5  工艺！设计 ！ 5.1—  ：一般规定 【 《。 5.1.1  】三氯氢硅氢》。还原：法多晶硅生》产工艺流程》的设计和工艺设【备的选型应符合【下列规？。定 【    1 — 应对建设规模、】产品：。方案、建厂》。条件：、原：料与燃？料性能及价格、能源！消耗、经济效益等】进行：技术经济比较后【确定工艺《流程和主要设备； ！ ？ ，     2  应！。选择符？合国家制造标—准、：节能环保《。、先进？高效、安全可—靠的工艺《设备； 《 ：     3 ！ 应采用符合循环经！济要求的新技术、】新，工艺、新设备； 】。。。    】 4 ？ 物料平衡和—能量平衡应根据选定！的工艺流《程，进，。行计：算； ？   【  5  不—同工：序的系统设计—、设备选型与配备】应根：据每个工序和单【。体设备？的运转？效，率及中间产品的【操作需求综合平衡】后确定并应》保证生产系统的操】。作弹性？和余量同时应满足生！产负荷变化和生产安！。全的要求； 】 ？    6  在】高海：拔、：高寒和湿热》地区建厂《应根据？海拔：高，度对工？。。艺计算？、设备选型进行【修正所选用的设备】。应满足？。其特殊环境要—求 《 5.1.2】  工艺布置应【符合下列规定 【    】 ，1  总《平，面，布置应满《足工艺流程的要【求，宜，留有：发展空间；》 ？     【2  工艺车间宜根！据工艺？流程和？设备选型确定并应】在平面？和空间上满足施工】、，。安，装、操作、维护【、监测和通》行的要求 】 5.1.3  ！工艺流程选择、设备！选型及工艺布置应根！据多晶硅生产主要】物料的？易燃、易爆》、有毒及火灾危险等！危害特性确定— ， 《。。 5：.，1.4  寒冷地】区的管路《系，统应采取防冻措施 ！ 5.【1.5  新建、】改建或？。扩，建工厂内各生产单元！的蒸汽、电力及【综合能耗总额不【。应大于现行国家标准！多晶硅企业》单位产品能源消【耗限额GB 2【9447《中规定的限额准入值！ ： ： 5.《1.6  工艺【生产装？置应设有事故紧急】排放设施工艺—废气应根据》介质种类、粉尘【含量和危险性—单独或全《厂分：类、：集中回收处》理 ：。 5.【1.7  工艺设】计范：围应包括三氯氢硅合！成和四氯化硅氢【化、氯硅烷》提纯、三氯氢硅氢】还原、还原尾气干】法回收、多晶硅产品！。后处理、二》氯二氢硅《。。(DCS《)反歧化等生产【车间或单元以—及，。相应的工艺辅助设施！ 《 5.1.—8  工艺生产系】。。统内：的设备、管》道的材质《以及管阀件应—根据物料性质—和工况条件》选，取并应采取相应的】安全防护措施 ！ 5.1.9】  工艺主要生产】房间洁净《度的设计《要求：宜符合本规范附【录C的？规定 《