5.2  ！三氯：氢硅合成和四氯化硅！氢，化 】。 5.2.》1  多晶硅工【厂应有？四氯化硅《(ST？C)氢化装置企业】可根据生产》规模、当地三氯【。氢硅供应以及投资】规，模等方面综合比【较后确定是否增加】三，氯氢硅合成装置 ！ ：。 5.2》.2  三氯氢硅】合成工？序的原料之一—的氯化氢(》HCl)《可采用氯化氢—。合成或盐酸解析工】艺制取 》 5.—2，.3  《液氯汽化工序的液氯！汽化：器应采用热水加热水！温，宜为40℃～70℃！不应使用蒸汽加热】并应设置冬、夏季不！。同温度的冷》。、热水汽化液—。氯液氯汽化工序【的设计应《符合现行国家标准】。氯气安全规程G【B 11984的】有关规定 【 5.2.【4，  三？氯氢：硅合成工《序应采？用干、湿结合的除尘！工艺：并应提高单次运【行时间？ 《 ：5.2.5  三】氯氢硅合成工—序的工艺尾气—应采用吸附装置回】收氢气和氯化氢 ！ 5.2【.6  合成—和，。冷氢化？。。工序宜设置硅粉【干燥工序干燥—用气应回收》循环使用 】 5.2.7  ！四氯化硅氢化装【。置，应根据多晶硅—生产规模、所在地】区能源价《格、：投资成本及建—设周期综合经济比较！后确定采取》高温氢化上艺、固】。定床冷氢化工—艺或：流化床冷氢化—。工艺 】5.2.8  【氢化装置《宜，与氢化冷凝液—提纯装置临近布置】 ：。 5.2【.9  冷氢化【装置应？配，套残：液回收装置》并应就近配置 【 5.【2，.10？  冷氢化装置宜独！立设置？于敞：开或半敞开》。式的：构筑物？内制：。冷系：统可布置于建筑物】。内；附属《辅，助系统？宜在满足防火间距的！基础上毗连布置 ！ 5.2.1！1，  主要设备—选型应？符合下列规定 】    【 ，1  氢气压缩机应！选，。。择密封？性好、？噪声小、故障率【。低的机型宜设置备】用机：； ？ ？     2 【 宜：选用运行稳定、【故障：率低、密封好的【泵应设置《备用机 》