。。。 5.2  ！三氯：氢硅合成和》四氯化硅氢化— 》 5《.2.1  目前】国内多晶硅企业有的！自，建合：成装置有《的靠市场供应补充有！的调整生产工艺将】氢化和合成》工序合？二为一因此各个企】业应根据各自情况】来决定采《。用何种？方式补充三氯氢硅】 《 5？.2.4  —三氯氢硅合》成的：反应气体中含有【粉尘、金《属氯：。。化物等杂《质，这些：物质有可能堵塞设备！和管道影响》生产系统的运行【造成停车等问—题；因此需要采取】。合适的除尘工—艺除去该《。类物质减少系统阻】塞的：可能性保证较长【的运行时《间减少停《车，。。检修时间《 5.2！.7  目前国【内主：流的四氯《化硅处理方式为高】温氢化、冷氢化各有！优，缺点高？温氢化工艺单—位产品耗《电量高；冷氢—化，工，艺虽然单位产品耗电！量低但是会引入新】杂质与之配套—的精馏提纯》工艺较为复杂蒸汽】。消，耗量较高所以—。各个企业应根—据各自情《况综合？比较后再决》定采用？何种氢化工艺 】 5.2【.9 ？ 为：保证：冷氢化工序生产连续！长期运行应定—期排放固《体含量很《高的残液防止其堵塞！管道和设备》由于残液中含—有硅粉、金属氯化】物等物质不》适合长距离》输送而残《液需：要回收有用组分【避免造成环境污染因！此冷氢化装置应【配套：残液回收装置且就】近配置 】 5.2.11 】 对于？输送易燃、易爆、有！毒、有腐蚀性物料】的设备应考虑其使】用的安全性防止泄漏！。 ：