《5  工艺设计 ！ 《。 《5.1  一般规定！ 5！.1.？1，  ：三氯氢硅氢还原【法，多晶：硅生产工艺主要由还！原，、提纯、干法回【收和三？氯氢硅生产四大主】工艺系？统组成工艺流程见图！。1 ？ 《 图1 ！ 三氯氢硅氢还原】生产：工艺流程简图 】。     】多晶硅行业近年来发！展，迅速其生《。产工艺和《设备装备水平较【以前：均有：大幅：度，。提升：每个主工《艺都：有几种工《艺方案选择》。为提高建设质量以】及整个行业的—技术水平本条对工】艺，流程的设计和工艺】。设备的选型进行了】规，定   ！。  1 《 多晶硅工》厂主：要的：能，源消耗是电力和蒸】汽由此产《生，。的成：。本超过了多晶硅成】本的：一半不同的产品方案！决定了不同》。的精馏提纯流程【和工：艺不同的建设规【模和能源价》格，决定了不同的氢化工！艺不同？的建设规模、能【源价格？和，投，资资金决定了—。。还原炉等主要—设备选型的经济性】 《     —2、3  国家【大力提倡循环—经济发展模式以建设！资源节约型、环境】友好型的美丽社会为！目标；？。。因此工厂《建设中？应做到安全可靠、环！。保节能、《技术先进、经济合理！ —    5  【多晶硅？生产是个较》为复杂的《系统工？程每个主工序的生产！特点均有不》同如：还原过程《的一次转化率低只有！。10％左右大—量三氯氢硅和副【。产物以尾气的形式进！入干法回收》系，统干法？回收应具备》吸纳：不同气量、不同组分！还，原尾气的能力；各】个主工？序之间生《产能力应有》。合理匹配和》综合平衡 ！ 5.1.5  】现行：国家标准多晶—硅企：。业单位？产品能源消耗限【。额GB 《。29447中对【多晶：硅各生产《单元的工艺》电耗、蒸汽消耗、综！合电耗以及综合能耗！分别给出了限—定值：、准入值、先进值的！要求新建《项目至少达到限【额准入值标准本条】规定各生产单—元的蒸汽、电力及】综合能耗不大—于限额准入值—并达到先进》值目的是《节，约资源能源 ！ 5.1.8 】 多晶硅生产过程】伴有氢气、三氯氢硅！、二：氯二氢硅、四—氯化硅、氯化—氢等危？险化学品《对于输送易燃、【易爆、有毒、有【腐，蚀性物料的》设备和管道应—考虑：其使用的安全性防】。止泄漏 《 ，