5  工艺！设，计 】。 5《.1  一般—规定 — ？ 5.1.1 【。 ，三氯：氢硅氢还原法多晶硅！生产：工，艺主要由还原、提】纯、干法回收和【三氯氢硅生产—四大：主工艺系统组成工艺！流程见图1》 — ， 》图1  三氯—。氢硅：氢还原？。生产：工艺：流，程简图 ！    多晶硅【行业：近年来发《展迅速其生产工艺和！。。设备装备《水平较以前》均有大幅度提升【每个主工《艺都有？几，种，工艺方案选》择为提高建设—质量以？及整个行业的—技术水平本条对工】艺流程的设计—和工艺？设备：的选型进行了规定 ！ ：。 ？    《1  多《晶硅工？厂主要？的能：源消耗是《电力和蒸汽由此【。产生：的，。成本超过了多—晶硅成本的一半不】同的产品方案—决定了不同》的精馏提纯流程和】工艺不？同的建设规模和能】源价：格决定了不同的氢】化工艺？不同的建《设规模、能》源价格和投》资资金决定了还原炉！等主要设《备选型？的经济性 —    【 2、3  国【家大力提倡循环经】济发展模式以建设资！源节约型《、环境友好型—的美丽社会为—目标；因此工—。厂建：设中应做《。到安全可靠》、，环保节能、技术先】进、经？济合理 —    — 5  多晶硅生】产是：。个较为复杂》的系统工程每个主】工，。序的：。生产特点均有不同如！还原过程的一次转】化率低只有10％】左右大？量三氯氢硅和副产】物，以，尾气的？形式进入干》法回收？。系统：干，法回收应具备吸纳不！同气量、不同组分还！原尾气的能力；各】个，主工序？之间：生产：能，力应有合理》匹，配和综合平衡 ！ ： 5.1.》5，  现行国》家标：准多晶硅企业单位】产品能源消耗—限额GB 294】47：中对多晶硅》各生产单元的工【艺电耗、蒸汽消【耗、：综合电耗以及综合】能耗分别给》出了限定值、准入】值、先进《值的要求新建项目】至少达？。到限额准入》值标准本《条规定各生产—单元：的，蒸汽、电力及—综合能耗不大于【限额准入值并达【到先进值目的是节】约资源能源 ！ 5.1.8 】 多晶？硅生产过程伴有【氢气、三氯氢硅、】。二氯二？。氢硅、四氯化—。硅、氯化氢等—危险化学品对—于输：。送易燃、易》爆、：有，毒、有腐蚀性—物料：的设备和管道应考】虑其使？用的安全性防止泄】漏 ？