？ ，5.4  三氯氢】。硅氢还原 》 ？ 5.4.1！  太阳能》级多晶硅还》原电耗？应符合国家有关光】。伏制造行《。。业规范条件的要【求 ： 5.4】.2  《。还，原炉供料系统应接】近或紧靠还原—车间布置 —。 《5.4.3 — 还原炉《室应根据炉型—的大小设《置吊装？行车并宜配备—专有的拆《卸硅棒工具 — 》5.4.4  热能！回收利？用装置应根据—。生产工艺系统—的特性回《收还原炉内硅棒的】辐射热量 】 ， 5.4《.5  生产—太，阳能级多晶硅的还】原炉室应《采用不低《于三级过《滤的洁净《新，风生产？半导体级《多晶硅的还》原炉室洁净》度应：。大，于8级 — 5《.4.6  主工】艺，物料系统和还原炉夹！套冷：却系统应设安—全阀等安全设施 】 ，