： 5.6 — 硅芯？制备及多晶》硅产品后处理 ！ ： ？5.6.1》  硅芯制备工艺可！采用：区熔：法拉制和切割法工】艺路线选择应根【据硅芯生产规模、能！源价格等情况经技】术经济？分析比较后确定【 ， 5—.6.2  采用区！熔，法拉制硅芯应设【置电磁屏蔽 —。 》5.6？.3  《硅芯制备的房间【。。应，设置在洁净》区，内 ？。 5.—6.4  多晶硅】后处理应包》括产品？运输、破碎、分【。拣、包装、腐蚀清】洗等工序其》。中运输、破碎—、分拣、包装工序应！符合：下列规定 》   【  1  硅棒破】碎系：统的位？置应：根据：运，输硅棒路径》、中间仓库位置及厂！房工：艺布置确定并应靠近！还原车间；》  【   2 》 硅棒运《输车内衬板宜采用】。耐磨、不吸尘—的非金属材料—； 《     3 ！ ，硅棒破碎方》式，应根据生产规模【、物料性能和产品】粒度确定可采用人】工破：碎或：机械破碎； — ？     —。4  破碎工具与产！品接触部分应选用硬！度大：和强度高的材料；】   】  5？  破碎系统应设】置，除尘装置《； —     》6  破碎粒—度应符合现行国家】标准硅多晶GB／T！ 129《63和？太阳能级多晶硅【。GB／T 2507！4有：关块状多晶硅的尺】寸范围要求；— —   ？ ，7  破碎、—分拣、？包装应？设置在洁净区内 ！ ？ 5.？6.5  腐蚀清】洗工序？应符合下列》规定 【     》1 ：。 ，腐蚀清？洗应设置在洁净【区内；？ 《   《  2  腐蚀清洗！室内应设置》单独的物料进出口并！应与人员出入口分开！； ？     】3  供《酸室应与腐蚀—清洗室分《开布置？供酸：室应布？置在便？于酸桶运输的地方】并应采取防护措【施，；   ！  4  》腐，蚀，清洗设？备内酸腐蚀部—位应：设置：强，制排风废气应处理达！。标后再排放； 【    】 5  输》送强酸的《管道应采《用双：层，套管外？层宜采用透》明聚氯乙烯(P【VC)管《 ：