： 5.2》  三氯氢硅合成和！。四氯化？硅氢化 《 5.！2.1？  多晶硅》工厂应有四氯化硅(！S，TC)氢《化装置企《业可根据生产规模、！当地三氯氢》。。硅供应以及投资规模！等，方面综合比较后【。确定是？否增加？三氯氢硅《合成装置 — 5.2.】2  三氯氢—。硅合成工序的原【料之一？的氯化氢(》HCl)可采用氯】化氢合成或》盐酸解析工》艺制取？ 5.2！.3  液》。氯汽化工序》的液氯？汽，化器：应采用热水加热水温！宜为40℃～70℃！。不应使用蒸汽加热并！应设：置冬：、夏季不同温度【。的冷、热《水，汽化液氯《液氯汽化工序—的设计应符合现【行国家标准氯气安全！规，程GB 《1198《4的有关规》定 5】.2.4  三氯氢！硅合成工序应—采用：干、湿结《合的除？尘工艺并应提高单次！运行时间 ！ 5.2.5—  三氯氢》硅合成工序》的工艺尾气应采用吸！附装置回《收氢气和氯化氢 】 》5.2.6  【合成和？冷氢化？工序宜设《置硅粉干燥工序【干燥用气应回—收循环？使用： —5.2.7  四氯！化硅氢？化装置应《根据多晶硅生产规】模、所在地区能【源价格、《投资成本及建设【。周期综合经济—。比较后确《定采：取高温氢化上—艺、固定床冷氢【化工艺或流》化床冷氢化工艺【 5.2！.8：  氢化装置—宜与：氢化冷凝液》提纯装置临》近布置 【 5.2.—9，  冷氢化装置应配！套残液回收》装置并应就近配置】。 —5.2.10  】冷氢化装《置宜独立设置—于敞开或半敞开式的！构筑：。物内制冷系统可布置！。于，建筑：物内；附属辅助【系统宜在《满足：防火间距《的基础？上毗连？布，置 — 5.2.11【  主要设备—选型应符合下列【规定 ？  —。。   ？1  氢气压—缩机应选择密封【性好、噪声小、【故障率低的机型宜】设置备用机； 】     2！。  宜选用运行稳定！、，。故障率低、密—封好的泵应设—置备用机《 ：