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5.6【  硅芯制备及多晶!硅产:品后:处理: ?。。。。 5.6】.1  硅》芯制备?工艺可采《用区熔法拉制和切割!法工艺路线选择应根!据,硅芯生产规模、能】源价格等情况经【技术经?济分析?比较后确定》 》 5.?6,。。.2  采用区熔法!。拉制硅芯应设置电】磁屏:蔽 》 5.6.3【  :硅,芯制备?的房:间应设置在洁—净区内? 》 5.?6.4  多晶硅】后处理应包括—产品运输、破碎、分!拣、包装、腐蚀清洗!等工:序其:。中运输、破》碎、分拣、包装工序!应符合下列规定【 : ?     》1  ?硅,棒破碎?系统的位置应根据】运,输,硅棒:。路径、中间仓库位置!及,厂房工艺布置确【定并应?靠近还原车间;【 , :   》  2  硅—棒运输车内》衬板宜采《用,。耐磨、不《吸尘的非金属材料;! —   ? 3  硅棒破碎方!式应根据生产规模】。、物料性《。能,和产品粒度确定可采!用,人,工破碎或机械破碎】。。; 《  《  : 4 ? 破:碎工具与产品接触部!分应选用《硬,度大和强度高—的材料;《。  【   5  破碎系!统应:设置:除尘装置; 】 :     》6  破碎粒度应】符,合现行国家标准【硅多晶G《B,/T ?1,2963和太—阳能级多晶硅GB】。/T 25074】有,关块状多晶》硅的尺?寸范:围要求; 》 :。 :     7 【 破碎、分拣、【包装应设置》在洁净区内》 《 5.6.—5  腐《蚀清洗工序应符【合下:列规定 《    】 1  腐蚀清洗应!设,置在洁净区内; 】  —   2  腐蚀清!洗室内应设置单独的!物料进?出口并应与人员出入!口分开?;  】  : 3  供酸—。室应与?腐蚀清?洗室分开布》置供酸室应布置在】便于酸桶运输的【地方并应采》取防护措《。施,; 》   《  4  腐蚀【清洗设?备内酸腐蚀》部位:应设置强制排风【废气应处理达—标后再排放》;  】  :。 ,5  输送强—酸的:管道应采用双层套管!外层宜?采用:透,明聚:氯乙烯(PVC【)管 ? ,