5》  工艺《设计 — 》 5.1  一般规！定 】 ，5，.1.1  三【氯氢硅氢《还原法？多晶硅生产工—。艺，主要由还原、提【纯、干法回收和三】。氯氢硅生产四—大，主工艺系《统组成工艺流程【见图1 — 】。 图：1  三氯氢—硅氢还原生产工艺流！程简图 》    【 多晶硅行业近年】来发展迅速》。其生：产工艺和设》备装备水平较—以前均有大幅度【提升每个《主工艺都有几种【工艺方？案选择为提高建设】质量以及《整个行？业的：技术水平本条对【工艺流程的设计和】工艺设备的》选型进行了规定 ！     1！  多晶《。硅，工厂主？要的：能源消耗是电—力和蒸汽由此产生的！成本超过了多晶硅成！本的一半不同—的产品方案决—定了：不同：的精馏提纯流程和工！艺不同的建》设规模和《能源价格决定了不同！的氢化工艺不同的建！设规模？、能源价《格和投资资》金决定了《。还原炉？等主要？设备：选型：的经济性 ！   ？  2、《3，  ：国家大力提倡—循环经济发展模【式以建设资源节约型！。、环境友好型的【美丽社会为目—标，；因此工厂建设中】应做到安全可—靠、环保节》能、技术先进、【经，济合理 】    《。 5  多晶硅生产！是个较为复杂的系统！工程每个主工序的生！产特：点均有不同如还【原过程的一》次，转化率？低只有10》％左右大《量三氯氢硅和—副产物以尾气的形】式，进入干法回收系统干！法回收应具备—吸纳不同气》量、不同《组分还原《尾气的能《力；各个主》工序之间生》产能力应有合理匹配！和综合平《衡 — 5：.1.5  现行】国家标准《多晶硅企业单位【。产品能源消耗—限额GB 294】47中对多》晶硅各生产单元的】工，艺电耗？。、蒸汽？消，耗、综？合电耗以及综合【能耗分别给》出了限？定值、准《入值、先进》。值的要求新建项【。目至少达到限额准】入值标准本条规定各！。生产：单元的蒸汽、—电力及综《合能耗不大于限额准！入值并达到》先进值目的是节约资！源能源 《 ： 5.1.8 ！ 多晶硅生产过程伴！。有氢气？、三氯？氢硅、二氯二氢硅】、四氯化硅、—氯，。化氢等危险化学品对！于输送易燃》、易爆、有毒—、，有腐蚀？性，物料的设备和管【。道，应考虑其使》用的安全性防止泄】漏 ？