5  工艺！。设计 ？ 【 5.1  【一般规定 】 5.—1.1  三氯【氢硅氢还原法多晶硅！生产工艺主要由还】原、提纯、干法【回收和三氯氢硅生】产四大主工艺系【统组成工《艺流程？见图1 ！ —图1  三》氯氢硅氢还原生【产工艺流程简—图，   】  多晶硅行—业近年来发》展迅速其生产工艺】和设备装备水平较】以前均？有大幅度提升每个】主工艺都有》几种工艺《方案：选择为提《高建设质量》以及整个行业的技】术水平本条对—工艺流程的设—计和工艺《设备的选型进行【了规定 《 ？。   《  1？  ：多晶硅工厂主要的】能源：消耗是电力和蒸【汽由此产生的成本超！过了多晶硅成本的一！半不同的产品方案】决，定了不同《的，精馏提纯流》程和工艺不同的【。建设规？模和能源价格决【定了不同的氢化工】艺不同的建设规模、！能源价格和》投资资金决定了【还原：炉等主要设》备选型的经》济性： ：     】2、3  国家大】力提倡循环经—济发展模《式以建设资源节约型！。、环境友《好型的美丽》社会为目标；—因此工厂建》设中应做《到安全可靠、—环保节能、》技，术先进？、经济合理 ！     —5 ： 多晶硅生产是个】较为：。复，杂的系统工》程每个？主工序的生产—特点均有不同如还】原过程的一》次转化率低只有1】0％左？右大：量三氯氢硅和副【产物以尾气的—形式进入干法—。回收系统干法回收应！具，备吸纳？不同气？量、：不同组？分还原尾气的能【。。力；各个《主工序之间生产能】。力应：有合理匹配和综【合，平衡 】5.1.5》  ：现行国家标准—多晶硅企业单位产品！能源：消耗限额GB— 2：94：47中对多晶硅各】。生产单元的》工艺电耗、蒸—汽，消耗、综《合电耗以及综合【能耗分别给出了限】。定值、准入》值、：先，进值的要求》新建：。项目至少《达到限额准》。。。入值标准本》条规定各生》产单元的蒸汽—、电力及综合能【耗不大于限额—准入值并达》到先进值目的—是节约资源》能源 5！.1.8  —多晶硅生产过程伴】有氢：气、三氯氢硅、二氯！。二氢硅、四》氯，化硅、氯化氢等危】。险化学品对于输送】易燃、易爆、—有毒、有腐蚀性【。。物料的设备和—管道应考虑》。其使：用的：安全：性防：止泄漏？ ：