5》  工艺设计— ？ ， 5【.1  一般规定 ！ ： 《。 5.1《.1：  三氯氢硅—。氢还原法多》晶硅生产《工艺主要由还—。原、提纯、》干法回？收和三氯氢硅生产】四大主工《艺系：统组成工艺》流程见图1》 】 《图1 ？ 三氯氢硅氢还【原生产工艺流程【简图 【     》。多晶硅？行业近年来发展迅】速其生产工艺—和，设备装备《水平较？以前：均有大幅度》提升每个主工艺【都有几种工》艺方案选择为提【高建：设质量以及整个行】业的技？。术水平本条对工艺流！程的：设计和工艺》设备的？选，型进：行了规定《。 ？。     【1  ？多晶硅？工厂主要的能—源消耗是电》力和蒸汽由此产【生的成？本超过了多晶硅成】本，的一：半，不同的产品方案决定！了不同？的，精馏提纯流程和【工艺：不同的建设规模和】能，源价格决定了不同的！氢化工艺不》同的建？设规模、能源价【格和投资资》金决定？了还原？炉等主要设》备，选型的？经济性 《   【  2、3  国家！大力提倡循环经济】发展：。模式以建设资—源节约型、环境友好！型的美丽社会为目标！；因此工厂建设中】应，做到安全可靠、【环保节？能、技？术先进、经济—。合理  ！   5  多晶硅！生产是个较为复杂的！系统工？程每个主工序—的生产特点均有不】同如还原《过程：的，一次转化率低只有】10％左右大—。量三氯氢硅和副【产物以尾气的形式进！入干：。法回收系统》干法回收应具备吸纳！不同气量《、不同？组分还？原尾：气的能力；各个【主工：序之间生产》能力应有合理匹【配和综？。。合，平，。。衡 《 5《.1.？5  现行》国家标准多晶硅企】业单位产品能源【消耗限额G》B 2？9447中对—多晶硅各生产单【元的工？艺电耗？、蒸汽消耗、—综，。合电耗以及》综，合，能耗分别《给出了限定值、准入！值、先？进值的要求新建【项目至少达到—限额：准入值标准本—条规定各生产单元】的蒸汽、电力及综】合能耗不大》于限额准《入值：并达到先进值目的是！节约资源能源 【 5—.1.8  多晶硅！生产过？程伴有氢《气、三氯氢硅、二氯！二氢硅、《四氯化硅、氯化【氢，等危险化学品对于】输送易燃、易爆、有！毒、有腐蚀性—物料的设备》和管道？应考虑其使用的安】全性防止泄漏 】