。 ： 5.2  【三氯氢？硅合成和四》氯化硅氢《。化 》 ？ 5.2.1 【 多晶硅工厂应【有四：氯化硅(ST—。C)氢化装置—企业可？根据生产《规模、当地》三氯氢硅供应以及】投资：规模等？方，面综合比《较后确定是否增加】三氯氢硅合成—装置 5！.2.2《  三氯《氢硅合成工》序的原料之》。一的氯化氢(H【Cl)可采用—氯化氢合《成或盐？酸解析工《。艺制取 》 5.2.3！  液氯汽化工【序的液氯汽》化器应采用热水加】热水温？宜为40℃》～70℃不应使用蒸！汽加热并应设置冬、！夏季不同温度的冷、！热水汽化《液氯液？氯汽化工序的设【计应符合《现行：国家标准氯气安全规！程GB 1》198？4的有关规定 ！ 5.2.【4  三氯氢硅合成！工序应采用干、【湿结合的除》尘工艺并应提高单次！运行时间 》。 5.【2.5  三氯【。氢硅合成工》序，的工艺尾气应采【用，吸附：装置回收氢气和氯】化氢 — ， 5.2.6—  合成和》冷氢化工序宜设置】硅粉干燥工序干燥用！气应回收循环使用】 —。。5，.2.7  四【氯，化硅氢化装置应【根据多晶硅生产规】。模，、所在？地区能源价格—、，投资成本及建设周】期综合？经济比较后确定【采取高温氢化上艺、！固定床冷氢化工艺】或流化床冷》氢化工艺 【 5.2.8 ！ 氢化？装置宜与氢化冷【凝液提纯装置—临，近布置 《 》5.2.9 — 冷氢化装置应【配套残液回收装置并！应就近配置 【 ， 5.2.1】。。0  冷氢》化装置宜独立设置于！敞开或半《敞开：式的构筑物内—制冷系统可布置于建！筑物：内；附属《。辅助系？统宜在满《足，。防火：间距的基《础上毗连布置— 5【.2：.，11  主要设备选！型应符？合下：列规定 《     ！1  ？氢气压缩机》。。应，选择密？封性：好、噪声小、故障】。率低的机型宜设【置备用机； 】     2】  宜选用》运行稳定、》故障率低、密封好的！泵应设置备用机 】 ，