5  工艺！设，计 ：。 》。 5.1 】 ，一般规定 】 5.1.】1  三氯》。氢硅氢？还原法多晶》硅生产工《艺流程的《设计和工艺设备【。的选型应《符，合下列规定 ！     1【  应对建设规模】、产品方《。案、建厂条》件、原料与燃—料性能及价格、能源！消耗、经济效—。益等进？行技术经《济比：较后确定工艺—流程和主要设备； ！    】 2  应选择【符合：国家制？造标准、《节，能环：保、先？进高效、安全—可靠：的工艺设《备； —     3 】 应采用符合循【环经：济要求的《新技术、新工艺【、新设备； — ，     4！ ， 物料？平衡和能量平衡【应根据选定的工艺流！。程进行？计算； 】     》5  不同工序的】系统设计、》。设备选型与配备【应根据每个工—序和单体设》备的运转效》率及中间产品的【操作需求《综合平衡后确—。。定并应保证生—产系统？的，操，作弹性和余量—同时应满足生产负荷！变化和生产安全的】要求：； ？  》   6 》 在高海拔、高寒】和，湿热地区建厂—应根据海拔高度对】工艺计算、》设备选型进行修正所！选用的？设备应？满，足其特？殊环境要求 【 5》.，1.：2  工艺布—置应符合下列规定 ！ ？ ：    1》。。  总平面布—。置应满？足工艺流程的要求】宜，留有发展空间—； ： ，  》   2  —工，艺车：间宜根据工艺流程和！设，备选型确定并—。应在平面和空间【上满足施工、安装、！操作、维护、监测】和，通行的？要求 】5.1.3 — 工艺流程选择、设！备选型及工艺布置】应根据多晶硅生产主！要物料的易燃、易爆！。、有毒及火灾危险等！危害特性《。确定 【 5.1.》4  寒《冷地：。区的管？路系统应采取防冻措！施 《 ？。5.：1.5  新—建、改建或扩建【工厂内各生》产单：元的：。蒸汽、电力及综合能！耗总额不应大于现行！国家标准多晶—硅企：业单位产品能源【消耗限额GB 2】9447中规定【的限额准入值 【 《 5.1《.6  工艺生产装！置，应设有事故紧急【排放：设，。施工艺废气应—根据介？质种类、粉尘含【量和危险性》单独或全厂分类、集！中回收处理 — 5—.1.7  工【艺设计范围》应包括三《。氯，氢硅：合成和四氯化硅氢化！、氯硅？烷提纯、三氯—氢硅氢还原、还【原尾气干法回收、】。多晶硅产品后处理、！二氯二氢硅(DC】S)反歧化等生【。产车间或单元—以及相应的工—艺辅助设《施 — 5.1.8  工！。艺生：产系统内的》设备、管道的材质】。以及管阀件》应，根据：物料性质《和工况条件选—取，并应采？取相应？的安全防护措施 】 5—.1：.9  工艺主【要生产房间洁—净度的设《计要求宜《。符合本？规范附？录C的规定 【