5》。.2  三氯氢【硅合成和四氯—化硅：氢化 ？ 《 5.2.1】  多晶《硅工厂应有四氯化硅！(STC《。)氢化装置》企业可根据生产规】模、当地三氯—氢硅供应以及—投资规模等》方面：综合比较《后确定是否》增加三氯氢硅—合成装置 》 5.2】。.2 ？ 三氯氢硅合成【工序的原《料，之一的氯化氢(HC！l)可采用氯化氢合！成或盐酸解析工艺】。制取 】5.2.《3  液氯汽化工序！的液氯汽化》器应采用《热水加热水》温宜为40℃～7】0℃不应使用蒸汽】加热并应设置冬、】夏季不同温度的【冷、：热水汽化液氯—液氯汽化工序的设计！应符合现行国家标】准氯气安全》规程GB 11【984的《有关规？定 ： ？ 5.2》.4  《三氯氢？硅合成工序应采用干！、，湿结合的除尘工【艺并：应提高单《次运行时间 】 ？5.2.5  三氯！氢硅合成工》。序的工艺《尾气：。应采用吸附装置回收！。氢，。气和氯化《氢 — 5.2.6 【 合成和冷氢化工】序宜：设置：。硅粉干燥《工序：干燥用气应回收【循环使用 — 5.—2.7  四氯【化硅氢化装》置应根据《多晶硅生《产，规模、所在地区能源！价格、投《资成本及建设周【期综：合经济？比较后确定采取高温！氢化上艺、》固定床冷氢化工艺】或流化床冷氢化【工艺 》 5.》2.8  氢—化装置宜《与氢化冷凝液提【纯装置？临，近，布置 5！.2.9  冷氢化！装置应配套残—液回收装置》并应就近配置— 5.2！.10  冷—氢化装置宜独立【设置：于，敞开或半敞开—式的构？筑物内制冷系统可】布置于建筑》物内；附属辅助系统！宜在满足防火间【距的基础上毗连布】。置 — 5.2《.11  主要【。设备选型应符合【下列：规定  ！   1 》 氢气压缩机—应选择密封》性好、噪声小、【故障率低的机型【宜设置备用机； ！ ？    《 2  宜》选用运行稳定—、故障率低》、密封好的泵应【设置备用机 — ，