5.2【 ， 三氯氢硅合—成，和四氯化硅》氢，化 ！5.：2.1？。  多晶硅工—厂应有四氯化—硅(STC)氢化装！置企：业可根据生产—规模、当地三氯【氢硅供应以及投【资规模等方面综合比！较后确定是否—增加三氯氢硅合成】装置： 5.2！.2  三》氯氢硅合成工—序的原？料之一的氯化氢(】HCl)可》采用氯化氢合成或】盐酸解析《。工艺制取 【。 ？5.：2.：3，  液氯汽化工序】的液氯汽化器应【采用热水《加热水温宜为4【0℃～7《0℃：不，。。应使用蒸汽加—热并应设《置冬、夏季不—同温度的冷》、，热水汽化液》氯液氯汽化工序的设！。。计，应符合现行国家【标准氯气安全—规程GB 1198！4的有关规定 】 5.—2.4  三—氯，氢硅合成工序应【采用：干、湿？结合的除尘工—艺并应？提高单次运行—时间 5！.2.5 》 三氯氢硅合成工】。序的工艺《尾气应采用吸附装置！回收氢气《和氯化氢 ！ 5.2.6 【 合成和《冷氢化工序》宜设置硅粉干—燥工序干《燥用气应回收循环使！用 ？ ？ 5.2.》7  四氯化硅【。氢化：装，置应根据《多晶硅生产》规模、所在地区能源！价格、投资成本及】建设周期综合经济】比，较后：确定采取《高温氢化上艺、固】定床冷氢化工艺【或流化床《冷氢化？工艺 【 5.2.8—。  ：氢化装置《宜与氢化冷》。凝液提纯装》置，。临，近布置 《 ： ， 5.2.9【  冷氢化装置应】配套残液《回收装置并应就【近配置 》 5》。.2.1《0  冷氢》化装置宜独立设置于！敞开或半敞开式的构！筑物：内制冷系统可—布置于建筑物内；】附，属辅助系统》宜在满足防火间距的！基础上毗连布—置， ？ 5.2—.1：1  ？。主，要设：备选型应符合下列规！定 —。    《 1 ？ 氢气压缩》机应选择密》封性好、噪声—小、故障《率低的机《型宜设置备用机； ！ ， ：     2 】 宜：选用运？行，。稳定、？故障：率低、密封好的泵】应设：置备用机《 ：