5.—3  氯硅烷提【纯 》 5.3.1！  提纯流程和塔】内件应根据物料【原料组分、提纯难】易程度以及产品【要求比较分析—后确定？ ？ 5.3.2 ！ 氯硅？烷提纯？宜，选用差压耦合提【纯技术 — ，。 5.《3.3  氯硅烷提！纯工序的布置应符合！下列规定 》    】 1  大直径塔宜！独立、？露天：布置用？法兰连接的多节【组合塔以及直径【不大于6《00mm《的塔宜布置于框架】结构内； 》 》    2》  塔的布置宜【采用单排形式—并应按提纯流程顺序！以塔的外壁或中心】线，对齐还应设置联合平！台各塔平《台的连？。接走：道结构？应能满足各塔—伸，缩量：及基础沉降》的不同要求； ！    — ，3  附属设—备宜靠近塔布置【并应：留有安装、生—产、维修空间； ！ 《    4》  差压《耦合塔的差压耦合再！沸器、冷凝器和回流！罐的标高宜逐渐降低！ 5.】。3.4  氯硅烷】提纯工序宜选择【运行稳定、》。故障率低、密封好的！泵应：设，置备用？机 5.！3.5 《 ，精馏控制方式应根】据产品采出位置【。、进料方式》、塔：内温度和压》力变：化确定可采》用精馏段指标控【制、提馏段指—标控制或压力控制 ！ ，