。 ？ 5  工艺—设计 — 》 5.1  一般】规定 》 ： 5.1—.1 ？。 ，三氯氢硅氢还原【法多晶硅生》产工：艺主要由还原、提】纯、：干法回？收，和三氯氢硅生产四】大主工艺系统组成工！艺流程见图》1 ？ ！ 图：。1  三氯氢硅氢还！原生产工艺》流程简图《 ：  》   多晶》硅行业近年来发展迅！速其生产工艺—和设备？装备水平较以前均】有大幅度提升每【个主工艺都有—几种工艺方案选择】为提高建设质量以及！整个行业的技术【水平本条对工—艺流程的设计和【工，艺设备的选型进行了！。规定：  【 ，  1  多晶硅】。工厂主？要的能源消耗是电】力和蒸汽由此—产生的？成本超过《了多晶硅成本的一半！不同的产品方—案决定？了不同的《精馏提纯流程和工】艺不同的建设规模和！能源价格决定了【不同的氢《化工艺不同的建【设规模、能》源价：。格和：投资资金《。决定了还原》炉等主要设》备，选，型的：经济性 】  ：   2、3  国！家大：力提倡循环经济发】展，模式以建《设资源节约》型，、，环境友好型的—美丽社？会为：目标；因此工厂建】设中应做到安全可】靠，、环保？节能、？技，术先进、经济合【理   ！  ：5  多《晶硅生产《是个较为复杂的系】统工：程每个主工》序的生产特点均【有不同如还原过【程的一次转》化率低只有10％】左右大量三氯氢【硅和副产《物，以尾气的形式—进入干法回收系【统干法回收应—具，备吸纳不同气—量、不同组分—还原尾气的》能，力；各？个主工序之》间生产能力应有合】理匹配和综合平衡】 5【.1.？5  现行》国家标准多晶硅企业！单位：产，。品能源消《耗限额？GB 29》447中对多晶【硅各生产单》元的工艺《电耗、蒸汽消—耗、综合电耗—以及综合能耗—分别给出了限定值】、准入值、先—进值的？要求新建项目至少达！到限额准入值标准】本，条规：定，各生产单《元，的蒸汽、电力及【综合能耗《不，大于限额准入值【并达到先进值目的是！节约资源能源 】 5》.1.8  多晶硅！生产过程《伴有：氢，气、三氯氢硅、【二氯：二氢硅、四氯—化硅、氯化氢—。等危险化学品对于】。输送易燃、易爆、有！毒，、有腐蚀性物料【。。的设备和管道应考】虑其使？用的安全性防止【泄漏： ：