？ 5  工艺设计】 ！ 5.1  一般规！定 ： 》 5？.1.1  三【氯，氢硅氢还原法多晶硅！。生产工艺主要由还】原、提纯、干法回】收和三氯氢》硅生产四大主工艺】。系统组成工艺流【程见图？1 【 图1】  ：三氯氢硅氢》还原生产《工艺流程简图—   】  ：多晶硅行业近年来发！展迅速其生产工艺和！设备装备水》平较以前均有大【幅度提？升每个主工艺都有】几种工艺方案选【择为：提高建？设质量以及整个行业！的技术水平本条对】工艺流程《的设计和工艺设【备的选型进行了规】定  】   1  多【晶硅工厂主要—。的，能源消？耗是电力《和蒸汽由《此产生？的成本超过了多晶】。硅成本的一半不【同的产品方案决定了！不同的精馏提—。纯流程和工艺不【同的建？设规：模，和能源价格决定了不！同的氢化工》艺不同？的建：设规模、《能源价格和》投，资，资金决定了》还原：炉等主要设备选型】的，经济性？ 》     2、3】。  国家《大力提倡循环经济】发展模式《以建设资源》节约型、环》境友好型的美丽社】会为目标《；因此工厂建—设中应做到安全【可靠、环保节—能、技术先进—、经济合理 ！。 ：    5》  多晶硅生—产是个较为》复杂：的系统工程每个主】工序：的生产特《点均有不《同如：还原过程《的一次转化率低只有！1，0％左右大量三氯】氢硅：和副产物《以尾气的形式—进入干法回收系【统，。干法回收应具—备吸纳不同》气量、不同组分还】原尾气的能力；各】个主工序之间生【产能力应有合—理，。匹配和综合平衡【 》 5.1.5  】现行国家标准多晶硅！企业：。单位产？品能源消耗限—额G：B 2944—。7中对多晶硅各【生产单元的》工艺电耗、》。蒸汽消耗、综—合电耗以及综合能耗！分别给出了》限定值？、准入值、先进值的！要求：新，。建项目至少达到限】额准入值《标准本条规定各生产！单元的蒸《汽、电力及综—合能耗不大于限【额准入值并达到【先进值目的是节【约资源能源》 —5，.1.8  多【晶硅生产过程伴有氢！气、三氯《氢硅、二氯》二氢硅、四氯化【。硅、氯化《氢等危险化》学品：对于输送易燃、易爆！、有毒、有腐蚀【性物料的《设备和管《道，应考虑其使》用，的安全性防止泄漏 ！ ，