安全验证
5.5 】。 还:原尾气干法回收 ! 5.】5.1  还原【尾气干法回收设计】范,围应包括《气体压缩、氯硅烷】深冷分离、氢气吸附!以及:再生:后气处理等单元【 —5.5.《2,  还原尾气除【尘工序宜在》前,端,增加过滤器或采用其!他解决尾气中无定】形硅的技术 】 5.5.3 ! 氯硅烷分离工【。序,宜,采用高压深冷方式】回收氯硅《烷并宜采用高压低】温吸收、低压高温解!析方式回收氯化【氢 5.!5.4  还原尾】气,干法回收工》序布置宜符》合下:列规定 《     !1  ?宜临近还原车—间布置; 【     2 ! 还:原尾气干法》回收工序的气体压缩!系统、氯硅烷深冷】分离、?吸附提纯氢》系,统宜独立设置于【敞开或半敞开式【的构筑物内制冷系统!宜,布置于?密闭建筑物内;附属!。辅助系统宜在—满足防火间距的【。基础上毗连》布置 《。 ? 5.5.》5  还原尾气【干法回收工序的【主要:设备选型应》符,合下:列规定 — :     1—  :各,。系统内的设》备能力应互》相,匹配并?应保证生产》的连续性; 】     【2,  氢气压缩机应选!。择密封性好、噪【声小、故障率低【、低电耗的》机型宜设《置备用机; —   【  3  宜选用运!行稳定、故障率【低、:密封好的泵应—设置备用机》 :