5  【工艺设计 ！ ？ ， 5.1  一般】规定 — 5.1.】1  三氯氢硅【氢还原法多晶硅生产！工艺主要《。由还：原、提？纯、干法回收和【三氯氢硅生》产四大主工艺系统】组成工艺流程—见图1 【 ， — 图1？  三氯氢硅氢还】原生：产工艺流《程简图 》     多！晶硅行业近》年来发？展，迅速其生产》工艺和设备》装备水平较》以前均有大》幅度提？升每个主工艺—都有几种工艺方【案选择为提高—建设质？量，以及：整个行业的技—术水平本条对—工艺流程《的设计和工艺—设备的选《型进行了规定 ！ ？    1  【多晶：硅工厂主要的—能源消耗是电力和】蒸汽由此产生的成本！超过了多晶硅—成本的？一半不同的产品方】案决定了不同的精馏！提纯流程和工—艺不同的建设规模】和能源价格》决定了不同的氢化】工，艺不同的建》设规模、能》源价格和《投资资金决定了还原！炉等主要设》备选型的经济性【    ！。 2、3  国家】大力：提倡循？环经济发展模—式以建设资源节约型！。、环境友好型的【美丽社？会为目标；》。因此工厂建》设中应做到安—全可靠、环保节【。能、技术先》进、经济合理— 》     5  】多，晶硅生产《是个较为复杂的【。系统工程每个主【工序的生产特点【均有：不，。。。同如还原过程的【一次转化率低只有1！0％：左右大？量三氯氢硅和副【产物以？尾气的形《式进入干法》回收：系统干法回收应【具备：吸，纳不同气量》。、不同组分还原尾】。气，的能力；《各个主工《。序之间生产能力【应有合？理匹配和综合—平衡 》 5《.1.？5  现行国家【标准多晶《硅企业单位产—品能源？消耗限额GB 【29447中对多晶！硅各生产单元—的工艺？电耗、蒸汽消耗、】。综合电？耗以及？。综合能耗分别—给，出，了限定？值，、准入值、先进值】的要求？新，。建项目至少达到限额！准入值标准本—条，规定各生产单—元的蒸汽、电—。力及：综合能？耗不：大于限额准入—值并达到先进值目】的是节约《资源能源 — 5.1.8！  多晶硅生产过程！伴有氢气、三氯氢硅！、二氯二氢硅、四氯！化硅、？氯化氢等危》险化：学，品对于输送易燃【、易爆、有毒—、有腐蚀性物料的】设备和管《道应考虑其使用【的安全性防止泄漏】 ：