5  工艺！设计 ！ 5《.1 ？ 一般规定 ！ 《5.：1.1  》三氯氢硅《氢还原法多晶硅生产！工艺主要《由还原、提纯—、，干法回收《和三氯氢硅》生产四大《主工艺系《统组成工艺流程【见图1 】 ：。 ？ 图1  —三氯氢硅《氢还：原生产工艺流程简】图 《 ，    》 多晶硅行业—。近，年来发展迅速其生】产工艺和设备装备水！平较以前《。均有大幅度提升每个！。主工艺都《有几种工艺方案选】择为提高建》。。设质量以及整个行】业的技术水》。平本条？对工艺流《程的设计和工—。艺设备的选型进【行了规定《 ，     ！1，  多晶硅工—厂主：。。要，。的，能源消耗是电力和蒸！汽由此产生的成【本超过了多晶硅成本！的一：半不同的产品方【案决：定了不同的精馏提纯！流程和工《艺不同的建》设规模？和能：。源价格决定了不【同的氢化工艺不同的！建设：规模、能源价格和】投资资金决定了还原！炉等：主要设备选》型的经济性 ！   《  2、3》  国家大力提倡】循环经济发》。展模式以建设资源节！约型、环境友好【型的美丽社会为目】标；因此工厂建设】中应做到安全可靠】。、环：保节能、技术先【进、经济《合，理 ？     】5 ： 多：。晶硅生产是》个较：为复杂的系》统工程每《个，主，工序：的，生产特点《均有不？同，如还原过程的一【次转化率低只—有，10％左右大—量三氯氢《硅和副产物以尾气】的形式进《入干：法回收系统干法回】收应具备《吸，纳不同气量》、不同组分还—原尾气？。的能：力；：各个主工序之间生】产能力应有合理匹配！。和综合平衡 —。 《 5.1《.，5  现行国家标准！多晶硅企《业单位？产品能源消耗限额G！B 2944—7中对多晶》硅各生？产单元的《工艺电耗、蒸汽【消耗：、综合电耗》以及综合能耗—分别给出了限定【值、准入值、—先进值的《要求新建《项目至少达到限额准！入值标？准本条规定各—生产单？元的蒸汽、电力【及综合能耗不大于限！。额，准入值并达到先进】值目的是节约资源能！源 ？ 《5.1？.8  《多晶硅生产过程【伴有：氢气、三氯氢硅【、二氯二《氢硅、四《氯化硅、《。氯化氢？等，危险化学品对于输】送易燃、易爆、【有，毒、有腐蚀性物料】。的设备和《管道应考虑其—使用的安《全，性防止泄漏》 ：