。 ？ 5.5  还原】尾气：干法：回收： 》 ， 5.5.—1  还原尾气【干法回收设》计范围应包括气体压！缩、氯硅烷深冷【分离、氢《气吸附以及》再，生后气处《理等单元 — ， ： 5.5.2  还！原尾气除尘》工，序宜在前端增加过】滤器或采《。用其他？解决尾气《中，无定形硅《。的技术 —。 5.5.3】  氯？硅烷分离《。工序宜采用高—压深冷？方，式回收氯硅烷—并，宜采用？高压低？温吸：收、低？压高温解析》方式回收氯化氢 ！ ： 5.5》.4  还原尾【气干：法回收工序布置【宜符合下《列规定 ！    《1 ：。 宜临近还原车【间布：置； 】。。 ，   2  还【原尾气干法回收工序！的气体压缩系统、】氯硅烷深冷分离、】吸，附，。提纯氢系统宜独立】设置于？敞开或半敞开式的构！筑物内制冷》系统宜布置于密【闭建：筑物内；附属辅【助系统宜在满—足，防火间距《的基础？上，毗连布置 》 5—.5.5  还【原尾气干法回收工】序的主要设》备选型应符合下列规！定   ！  ：。1  各系统内的】。设备能？力应互相匹配—并，应保：证生产的连续—性； ？ 》    2 — 氢气压缩机应选】。择密封性好》、噪声小、故障率】低、低电耗的机型宜！设置备用机； 】     3！  ：宜选：用运行稳《定、故障《率低、密封好—的泵应设置备用【机 ？