5.4【 ， 三氯？氢硅氢还原 【。 》 5.4.1  太！阳能级多晶硅还【原电耗？应，符合国家有关—光伏制造行业规范条！件的要？求 ： 5—.4.？2，  还原炉供料系统！应接近或紧靠还【原车间布置 ！ 5.《4.3 《 还原炉室应根据】炉型的大小设置吊】装行车并《。宜配备专有的拆【卸，硅棒工具《 ？ 5.4.【4  热能回—收利用装置应根据】生产工？。艺系统的《特性回收还原—炉内硅？棒的辐射热量 ！ 5.》4.：。5  生《产太阳能级多晶硅的！还原炉室应采用不】低于三级《过滤：的洁净新风生产【半导体级多晶硅【的还：原炉：室洁：净，度应大于8》级 【5.：4.6？  主工《艺物：料系统和还原炉夹套！冷却系统应设安全】阀等安全设施 】