， 5  —工艺设计 — — 5.《1，  一般规定 ！ 5.1】.1  三》氯氢硅氢《还原法？多晶：硅生产工艺主—要，由还原、提纯、干法！回，收和三？氯氢硅？生产四大主》工艺系统组成工艺】流程见图1 ！ 《 图1 【 三氯氢硅氢还原】生产工艺流程—简图  ！ ，  多晶硅行业【近年来发展迅速【其生产工艺》和设：备装备水平较以前均！有大幅度提升每个】主工艺都《有几种工艺》方案选？择为：提高建？设质量以及》整个行业的技—术水平？本条对工艺流程的设！计，和工艺设备的选型】进行了规定 【  》。   1  多【晶硅工厂《主要的能源消耗是】电，力和蒸汽由此—产生的成《。本，超过了多晶硅—成本的一半不同的】产品方案决定了不】同的精馏提纯流程和！工艺不同的》建设规模和能源价格！决定：了，不同的氢化工艺不同！的，建设规？模、能源《价，格和投资资金—决定了还原》炉等主要设备选型】。的经济性 【     2】、3  《。国家大？力提倡循环经济发展！。模，式以建设资源节约】型、环境《友好：型的美丽社会为目】标；因此《工厂建设中应—做到安全《可靠、环保节能、】技术先？进、经济合理 】 《    《5  多《晶硅生产是个较为复！杂的系统工程每【。个主工序的生产【特，点均有不同如—还原过？程，的一次转化率低只】。有10％左右大量三！氯氢硅和副产物以尾！气，的形式进入干法回】收系统干法回—收应具备吸》纳，不同气？量、不同组分还原尾！气的能力；各个【主工序之间生产【能力应有合理—匹配和综《合平衡 ！5.：1.5  》现行国家标》准多晶硅企业单位】产品能源消耗—限额GB 294】47中对多晶硅各】。生产单元《的工艺电耗、—蒸汽消耗、综合电】。耗以及？综合：能耗：分别：给出了限定值、【。。准入值、《先进值？的要求新建项目至少！达到：限额准入值标准【本条规定各生产单】元的：蒸，汽、电力《及综合能耗》不大于限额准入【值并达到先进—值目：的是：。节约资源能》源 》 ， 5.1《.8  多》晶硅生产过程伴有氢！气、：三氯氢硅、二氯二】氢硅、四氯》化硅、氯化》。氢等危险化》学，品对于输送易燃、】易，爆、有毒、有腐【蚀性物料的设备和管！道应考虑其使用【的安全性防止—。泄漏 《