5.6【 硅芯制备—及多晶硅《产品后处理
—
:
:
:
5.?6.1 》硅芯制备工》艺可采用区熔—法拉:制和切割法工艺路】线选择应根据—硅芯生产规模、能源!价格等?情况经?技术经济分》析比较后《确定
—
5?.6.2《 采用区熔—法拉制硅芯》应设置电磁屏蔽
】
5—.6.3 硅芯制!备的房间应设置在】洁净区内
—
5.—6.4 多晶硅后!处理应包括产品【运,输、破碎、分—拣、:包装:、腐蚀清洗等工【序其中运输、破碎】。、分拣、包装工序应!符合下列规定
【
:
【1 硅棒》破碎系统的》位,置应根据《运输硅棒《路径、?中间仓库《位置及厂房工艺布置!确定并应《靠近还原《车间;
【
2 】 硅棒?。运输车内衬板宜采】用耐磨、不吸尘的】非金属材料;—
:
?
3— 硅棒破碎方式】应根据生产规—模、物料性能和产】品,粒度:确定可采《用人工破碎或机【械破碎;
—
《 4》 破碎工》具与产品接触部分应!。选用硬度大和—。。强度高的材料—;
:
》 5》 :破碎系统应设置【除尘装置;》
?
? 6 【破碎粒度应符合现】行国:家标准硅多晶GB/!T 12963和太!阳能级多《晶硅GB/T— 250《74有关块状—多晶硅的尺寸范围要!求;
! 7 —破碎、分拣、包装应!设,置在洁净区内
!
5.6—.5 腐蚀清洗】工序应符《合下列规定
!
1 】 腐蚀清洗应设置】在洁净区内;
】
【 2 腐蚀清洗室!内应设置单独的物】料进:出口并应《与人员出入口分【开;
【
《 ,。3 供酸》室应与腐蚀清洗室】分开布置供》酸室应布置》在便于酸桶》运输的地方并应【采取防护措》施,;
! 4 》腐蚀清洗《设备内酸腐蚀部【位,应设置?强制排风废气—。应处理达标》后再排放;
】
《 : 5 输送—强酸的管《道应采用双》层套管外层宜采用透!明,聚氯:。乙烯(PVC)【管
?