5  【工，艺设计 【 5.】1  一般规定 ！ ？ 5.1.1 ！ 三氯氢硅氢还原】法多晶硅生产—工艺：。主要由还原、提纯】、干法？回，。收和三氯氢硅生产四！大主工艺系统组成】。工艺流程见》图1 》 ！图1  三》氯，氢，硅氢还原生》。产工艺流程简—图 ： ： ？  ：  ：多晶硅行业近—年来发展《。。。迅速其？生产工？艺，和设备？装备水平较以—前均有大幅度提升每！个主工艺《都有几种工艺方案选！。。择为提高建设质量】以及整个行业—的技术水平本—条对工艺流》程的设？计和工艺设备的【选型进行了规定【 《 ：    1  多晶！硅工厂主要的—能源：消耗是电力和蒸汽由！此产生的成本超【过了多晶硅成—本的一半不》同的：。产品方案决定了【不，同的精馏提纯流程和！。。工艺不同的建设规模！和能源价《格决定了不同—的氢化？工艺：不同的？建设规模、能—源价格和投资资【金决：定了还原炉》等主要设备选型的经！济性 【     2—、3  国家—大力提倡循环经济】发展模式以建设资】源节约型、》环境友好型的美丽社！会为目标；因此工厂！建设中应做到安全】可，靠、环？。保节能？、技术？先进、经济合—。理 —   ？ ， 5  多晶硅生】。产是个较为复杂【的系统工程每—个主工序的生—。产特点均有不—同如还？原过程的一》次，转化率低只》有，10％左《右大量三氯氢硅【和副产物以尾气的形！式进入干法回收系统！干法回收应具备吸纳！不同气量、不同组】分还原尾《气，的能：力；：各个主工序之间生产！能力：应有合理匹配和综】合平衡 》 ？ 5：。.1.5 》 现：。行国家？。标准多晶硅企业【单位产品能源消耗限！。。额GB 29447！中对多晶硅各生【产单：元的：工艺电？耗、蒸汽消耗、【综合电？耗以及综合能耗分别！给出了限定值、准入！值、先？进值的要《求新建？项目至少达到—限，额，准入：值标准本条规定各】生产单元的》蒸，汽、电力及》综合能耗不大于【限，额准入值并达—到先进？值目：的是节约资源能源 ！ 5.1】.8  多》晶硅生产过程伴有】氢气、？三氯氢硅、二氯二氢！。硅、四氯化硅、氯化！氢等危险化学品对于！输送易燃、易爆、有！毒、有腐蚀性物【料的设备和管道应考！。虑其使用的安全性】防，止泄漏 》