5.—6  硅芯制备及多！晶硅产品后》处理： 】5.6.1 —。 硅芯制备工—艺可采？用区熔法《。拉制：和切割法工》艺路线选《择应根据硅》。芯生产规模、—能源价格等》情况经技术经—济分析比较后确定】 ， ： ？5.6.2  采】用区：熔法：拉制硅芯应》。设置电磁屏蔽 【 ， ，。 5.6.3】 ， 硅芯制备》的房间应《设置在洁净区—内 ？ 5》.6.4《  多晶硅后处理应！包括产品运输—、，破，。碎，、分拣、包装、腐蚀！清洗等工序》其中：运输、破碎、分【拣、包装工序—应符合下列规定 】 》   ？ 1  《硅棒破碎《系统的位置》应根据运输硅—。棒路径、中》。间仓库位置及厂房工！艺布置确定并应靠】近还：原车：间；  ！   ？2  ？硅棒运输车内衬板宜！。采用耐？磨、不？。吸尘：的非金属材料； 】 》。  ：  3  硅棒破】。碎方式？应根据生产规模、物！料性能和产品粒度】。确定可采《用人工？破碎或机械》破碎； 《   【。  4  破碎工具！。与产：品接触部分应选用硬！度大和强《。度高的材料； 【    】 5  破碎系统应！。设置除尘装置；【 》     6— ， 破碎？粒度应？符合现行国家标准】硅多晶？GB／T 》12963和太阳能！级多晶？硅GB？／T 25074】有关块状多晶硅的尺！寸范：。。围要求； 】     7 】 破碎、分拣、包】装应设置《在洁净区内 】 5.6—.5  腐蚀清洗】工，序应符？。。合下列规定 【    【 1  腐蚀清【洗，应设置？在洁净区内； 【 ：     2】  腐？蚀清洗室内应—设置单独的物—料，进出口并应》与，人员出入口分开； ！   【  3  供酸【室应与腐蚀》清，洗室分？开布置供酸室应【布置在？便于酸桶运输的地方！并应采取防护措施；！。。 》     4  】腐蚀清洗设备内酸】腐蚀部位应设置【。。强制排？风废气应处理达【标后再排放》； 【 ， ，  5  输送强酸！。的管道应采用—双层套？管外层宜采用透【明聚氯？乙，烯(PVC)管【 ：