5》.6: 硅芯制备—及多晶硅产品后处理!
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5.《6.1 硅芯【制备工艺可采用区熔!法拉制和切割法工】。艺路线?选,择应根据《硅芯:生产:。规模、能源》价格等情况经—技术经?济分析比较后确定
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5.6.2 】。 采用区熔法拉制】硅芯应设置电—磁,屏蔽
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5.6》.3 硅芯—制备的?房间应设置在洁净区!内
【。5.6?.4 多晶硅【后处理应包括产【品运输、破碎、分】拣、包装、腐蚀清】洗等:工,序其中运输、破碎、!分,拣、包装工》序应符?合下列规《定
》
1【 :硅棒破碎系统—的位置应根据运输】硅棒路径、》中间:仓库位置及厂房【工艺布?置,确定并应靠近还【原,车间;
】
: 2 》 硅棒运输车内【衬,板宜:采用耐磨、》。不吸尘的非》。金,属材料;《
《
: 3 — 硅棒?破碎:方式应根据生产规模!、,物料:性能和产品粒—度确定可《。采用人工《破碎或?机械破碎;
!
4【 破碎工具与【产品接触部分—。应选用硬度大和【强度:。高的材料;
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!5 破碎系—统应设置除尘装【置;
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【 6 破碎粒】。度应:符合现行国家标准】硅多晶G《B/T 12—963和太阳能【级,多晶硅GB/—T 25074有】关块状多晶硅的尺】寸范围要《求;
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!7 破《碎、分拣《、包装应《设,。置在洁?净区:内
《
5.6.【5 腐《蚀清洗工《序应符?合下列规定
】
《 1 腐蚀】清洗:。应设置在洁净—区内;
】
: : 2: 腐?蚀清洗室内》应设置单独》的物料进出口并应】与人员出入口—分开;
【
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3 供!酸室应与腐蚀清洗】室分开布置供—酸室应?布置:在便于酸桶》运,输的地方并》应采取防《护措施;
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》 4《 腐?蚀清洗设备内酸腐】蚀部位?应,设置强制排风废【气应处?理达:标后再排《放;
】 : 5 》输,送强酸的管道—应,。采用双层套管外层】宜采用透明》聚氯:乙烯(PVC)【管
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