5.6【  硅芯制备及多晶！硅产：品后：处理： ？。。。。 5.6】.1  硅》芯制备？工艺可采《用区熔法拉制和切割！法工艺路线选择应根！据，硅芯生产规模、能】源价格等情况经【技术经？济分析？比较后确定》 》 5.？6，。。.2  采用区熔法！。拉制硅芯应设置电】磁屏：蔽 》 5.6.3【  ：硅，芯制备？的房：间应设置在洁—净区内？ 》 5.？6.4  多晶硅】后处理应包括—产品运输、破碎、分！拣、包装、腐蚀清洗！等工：序其：。中运输、破》碎、分拣、包装工序！应符合下列规定【 ： ？     》1  ？硅，棒破碎？系统的位置应根据】运，输，硅棒：。路径、中间仓库位置！及，厂房工艺布置确【定并应？靠近还原车间；【 ， ：   》  2  硅—棒运输车内》衬板宜采《用，。耐磨、不《吸尘的非金属材料；！ —   ？ 3  硅棒破碎方！式应根据生产规模】。、物料性《。能，和产品粒度确定可采！用，人，工破碎或机械破碎】。。； 《  《  ： 4 ？ 破：碎工具与产品接触部！分应选用《硬，度大和强度高—的材料；《。  【   5  破碎系！统应：设置：除尘装置； 】 ：     》6  破碎粒度应】符，合现行国家标准【硅多晶G《B，／T ？1，2963和太—阳能级多晶硅GB】。／T 25074】有，关块状多晶》硅的尺？寸范：围要求； 》 ：。 ：     7 【 破碎、分拣、【包装应设置》在洁净区内》 《 5.6.—5  腐《蚀清洗工序应符【合下：列规定 《    】 1  腐蚀清洗应！设，置在洁净区内； 】  —   2  腐蚀清！洗室内应设置单独的！物料进？出口并应与人员出入！口分开？；  】  ： 3  供酸—。室应与？腐蚀清？洗室分开布》置供酸室应布置在】便于酸桶运输的【地方并应采》取防护措《。施，； 》   《  4  腐蚀【清洗设？备内酸腐蚀》部位：应设置强制排风【废气应处理达—标后再排放》；  】  ：。 ，5  输送强—酸的：管道应采用双层套管！外层宜？采用：透，明聚：氯乙烯(PVC【)管 ？ ，