5  工艺！设计 】。 5.1【  一般《规定 ！ 5.1.1 【 三氯氢硅氢还【原法多晶硅》生，产工艺主要》由还原、提》纯、干？法回：收和三氯氢》硅生产四大》主工艺系统组成【工艺流？。程见图1 》。 ， ？ 《 图1 — 三氯氢《硅氢还原生》产工艺流《程简：图 》     —多晶硅行业近年【来发展迅速其生产】工艺和设备装备水平！较以前？均，有，大幅度提《升每：。个主工艺都》有几种？工，艺方案选择为—提高建？设质量以及整个行】业的技术水平本条】对工艺流程的设计和！工艺设备的选型进】行了规定 —  》   1 》 多晶硅工厂—主要的能源消耗【是电力和《蒸汽由此产生的成】本超过了多》晶硅成本的》一，。半不同的《产品方？案决定了不》同的精馏提纯流程和！工艺不同《的建设规模和能源】价格决定了不—同的氢化《工艺不同的建设规模！、能源价《格和投资《资金：。。决定了还原炉等主要！设备选型的经济【。性 【 ，   2、3 【 国家大力》提倡循环经》济发展模式》以建设资源节—。约，。型，、环境友好》型的美丽《社会为目标；—因此工厂建》设中应？做，到安全可靠》、环：保节能、技术先【进，、，经济合理 》 ：  《   5  多晶硅！生产是个《较，为复：杂的系统《工程每个主工—序的生产特点均【有不同如还原过【程的一次转化率低】只有10％左右大】量三氯氢《硅和副？产物以尾《气的形式进入干法回！收系统干法回收【应具备吸纳不同气量！、不同组分还原尾气！的能力？；各个主工序之【间生产能《力应有合理匹配和综！合平衡 《 5.【1.5  现行国】家标准多晶硅企业单！位产品能源消耗限额！GB 29》447中对多晶【硅各生产单元的工艺！电耗、蒸汽消耗、】综合电耗以》及综合能耗分—别给出了《限，定值、准入》值，、先进值《的要求新建项目【至少达到限额—准入值标《准本条？规定各生产单元【的蒸汽、电力—及综合能耗不大于】限，额准入值并达到先进！值目的是节约资【源能源 — 5《.1.8  多晶】硅生：产过程伴有氢气【、三氯氢硅、二氯】二氢硅、四氯化硅】、氯化氢等》危险化学品》对于输送易燃—、易爆？、有：毒、有腐蚀》性，物料的设备和管道应！考虑其使用的安全】性防止泄漏 【