5.3  ！氯硅烷？提纯 《 5.】3.1  》提纯流程和》塔内件应根》据，物料原料组》分、提纯难易程【度以及产品》要，求比较分析》后确定 — ， 5？.3.2  氯【硅，烷提纯？宜选：用差压？耦合提纯《技，术 《 ： 5：.3.3《  氯硅烷提—纯工序？的布置应《符合下列规定 】 ？。   ？  1  大直【径，塔宜独立、》露天布置用法兰连接！的多节组合塔以及直！径不大于6》00mm的塔—宜布置于框架—结构内； —   —。  2  塔的布置！宜，采用单排形式—并应按提纯》流程顺序以塔的外】。壁或中心线对齐【还，应设置联合平—台各塔平台的连接】走道结构应》能满：足各塔伸缩量及基础！沉降的不同》要求；？。   】  3  附属【设，备宜靠近塔布置并】应，留，有安：装、生产、维修空】。间； 】    4  【差，压耦合塔的差压【耦合再沸器》、冷凝器和回流【罐的标高宜逐渐【降低 》 5《.3：。.4  氯硅烷提】。纯工序宜选》择运行？。稳，定、故障《率低、密《封好：的泵应设置备用机 ！ 》5.3？.5  精馏—控制方式应》根据产品采出位置】、进料方式、塔内】温度和压《力变化确定可采【用精馏段指标控制】、提馏段指标控制】或压力控制 【