？ 5：.2  三氯氢硅】合成和四氯化—硅氢化 ！ 5.2.—1  多晶硅工厂】应有四氯化硅(ST！C)氢化《装置企业可根—。据生产规《模、当地三氯氢硅供！应，以及：投资规？模等方面综》合比较后确定是否】增加三氯氢硅合成】装置 【 5.？2.2  三氯【。氢硅合成工序的原】料之一的《氯化氢(HCl)】可采：用氯化氢《合，。成或盐酸解析工【艺制取？ 《 5.2.—3  液氯汽—化工序的液氯汽化器！应采用热《水加热水《温，宜为40℃～70℃！不应使用蒸》。汽加热并应设置【冬，、夏季不《同温度的冷、热【水，。汽化液氯液氯汽化】工序的设《计应符？合现行国家标准【氯气安全规程GB】 11984的有关！规定 5！.2.4 》 ，。三氯：。氢硅合？成工序？应采用干、湿结【合的除尘《工艺并应提高单次运！行时间 — 5.2.5 ！ 三：氯氢硅合成》工序：的工艺尾气应采用吸！附，装置回收氢气—和氯化氢 】 ：5.2？。.6  合成和冷氢！化工序？宜设置硅粉干燥【工序干燥用气应【回，收循环使用 — 5.【2.7  四—氯化硅氢化装置应根！据多晶硅生》产规模、所》在地区能源价—。格、投资成本及【建设周？期综：合，经济比较后》确，定采：取高温？氢，化上艺、固定床【冷氢化工艺或流【化床冷氢化工艺 ！ 《5.2.8》  氢化《装置：宜，与氢化冷凝液提纯装！置临近布置 【 5.—2.9  》冷，氢化装置应配套【残液回收《装置：并，应就近配置 【。 5.2.】。1，0  冷《氢化装置宜》独立设置于》敞开或半敞》开式的构筑》物内制冷系统可布】置于建筑《物内：。。；附属辅助系—统宜在满足防火【间距的基础》。上毗连布置 】 5.2.【。11：  主？要设备选型应符合】下列规定 》    】。 1  《氢气压缩机应—选择密封性好—、噪声小、故障率】低的机型宜设置备】用机；？ 《 ：    2》 ， 宜选用运行—稳定：、故障？率低、密封好的泵应！。设置备用机 【