5》.6 硅芯制【备及:多,晶硅产品后》处理
【
5《.6.1 》 ,硅芯制备工艺可【采用区熔法拉制【和切割法工艺路【线选择应根据硅芯】生产规模、能源价格!等情况经技术—经济分析比较后确】定
《
5.6.2】 采用区熔法拉制!硅,芯应设置电磁屏蔽】。
—5.6.3》 硅芯制》备的房间应设置在洁!净区内
》
5.6【.4 多》晶硅后处理应包括】产品运输、》破碎、分拣、包装】、腐:蚀清洗等工序其中运!输、破碎、分拣、】包装工序应符合【下,列规定?
! 1 硅》棒破碎系统的位【置应根据运输硅棒路!径、中间仓库位【置及厂房工》艺布置确定并应靠近!还原车间《;,。
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《 2 【硅,棒运输?车内衬板宜采—用耐磨?、不吸尘的》。非金属材料;
【
》 3》 , 硅棒破碎方式【应根据生产规模、物!料性:能,和产品粒度确定可】采用人工破》碎或机械破碎;
!。
】4 破碎工具【。与产品接触部分应选!用硬度?大和强度《高的材料;
!
:。 5》 , 破碎系统应设置】除尘装置《;
《
,。
《 6 》破碎粒度应》符合现行国》家标:准硅多晶GB—/T ?12963和太【阳能级多《晶硅G?。B/T 25074!有关块状《多晶硅的《尺,寸范围要求;
!
,。
? 7 破【碎、分拣、包装【应设:。置,在洁净区《内
?。
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5.《6.5 腐蚀【清洗工序应符合【下列:规定
】 : 1 腐—蚀清洗?应设置在洁净区内;!
《
2【 , 腐蚀?清洗室?内应设置单》。独的物料《进出口并应与人员出!入口分开;
【
》 ?3 : 供酸室应与—腐蚀清洗《室,分开布?置供酸?室应:布置在便于》酸桶运输《。的地方并应采取防护!措施;
—
,
? 4 —腐蚀清洗设备—内酸腐蚀部位应【设,置强:制排风废气应处理】达标后再排放;
】
!5 输送强酸【的管:道应:采用双?层套管?外层宜采用透明【聚氯乙烯(PVC)!管
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