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5》.6  硅芯制【备及:多,晶硅产品后》处理 【 5《.6.1 》 ,硅芯制备工艺可【采用区熔法拉制【和切割法工艺路【线选择应根据硅芯】生产规模、能源价格!等情况经技术—经济分析比较后确】定 《 5.6.2】  采用区熔法拉制!硅,芯应设置电磁屏蔽】。 —5.6.3》  硅芯制》备的房间应设置在洁!净区内 》 5.6【.4  多》晶硅后处理应包括】产品运输、》破碎、分拣、包装】、腐:蚀清洗等工序其中运!输、破碎、分拣、】包装工序应符合【下,列规定?    ! 1  硅》棒破碎系统的位【置应根据运输硅棒路!径、中间仓库位【置及厂房工》艺布置确定并应靠近!还原车间《;,。 : 《    2  【硅,棒运输?车内衬板宜采—用耐磨?、不吸尘的》。非金属材料; 【 》    3》 , 硅棒破碎方式【应根据生产规模、物!料性:能,和产品粒度确定可】采用人工破》碎或机械破碎; !。     】4  破碎工具【。与产品接触部分应选!用硬度?大和强度《高的材料; ! :。    5》 , 破碎系统应设置】除尘装置《; 《 ,。   《  6  》破碎粒度应》符合现行国》家标:准硅多晶GB—/T ?12963和太【阳能级多《晶硅G?。B/T 25074!有关块状《多晶硅的《尺,寸范围要求; ! ,。  ?   7  破【碎、分拣、包装【应设:。置,在洁净区《内 ?。 : 5.《6.5  腐蚀【清洗工序应符合【下列:规定 】  :  1  腐—蚀清洗?应设置在洁净区内;! 《     2【 , 腐蚀?清洗室?内应设置单》。独的物料《进出口并应与人员出!入口分开; 【  》   ?3 : 供酸室应与—腐蚀清洗《室,分开布?置供酸?室应:布置在便于》酸桶运输《。的地方并应采取防护!措施; — ,  ?   4  —腐蚀清洗设备—内酸腐蚀部位应【设,置强:制排风废气应处理】达标后再排放; 】     !5  输送强酸【的管:道应:采用双?层套管?外层宜采用透明【聚氯乙烯(PVC)!管 ?