5  工艺！设计 】 5.—1  一般规定 ！ 5.】1.1  三氯氢】硅氢还原法多晶硅生！产，工，。艺主要由《还原、？提，纯、干法《回，收和三？氯氢硅生产四大主工！艺系统组《成，工艺流程见》图1 ？ 《 图】1  三氯氢硅氢】还原生？产工艺流程简—图 《 ？    多晶硅行】业近：年来发展迅》速其：生产工艺和设—备装：备，水平较以前均有大】幅度提升每个主【工艺：都，有几种工艺》方案选择为》。提高建设质量以及】整个行？业的技术水平—本条对工艺流程【的设计和工艺设备】的选：型，进行了规定 ！   《  1  多晶硅】工厂主要的》能源消耗是》电力和蒸汽由此产】生的成本《。超过了多晶硅成本】的一半不同的—产品：方案决定《了不同的精》馏提纯？流程和工艺不同的】建设规模《和能：源价格决定了不【同的氢化工艺不同的！建设：规模：、能源价格和—投资资金决定了【还原：炉等主要设》备选型的经济性 ！ ：     —2、3  》国，家大力提倡》循环经济发展模【式以：建设：资源节约型、环境友！好型的美丽社会为】目标；因此工厂【建设中应做到—。安全可靠《、环保节能、技【术先进、经济合理】    ！ 5  多晶—硅生产是个较为复杂！的，系统工程每个主工序！的生产特点均有【不同如还原过程的一！次转化率低只有1】0％左右《。大量三氯氢硅和副】。产物以尾气的形式】进入干？法回收系统干法【回收应具备》。吸纳不同气量—、不同组分》还原尾气的能力；】各个主工序》之间生产能力—。应有合理《匹，配和综？合平衡？。 5【.1.5  —现行国家标准—多晶硅企《业单位产《品能源消《耗限额GB 2【9，447？中对多晶《硅各生产单元的工艺！电耗、蒸汽》消耗、综合电—耗以及综合能—耗分别给出了限【定值、准入》值、先进值的要求新！建项：目至少？达到限额准入—值，标，准本条规定各—生产单元《的蒸汽、电力及综合！能耗不大于限额准】入值并？达到：先进值目的》是节约资《。源能源 — ？5.1.8  多】晶，硅生产过程伴有氢】气、三氯《氢硅、二《氯二氢硅、》四氯化硅《、氯化氢等》危险化学品》对于：输送易燃、易—爆、有毒、有—。腐蚀：性物料的设备和管】道应考虑其使用的安！全性防止泄》漏 ？