？ 5：.4  《三氯氢硅氢还原 】 ， 5.4！.1  太》阳能级多《晶硅还？原电耗应符合—国家有关光伏制【。造行业规范条件【的，要求 《 5.4.2！  还原炉供料【系，统应接？。近或紧靠还原车【间，布置 ？ ？ 5.4.3【  ：还原：。炉室应根据炉型的大！小设置吊装行车并宜！配备专有的拆卸硅】棒工具？ 5【。.4.4《  热能回》收利用装置应根据生！产工艺？系，统的特性回收还原炉！内硅棒？的辐：射热量 — ？5.4.《。5  生产》太阳能级多晶硅的】还原炉？室应采用不低于三】级过滤的洁净新【风生产半导体级多晶！硅的还？原炉：室，洁净：度应大于8级 ！ ， ， 5.4.6  】主工艺物料系—统和还原炉》夹套冷却《系统应？设安全阀等安全【设施 ？ ，