5.—4 ： 三氯氢硅氢还原】 【 ，5，.4.？1  太阳能级【。多晶：硅还原电耗应符合国！家有关光《伏制造行业规范条】件的要求 》。 ， 5》。。.4：.2  还原—。炉供料系统应—接近：或紧靠还原车间【布置 》 ：。 5.4.3  】还原炉室应》根据炉型的大小【设置吊装行车并宜】配备专有的拆卸硅棒！工具 — ，。 5.4.》4  热能回收利】。用装：置应根据生产工【艺系：统的：特性回收还》原炉内硅棒的辐射热！量 — 5.4.5  】生，。。产太阳能级多晶硅的！还原炉室应采—用不低于《三级过滤的洁净新】风，生产半导体级—多晶硅的还》原炉室洁净度—。应大于8级 — 5.4】.6：  主工艺物料系】统和还原炉》夹套冷却《。系统应设安》全阀：等安全设《施 ？