安全验证
5》。.2  三》氯氢硅合成和四氯】化硅氢?化 : 》 5.2.1【  多晶《硅工厂?。应有四氯化硅(S】TC)氢《化装置企业可—。根据生产规模—、当地三氯氢硅供】应以及?投资规?模等方面综合比【较后:确定:是否:。增加三氯氢硅—合成装置 ! 5.2.2—  三氯氢硅—合成:工序的原料之一的】氯化氢(HCl【)可采用《氯化氢合成》或盐酸解析》工艺制取 — 5》.2.3 》 液:氯汽化工序》的液氯汽化器—应采用?热水加?热,水温宜为40℃【~70?℃不应使用蒸汽【。加热并应设》置冬、夏季不同【温度:的冷、热《。。水汽化液氯液氯汽化!工序的设计》应符:合现行国家标准氯】气安全规《程G:B 1?1984的有—关规定 】 5.2《.4  三》氯氢硅合成》工序应采用干—、湿:结合的除尘工艺并】应提高单次运行时间! 》 ,5.2.5》  三氯氢硅合【成工序的工艺尾【气应采?用吸附装置回收氢】气,和氯化氢《 5【.2.6  合成】和冷氢化工序宜设】。置硅粉干燥工序干燥!。用气应回《收循环使用 — 《 5.2.7—。  四?氯化硅氢化装—。。置应:根据多晶硅生产规模!、所在地《区能源价格、投资成!本及建设周》期,综合经济比较—后确定采取》高温:氢化上艺、》固,定,床冷氢化工艺或流化!床冷:氢化工?艺 》 5.2.—8,  氢?化装置宜与氢化【冷凝液提《纯装置临《近布置 》 5.2.9!  冷氢《化,装置应配套残液回收!装置:并应就近配置— 5.】2.10  —冷氢化装置宜独立】。设置于敞《开或半敞开》式的构筑物内制【冷系统可布置于建筑!物内;附属辅助系统!宜在满足防》火间距?。的基础?上毗连布置 — 《 5.2.11【  主要设备选型】应符合下《列规定? ,。 ? :   ? 1:  氢气压缩—机应选择密封性【好、噪?声小、故障》率低的机《型宜设置《备用:机; 《     】2  ?宜选用运行稳定、故!障率低?。、密封好《的泵应设置备用【机 ?