5》  工艺设计— 【 5.》1  一般规定 】 ？ 5.1.】1  三氯氢硅氢】还原法多《晶硅生产工》艺流程的设计和【工艺设备的》选型应？符合下列规定— —    1》  应对建设—规模、产品方案、建！厂条件？、原料与《燃料性能及价格【、能源消《耗、经济《效益等？进行技术经济比较】后确定工艺流—。。程和主要设备； ！  》   2《  应选《择符：合国家制《造标准、节能环保、！先，进高效、安全—。。可靠的工艺》设备； 《 ， ：   《  3  》应采用？符合循环经》济要求的新技术、新！工艺：、新设备； 【 ：。   《  4？ ， ，物料：平衡和能《量平衡应根据—选定：的工艺？流程进行计算； 】     ！5  不同工序的】。系统：设计：、设备选型与配备应！根据每个工序和【单体设备的》运转效率及中间产】品的操作需求—综合平衡后确定并应！保证生产系统的【。操作弹性和》余量：同时应满足生产负荷！变化和生产安全【的要求； 》 ，。    【 ，6 ： 在高？。海拔、高寒和湿热地！区建：厂应根据海拔高【度对工艺计算、设】备选：型进行？修正所选用的设【备应：满足其特殊》环境：要求 ？ ？ ：。5.1.2 — 工：艺布置应符合下【列规定 】     1— ， 总平面布置—应满足？工艺流程的》要求宜留有发展空】间；： —。 ，  ：。 2  工艺车【间宜根据工艺—流程和设备选型【确定：并应：在平面和空间—上满足施工、安装、！操作、维护、—监测和通行的—要求： ， 》5.1.《3  ？工艺流程选择、设】备选型及工艺—布置应根据》多晶硅生《产主要物《料的易燃、易爆、】。有毒及？火灾危险等危—害特：性确定？ —5.1.4  【寒冷地区的管路系统！应采取防冻措—施 — 5.？1.5  新—建、改建或扩建工厂！内各生产《单元的蒸《汽、电力及综合【能耗总额不应—大于现行国家标准多！晶硅企业单位产品】能源消耗限额GB ！294？。47：中规定的《。限，额准入值 】 ， 5.1.6  工！艺生产装置》。应设有事故紧—急排放设施工—艺废气应《。根据介质《种类、粉尘含量和危！险性单独《或全厂分类、集中】回收处理 — 5.1.7！。。  工艺设计范围应！包括三氯氢硅合成和！四氯化硅《氢化、氯硅》烷提纯、三氯氢硅氢！还原、还原尾气干法！回，。收、多晶硅》产品后处理、—二氯二氢硅》(DCS《。。)反：歧化：等生：产车间或单元以【及相应的工》艺辅助设施 ！。 5.1》.8  工艺—。生产系统内》的设备、《。管道的材质以及【管，阀，件，应根据物料性质和工！况条件？。选取：并应采取相》应的安全防》护措施 》 5.1.9！  ：工艺主要生产房间】洁净度的设》计要求宜符》合本规范附录C的规！。。。定 ？