。。 ， 5.4  三！氯氢硅氢还》原， — ， 5.4《.1  太阳能级多！晶硅还原电耗应【。符合国家有》关光伏制造行业【规范条件的要求 】 》。5.4.2 — 还原炉供料—系，统应：接近或紧靠还原车间！布置 — 5.4》.3  还原炉室】应，根，据炉型的大小—设置吊装行车—并宜配备专有的拆】。卸硅：棒工具 — ， 5.4.—4  热能回收【利用装置应根—据，生产：工艺系统的》特性回收还原炉【内硅棒的辐射热量 ！ 》。5.4.5  生产！太阳能级多晶硅【的还原？炉室应？采用不低于三—级过滤的洁净新风生！产半导体级》多晶硅的还》原炉室洁净度应大】于8级 】 5.4《.，6  ？主工艺物料系—统，和还原炉《夹套冷却系统应设安！。全阀等安全》设施 《