？ 5.5《  还原尾气干【法回：收 【 ：5.5.《1  还原尾—气，干法回？。收设：计范围应包括气体】压缩、氯硅》烷深冷分《。离，、氢气吸附以及【再生后气《处理等单元》 5.】5.2？  还原尾气—除尘工序宜》在前端增加》过滤器或采用—其他解决尾气—中无定形硅的—技，术 《 ？5.：5.3？  氯硅烷分—离工序宜采用高【压深冷方式》回，收氯硅烷并宜采用高！压低温吸收、—低压高温解析方式】回收氯？。化，氢 》。 5.5》.4  还原尾气干！法回收工序布置宜符！合下列规定 【。   —  ：1  ？宜，临近还原车间布【置；  ！   2  还原】尾，气干法回收工—。序的气体压缩—系统、氯硅烷深【冷分离、《吸附提纯氢系统【。宜独立设置于敞开】或半敞开式的构筑】物内：制冷系统宜布置【于密闭建筑物内；】附属辅助系统宜在】满足：防，火间距的基础—上，毗连布置 】 ：5，.5.5 》 还原尾气干法回收！工序的主要设—备选型应符合—下列规定 】。     1 】 ，各系统内的设备能】力应：互相匹配并应保证生！产的连续性； 【   【。  ：2  氢气》压缩：机应选择密》封性好、噪》声小、故《障率低、低》电，耗的机型宜设置【备用机； 【 ，     3 】 宜：选用运？行，稳定、故障率低【。、密封好的泵应设置！备用机 》