： 5.5  还】原尾气干法回收 】 》 5？.，5.：1  ？还原：。尾气：干法回收设计范围应！包括气体压缩—。、氯硅烷深》冷，分离：、氢气吸附以—及再生后《气处理等单元 ！ ， 5.5.—2 ： 还：原尾气除尘工—序宜在前端》增加过滤器》或采用其他解—决尾：气，中无定形硅的技术 ！ ？ 5.《5，.3  《。氯硅：烷分：离工序宜采用高【压深冷方式回—收氯硅？烷并宜采用高压低温！吸收、低压高温解析！方式回收《氯化氢 《 》5.5.4  还】原尾气？干法回收工序布置宜！符合下列规定—。。。 《     1 】 宜临近还》原车间布置；— —    2  还】原尾气干法回收【工序的气体压—缩系统、氯》。。硅，烷深冷分离、吸附提！纯氢系统宜》独立设置于》敞开或半敞》开式的构《筑物内制冷系统宜】。布置于密闭建筑物】内；附属辅助系统】宜在满足防》火间：距的基础上毗—连布置 】 5.5.5 【 ，还原尾气干法回【收，工序的主要设备【选型应符合》下，列规定 ！  ：  1  各系统内！的设：备能力应互相匹配】并应保证《生产的连续性—； ？。。     】2  氢气压缩机应！选择密封性好、噪】声小：、故障率低》。、低电？耗的机型宜设置备】用机； 《    】 3  宜选用运行！稳，定、：故障率低、密封好】的泵应设置备—用机 《