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5》.6:  硅芯制备—及多晶硅产品后处理! — 5.《6.1  硅芯【制备工艺可采用区熔!法拉制和切割法工】。艺路线?选,择应根据《硅芯:生产:。规模、能源》价格等情况经—技术经?济分析比较后确定 ! ? 5.6.2 】。 采用区熔法拉制】硅芯应设置电—磁,屏蔽 — 5.6》.3  硅芯—制备的?房间应设置在洁净区!内 【。5.6?.4  多晶硅【后处理应包括产【品运输、破碎、分】拣、包装、腐蚀清】洗等:工,序其中运输、破碎、!分,拣、包装工》序应符?合下列规《定 》     1【  :硅棒破碎系统—的位置应根据运输】硅棒路径、》中间:仓库位置及厂房【工艺布?置,确定并应靠近还【原,车间; 】  :   2 》 硅棒运输车内【衬,板宜:采用耐磨、》。不吸尘的非》。金,属材料;《 《 :    3 — 硅棒?破碎:方式应根据生产规模!、,物料:性能和产品粒—度确定可《。采用人工《破碎或?机械破碎; !     4【  破碎工具与【产品接触部分—。应选用硬度大和【强度:。高的材料; —     !5  破碎系—统应设置除尘装【置; ?   【  6  破碎粒】。度应:符合现行国家标准】硅多晶G《B/T 12—963和太阳能【级,多晶硅GB/—T 25074有】关块状多晶硅的尺】寸范围要《求; ?     !7  破《碎、分拣《、包装应《设,。置在洁?净区:内 《 5.6.【5  腐《蚀清洗工《序应符?合下列规定 】  《   1  腐蚀】清洗:。应设置在洁净—区内; 】  :  : 2:  腐?蚀清洗室内》应设置单独》的物料进出口并应】与人员出入口—分开; 【 ,     3  供!酸室应与腐蚀清洗】室分开布置供—酸室应?布置:在便于酸桶》运,输的地方并》应采取防《护措施; —。  》   4《  腐?蚀清洗设备内酸腐】蚀部位?应,设置强制排风废【气应处?理达:标后再排《放; 】  :  5  》输,送强酸的管道—应,。采用双层套管外层】宜采用透明》聚氯:乙烯(PVC)【管 ?