5.—5，  还？原尾气？干，法回收 】 5.5—.1  还原尾【气干法回收》设计范围应包—括，气体：压缩、氯《硅烷深冷分离、氢气！吸附以及再》。。生后气处理等—单元 】。5.5.2  还】。原尾：气除尘工序宜在前端！增加：过滤器？或采用其《他解决尾气》。中无定形硅的技术】 5.】5.3  》氯硅烷分离》工序：宜采用高《压深冷方式回收氯】硅烷并宜采》用高压低《温吸收、低压—。高温解析方式—回收氯化氢》 ： 5.5【.4：  还原《尾，气干法回收工序布】置，宜，符合下列规定 】 《    1  【宜临近？还原车间布置； ！  》   2  还原尾！气干法回《收，工序的气体压缩系】统、氯？硅，烷深冷分离、—吸附提纯氢系—统宜独立设置于敞】开或半敞开》式的构筑物内—制冷：系统宜布置》于密闭建筑物内【；附属辅《助系统宜在满—足防火间距的基础上！毗连布置 【 5《.5.？5  还原尾气干】法回收工《序的主要设备选【型应符合下列规定】 ， 》    《1  各系统内的设！备能力应互相匹配并！应保证生《产的连续性； 】 ： ：    2  氢】气压缩机应选择密】封，性好、？噪声小、故障率低】、低电耗的机—型宜设置备》用机； 】     》3  宜选用运行稳！定、故障率低—、密封好的泵应【设置备用机 【