？ 5：.2：  三氯氢硅合【。成和：四氯化？硅氢：化 《 5—。.2.1  目【前国内多晶硅企业】。有的自建合成装置】有的靠市《场供应补充有—的调整生产》工艺将氢化和合成工！序合二为一因此各】个企业应根据—各自情况来决定采用！。何种方？。式补充三氯》氢硅 》 5.2.4 ！ 三氯氢硅》合成的反应气—体，中含有粉尘、金属氯！化物等杂质这些【物质有可能》堵塞设备《和管道影《响生产系统的运行造！。成停车？等，问题；？因此需要采取合【适的除尘工艺除去该！类物质减少系统阻塞！的可能性保证较长的！运，行时间减少停车检】修时间 ！5.2.《7  目前国—内主流的《四氯化硅处》理，。方式：为高温氢《化，、冷氢化各有优缺点！高温氢化工艺单【位产品耗电》量高；冷氢化—工艺虽然《单位产品耗电—量低但是会引入【新杂质与《之，。配套的？精馏提纯工》艺较为复《杂蒸汽消《耗量较高所以—各，个企业应根据各【自情况综合》比较后再决定采用】何种氢化工艺 ！ ， 5？.2.9  为保】证冷氢化工序—生产连续长》期运行应定》期排放固体含量很】高的：残液防止其堵—塞管道和设备由【于残液中含有硅【粉、金？。属氯：。化物：等物质不适合长距】离输送而《残液需要回收有用】组，分避：免造成环《境污染因此冷氢化】装，置应配套残》液回收装《置且就近配置 ！ ， 5.2.1【1  ？对于输？送易燃、易》爆、有？毒、有腐《。蚀性物料的》设备应考虑其使用】的安全性防止泄漏】。 ：