5  【工艺设计 —。 》 5.1 【 一般规定 — 《 ？5.1.1  三氯！氢硅氢还《原法多晶硅》生产工艺主要由还原！、提纯、干法回【收和三氯《氢硅：生产四大主工艺【系统组？成工：艺流程见图1— 】 ， 图1 — 三氯？氢硅：氢还原生产工艺流】程简：图 《 ，。。 ，  ：  ： ，多晶硅行《业近：年来发展《迅速其？生产工？艺和设备装备—水平较以《。前均有大幅度—提，升每个主工艺都有几！种，工艺方案选择为提高！建设质量以及整【个行业的技术—水平本条《对工：艺流程的设计和工艺！设备的选型进—行了规定 【     【1，  多？晶硅工厂主要的能】源消耗是电力—和蒸汽由《此产：生的：成本：超过了多晶硅成本】的一：半不同？的产品方案决—定了不同的精—馏提纯流程和工艺不！。同的：。建设规模和能源价格！。决定了？。。不，同的：氢化工艺不同的【建设：规模、能源价格【和投资资金》决定了还原炉—等主要设备选型的】经济：性 —     》2、3？  国？家大力提倡循环经济！发展模式以建—设资源节约型、【环境友好型的美丽】社会为？目标：；因此工厂建设中】应做到安全可靠【、环保节能、技术】先进、经济合—理 》  ？   5  多【晶硅生产是个—较，为，复杂的系统工程每个！主工序的生》产特点？均有不同如还—。原，过程的一次》转化率低只有10％！左，右大量三氯》氢硅和副产物以【尾气的形式进—入干法回收系统干法！。回收应具备吸—纳，不同：气量、不同》。组分还原尾气—的能力？；，各个主工序之—间，生产：能力：应有合？理匹配和综》合，平衡 5！.1.5  现行国！家标准多晶硅企业】单位产品《能源消耗限额G【B ：。2，9447中对多【晶硅各？生产单元的工艺电】。耗、蒸汽消耗、综】合电耗以及综—合能耗分别给出了】限定值、《准，入值、先进值的【要求新建项目至少】。达到限额《。准，入值标准本》条规定各《生产单元的蒸汽、】电力及综合能耗不】大于限额准入值并达！到，先进值？目的是节约资源能】源 5】。.1.8  多【晶硅：生产过程伴》有氢气、三氯氢硅、！二氯：二氢：硅、四氯化硅、氯】化氢等危险》化学品对于输送易燃！、易爆、有》毒、：有腐：蚀性物料的设—备和管道应》考虑其使《用的安全性防止【泄漏 《