5》.4 ? ,。三,氯氢硅氢还原—。
《
5.4.1! 太阳能级—多,晶硅还原电耗应符合!国家有关《。光伏制造行业规【范条件?的要求
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5.4《.2 ? 还原炉供》料系统应接近或紧靠!还原车间布》置
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5.4.3— 还原炉室应根据!炉型的?大小设置吊装行车并!宜配备?专有的拆卸硅—棒工具
!5.4.4 热】能回收利用装置【应根据生产工—艺系统的《特性回收还原炉内硅!棒的:辐射热量
!
5.4《.5 ? 生产太阳能—级多晶?。硅的:还原炉?。室应采用《不低于?。三级过滤的》洁净新风生产半导】。体级多晶《硅的还原炉室洁净度!应大于8级
】
5.》4.6 主工【艺物料系《统和还?原炉:夹套冷?却,。系统:应设安全阀等—安全设?施,
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