： 5.5》  还？。原尾气干法回收【 5！.5.1  —还原尾气干》法回收设计范围【应包括气体压—缩、氯？硅烷深冷《分离、氢气吸—附以及再生后气处】理等单元《 《 ：5.5.2 — 还原尾气》除，。尘工序宜在》前，端增：加过滤器或采—用其他解决尾气中无！定形硅的技术 ！ 5.5.3】  氯硅烷分离工序！宜采：用高压深冷方式【回收氯硅烷并宜【采用高？压低：。温吸收？、低压高温解析【方式回收氯化—氢， 5.5！.4  《还原尾气《干法回收《工序布置宜符—合，下列规定 》 ？     1【  宜临近还—。原车间布《置； 】    2》  还原尾气干法】回收工序的气体压】缩系统、氯硅烷【深冷分？。离、吸？附提纯氢系统宜【。独立设置于敞开或】半敞开式的》构筑物内制》冷系统宜布置于密】闭建筑物内》。；附属辅《助系统宜在满足防】火，间距的基础上—毗连布置 》 》5.5.5》  还原尾气干【法回收工序的—。主要设备选》。型，应符合下列》规，定，    ！ 1  各系统【内的设备能力应互相！匹，配并应保证》生产的？连续：性；  ！   2  —氢气压？缩机应？选择密封性好、噪声！小、故障率低—、低电耗的机型宜】设置备用机； ！     【3  宜选》用运行稳《定、故障率低、密】封好的泵应设置备用！机 ？