来决】定采用何种方式补】充三：氯氢硅？ 5.】2.4？ ， 三氯？氢硅合成《。的反应气体中含【有粉：尘、金属氯化物等杂！质这些物质有—可能：堵，塞设备？。和管道影响生产系统！的运行造成停车等问！题；因此需要采取合！适，。的除：尘，工艺除去该类物质减！少，系统阻塞的》可能性保《证较长的运》行时间减少停车【检修时间 》 ，。 5.2【.7  目》。前国内？主流的四氯化硅处】理方式为高温—氢化：、冷氢化《各有优缺点高温氢】化工艺单位产品耗电！量，高；冷氢化工艺虽】然单位？产品耗电量低但是会！引，入新杂质与之配【套的精馏提》纯工艺较为复—杂蒸汽消《耗，量较高所以》各个企业应根—据各自情况综合比】较后再决定采用何种！氢化：工艺 】5，.2.9  —为保证冷氢化工序生！产连续长期运行应】定期排？放固：体，含量很高的残液防】止其堵塞管道和设】备由于残液中—含，。有硅：粉、：金属氯化物等—物质不适《合长距？。。离输：送而残液需》要，回收有？用组分避免造成【。。环，。境污染因《。此冷氢化装置应【。。配套残液回收装置且！就近配置《 —5.2.1》1  对于输送易燃！、易爆、有》毒、有腐蚀性物料的！设备应考虑其使【用的安全《。性防止泄《漏 ？