， 5  工艺设！计 《 【5.1  一般规定！ 5！.1.1  三氯氢！硅氢还原法多—。晶硅生？产，工艺主？要由还原、提—纯、：干法回？收和三氯氢硅—生产：四大主工艺系统组成！工艺流程《见图1 《 】 图1  三氯！氢硅氢还原生产工艺！流程简图 【 ？    多》晶硅行？。业近年来《。发展迅？速其生产工艺—和设备？。装备水平较以前【均有大幅度提升每个！主工艺都《有几种？工艺方案选择为【提高建设质量以【及整个行《业的技术水平—本条对工艺流程的】设，。计，和工艺设备》的，选型进行了规—定   ！  1  多晶【硅工厂？主要的能源消—耗是：电力和？蒸汽：。由此产生的成—本超过了《多晶硅？成本的一半不—同的产品方案决定了！不，同的精馏提纯流程和！工艺不同的建设规模！和能源价《。格决定了不》同的氢化工》艺不同的《建，设规模、能源价格】和，投资资金决定—。了，。还原炉等主要设【备选型的经济性【 ，。 ， ？     》2、：。。。3  国家大—力提倡循环》经济发展模式以建】设资源节约型、【环境友好型的美丽社！会为目标《；，因此工厂建》设中应做到》安全可靠、环保节能！、，技术先进、》经，济合理 ！    5 — ，多晶硅生产是个【较为复杂的系统工程！每，。个主：工序：的，生产：特点均有不同如还】原过：程的：一次转化《率低只有1》0％左右大》量三氯氢硅和副【产物以尾气的形式进！入干法回《收系统干法回收应具！备吸纳不同气量、】。不同组分还》原尾气的《能力；各个主工序之！间生产能力应有【合理匹配和》综合平衡《 》 ，5.1.5》 ，。。 现行国家》标准：多晶硅企业单位【产品能？源消耗限额GB 】。29447中对多】晶硅各生《产单元？的工艺电耗、—蒸汽消耗、综合电】耗以及综合能—耗，分别给出了限—。定值、准入值、先进！值的：要求：新，建，项，目至少达到限—额准入值标》准本条？规定各生产单元的蒸！汽、电？力及综合《能耗不大于限额【准入值并达到先【。进值目的是节—约资源能源 【 ， ： 5.1.8  多！晶硅：生产过程伴有氢气】、三氯？氢，硅、二氯《二，氢硅、四《氯化硅、氯化—氢等危险化学品对于！输送易燃、》易爆：、有毒、有腐—蚀性物料的设备和管！道应考？虑其使用的》安全性防止泄漏 】 ，