5.5 】 还：原尾气干《法回收 ！ ， 5：.5：.1 ？ 还：原尾：气干法回《收设：计范围应包》括气体压缩、氯【硅烷深冷《分离、氢气吸附以及！。再生后气《处理等单《元 — 5.5《.2  还原—尾气除尘工》序，。宜在前端增》加过滤器或》采用其他解决—尾，气中无定形硅的技术！ ： ？ 5.？5.3  氯硅【烷分：离，工序宜采用》。高压深？冷，方式回收氯硅烷并宜！采用：高压低温吸收、低】压高温解《析方式回收氯化氢 ！ ？ 5.《5.4  还原尾气！干，法回收工序布—置宜符合下列规【定 《 ？。。 ，   1  —宜临近？还原车间布置； 】 》    2 — 还原尾气干—法回：收工序？的气体压缩系统、氯！。硅烷深冷分离、吸附！提纯氢系统宜独【立设置于《敞开：或半敞开《式的构筑物内制冷系！。统宜布？置于密闭建筑—物内：；附属辅助系统宜】在，满，足防火间距的基【础，上毗连布置 — 《 5.5《.5：  还原尾气干法】。回收工？序的主要设备—选，型应符合下》列规：定，   】  1  》各系：统内的设备能力应互！相匹配并《应保证生产》的连续性； 】  《   2  —氢气压缩《机应选择密封性好】、噪：声小、故障率低【、低电？。耗的机？型宜设置备用机；】 ：  》 ， ， 3  《。宜，选用运行稳定、【故，。。障率低、密封—好，的泵应？设置备用机 【