， 5《.2 ？ 三氯？氢硅合成和四氯化】硅氢化 】 5《.2.1 》 多晶硅工》厂，应有四氯《化，硅(STC)氢化装！置企业可根据生【产规模、当地—三氯氢硅供应以【及投资？规模等方《。面综合？比较后确定》。是否增加三氯—氢硅合成装》置 ？ ： ：5.2.2  三氯！氢硅合成《工序的原料之一【的氯：化氢(HCl)【可采用氯化》氢合成或盐酸解析】工艺制？取， —5.2.3  液】氯汽化工序》的液氯汽化》器应采用热水加【。热水温宜为40℃～！。70℃不应使用【蒸汽加热并应设置冬！。、夏：季不：同温度的冷、热水】汽化液氯液氯—汽化：工序的设《计应符合《现行国家标准氯气安！全，规程GB 11【984的有关规定】。 》 5.2.4—  三氯《。氢硅合成工序应【采用干、湿结合的】除尘工艺并应提【高单次运行》时，间 《 5.》2，.5  《三氯氢硅合成工序的！工艺尾气应》采用吸附装置—回收氢气和》。氯化氢 》 5.2【.6 ？ ，合成和冷氢化工序宜！设置硅粉干燥工【序干燥用气》。。应回：收，循环使用 】 ， 5.？2.7  四氯化】硅氢化装置应根据】多晶硅生产规模、所！在地区能源价格、投！资成：本及建设周期综合经！济，比，较后确定采取高温氢！化上艺、《固定床冷氢化工艺或！流化床冷氢化工【艺 — 5.2.8 【 ，氢化装？置宜与氢化冷凝液提！纯装置临近布置 】 《。 ，。5.2.9  【冷氢化？装置应配套残—液回收装置并应【就近配置 》 5.【2.10  冷氢】化装置宜独》立设置？于敞：开或半？敞开：式的构？筑物内制冷系—统可布置于建筑物内！；附属辅助系—统宜在？满足防火间距—的基础上毗连布置】 《 5.2.1【1  主要设备选】型应：符合：。下列规定 】     1 】 氢气压缩机—应选择？密封性？好、噪？。声，小、故障率低的机】。型宜设置备》用机；？ 》    《 2  《宜选用？运行稳定《、，故障率低、密—封好的泵《应设置备《用机 《