5.—。4  ？三，氯，氢，硅氢还原 — 5【.，4.：1  太阳能级【多晶硅还《原电耗？应符：合国家？。有关光伏制造行业】规范条件《的要求 — 5.4.2】。。  还原炉供料系统！应接近或紧靠还原】车间布置 【 ： 5.4.3  还！原炉室应根》据炉型的大小—设置吊装行》车，并宜配备专有的拆卸！硅棒工具 》 ： 5.4—.4  热能—回收利？用装：置应根？据生产工艺系统的特！性回收还原炉内硅】棒的辐射热量 【 ： 5.4.【5  生《产太阳？能，级多晶硅《的还原炉室应采用】不低于三级过—滤的：洁，净新风？生产半导体级—多晶硅的还原—炉室洁净度》应，大于8级《 ？ 5.4.6】 ，。 ，主工艺物料系—。统和还原炉夹套【冷却系统应设安全阀！。等安全设施 — ，