《5.2 《 三氯氢硅合成【和四氯？化硅氢化 】 ： ：。5.2.1  目前！国内多晶硅企业有】的自建？。合成装置有的靠市场！供应补充有的调整】。生产工？艺将氢？化和合成工序—合二为一因此各【个企业应根据各自情！况来：决定采用何种方式】补充三氯氢硅—。 《 5.2》.，4 ： 三氯氢硅合成【的，。反应气体中含—有粉尘、金属—氯化物等杂质这【些物质有《。可能堵塞设备—和管道影响生产【系统：的运行造成停—车等：问题；因此》需要：采取合适《的除尘工艺除去该】类物质减少系统阻塞！的可能性保证—较长的运行时间减】少停车检《修时间？ ， 》5.2.《7，  目？前国内主流》的四氯化硅处理【方式为高温氢—化、冷氢化各有优缺！点高：温，氢化工艺单位产品耗！电量：高；冷氢化工艺虽】然单位产品耗电【量低但是会引—入新杂质《与，之配套的《精馏提纯工艺较为复！杂蒸汽消耗量较【高所以各个》企业应？。根据各自情况—综合比较后再—决定采用何种—氢化：工，艺 《 5.2.9】  为？保证冷氢化工序【生产连续《长期运行应定期排放！固体含量很》高，的残液防《止其堵塞《管道和设备由于残】液中含？有硅粉、金属氯化物！等物质不适合长距】离输送而残液需要回！收有用组《分避：免造：成环境污《染因此冷氢化装【置应：配套残液回》收装置且就》近配置？ 》 5.2.》11  对于—输，送易燃、《易爆、有毒》、有腐蚀性物—料的设备应考虑其】使用的安《全性防止泄》漏 ？