5.5 】。 还：原尾气干法回收 ！ 5.】5.1  还原【尾气干法回收设计】范，围应包括《气体压缩、氯硅烷】深冷分离、氢气吸附！以及：再生：后气处理等单元【 —5.5.《2，  还原尾气除【尘工序宜在》前，端，增加过滤器或采用其！他解决尾气中无定】形硅的技术 】 5.5.3 ！ 氯硅烷分离工【。序，宜，采用高压深冷方式】回收氯硅《烷并宜采用高压低】温吸收、低压高温解！析方式回收氯化【氢 5.！5.4  还原尾】气，干法回收工》序布置宜符》合下：列规定 《     ！1  ？宜临近还原车—间布置； 【     2 ！ 还：原尾气干法》回收工序的气体压缩！系统、氯硅烷深冷】分离、？吸附提纯氢》系，统宜独立设置于【敞开或半敞开式【的构筑物内制冷系统！宜，布置于？密闭建筑物内；附属！。辅助系统宜在—满足防火间距的【。基础上毗连》布置 《。 ？ 5.5.》5  还原尾气【干法回收工序的【主要：设备选型应》符，合下：列规定 — ：     1—  ：各，。系统内的设》备能力应互》相，匹配并？应保证生产》的连续性； 】     【2，  氢气压缩机应选！。择密封性好、噪【声小、故障率低【、低电耗的》机型宜设《置备用机； —   【  3  宜选用运！行稳定、故障率【低、：密封好的泵应—设置备用机》 ：