安全验证
5》。.2  三氯氢【硅合成和四氯—化硅:氢化 ? 《 5.2.1】  多晶《硅工厂应有四氯化硅!(STC《。)氢化装置》企业可根据生产规】模、当地三氯—氢硅供应以及—投资规模等》方面:综合比较《后确定是否》增加三氯氢硅—合成装置 》 5.2】。.2 ? 三氯氢硅合成【工序的原《料,之一的氯化氢(HC!l)可采用氯化氢合!成或盐酸解析工艺】。制取 】5.2.《3  液氯汽化工序!的液氯汽化》器应采用《热水加热水》温宜为40℃~7】0℃不应使用蒸汽】加热并应设置冬、】夏季不同温度的【冷、:热水汽化液氯—液氯汽化工序的设计!应符合现行国家标】准氯气安全》规程GB 11【984的《有关规?定 : ? 5.2》.4  《三氯氢?硅合成工序应采用干!、,湿结合的除尘工【艺并:应提高单《次运行时间 】 ?5.2.5  三氯!氢硅合成工》。序的工艺《尾气:。应采用吸附装置回收!。氢,。气和氯化《氢 — 5.2.6 【 合成和冷氢化工】序宜:设置:。硅粉干燥《工序:干燥用气应回收【循环使用 — 5.—2.7  四氯【化硅氢化装》置应根据《多晶硅生《产,规模、所在地区能源!价格、投《资成本及建设周【期综:合经济?比较后确定采取高温!氢化上艺、》固定床冷氢化工艺】或流化床冷氢化【工艺 》 5.》2.8  氢—化装置宜《与氢化冷凝液提【纯装置?临,近,布置 5!.2.9  冷氢化!装置应配套残—液回收装置》并应就近配置— 5.2!.10  冷—氢化装置宜独立【设置:于,敞开或半敞开—式的构?筑物内制冷系统可】布置于建筑》物内;附属辅助系统!宜在满足防火间【距的基础上毗连布】。置 — 5.2《.11  主要【。设备选型应符合【下列:规定  !   1 》 氢气压缩机—应选择密封》性好、噪声小、【故障率低的机型【宜设置备用机; ! ?    《 2  宜》选用运行稳定—、故障率低》、密封好的泵应【设置备用机 — ,