： 5.5  还原！尾气干？法回收 】 5.5.1 ！ 还：原，尾气干法回收设计范！围应包括气体压缩、！氯硅烷？深冷分？离、氢气吸附—以及再生后气处理】等单元 — ： 5.5.2 【 还原尾气除尘工】序宜在前端增—加过滤？器或采用其他解决尾！气中无定形硅—。的技术 】 5.5.3  氯！硅烷分离工序宜采用！高压：深冷方式回》收氯硅烷并宜采【用高压低温吸收、低！压高：温解析方式回收【氯化氢 — ？5，.5.4  还原】尾气干法回收—。工序布置宜符合下】列，规定 ？  —   ？。1 ： 宜临近还原车【间布：置； 【  ：   ？2 ： 还原尾气》干法回收工序—的气：。体，压，。缩系统、《氯硅烷深冷分离、】吸附提纯氢系统【宜独立设置于敞【开或半敞《。开式的构筑物—内制冷系统》宜布置于密闭建【筑物内？；附属辅助系—统宜在满足防火【间距的基础上—毗连布置 —。 5》.5.5  还原尾！气干法？回收：工序的主要设备选型！应符合下列规—定，  【   1《  ：各系统？内的设备能力应【互相匹配并应—。保证生产《的连：。续性； 【    》 2  氢气—压缩机应选择密封性！好、噪声《小、故障率低—、，低电耗？的机型？宜设置备用机—。；  】。   3 》 宜选用运行稳【定、故障率》低、密封好》的，泵应：设置备用机 【