5  工艺！设计 【。 ：。 5.1 【 一般规《定 ： ： 》5.1.《1  三氯氢—硅氢还原法》。多，晶硅生产工艺流程】的，。设计和工艺设备的】选型应？符合下列《规定 ？。     ！1  应对建设【。规模、产品方案、建！厂条件、原料与【燃料性能及》价，格，、能：源消耗、经济效益等！进行技术经济比较】后确定工艺流程【和主：要设备； 》 ，     2！  应选择》符合国？家制造标准、节能环！保、先？进高效、安全—可靠的工艺设备； ！。 ：    — 3  应》采用符合循环—经济要求的新技术、！新工艺、新设备【； 【 ，   4  物【料平衡和能量—平衡应根据选—定，的工艺流程》进行计算； ！     5【  不同工序—的系统设计、设【备，选型与？配，备应根据每个—工序和单体设备【的运转？效率及中间产品的操！作需：求综合平衡后确定并！应，保证生？。产系统的《。操作弹性《。和余量同时应—满足生产负荷变【化和生？产，安全的要求； 】 ， ？    6》  在高海拔、高】。寒，和湿热地区》建厂应根《据海拔高度对—工艺计算、设备选型！进行修正所选用【的设备应满足—其特：殊，环境：要求 【 5.1《.2  工》艺布置？应符合下列》规定 《。   —  1 《。 总：平面布置应满—足工：艺，流程的要求宜留有】发，展空间；《 》     2  】工艺车间宜根据工艺！。流程和设备选—型确定并应在平【面和空间上满—足，施工、安《装、操作、维护、】监测：和，通行的要求 — ？ ：5.1.3  工】艺，流程：选择：、，设备选型及工艺布置！应根据多晶》硅生产主《要，物料的易燃、—易，爆、有毒及火灾【危险等危害特性确】定 》 5？.1：.4  寒冷地区】的管路系统应采【取防：冻，措施 ？ ： ： ，5.1.5 — 新建、改建或扩建！工，厂，内各生产单元—的蒸汽、电力及【综合能耗总》额不应大于现行【国家标准多晶硅【企业单位产品能源消！耗限额GB 2【。9447中规定的】限额准入值》。 《 5.1.6  ！工艺生产《装置应设有事故紧】急排放？设施工艺废》气应根据介质种类、！粉尘含量和危险性】单独或全厂分—。类、集中回》收处理 《 《 5.？1.：7  工艺设计范围！应包括三氯氢—硅合成和四氯化硅氢！化，、氯硅烷提纯—、三：氯氢硅氢还原、还】原尾气干《法回收、多晶硅产】品后处？理，、二氯？。二氢硅(DCS)】反歧化等生产车【间或：单元以及《相应：的工艺辅助设施【 5【.1：.8  工艺生产系！统内的？设备、管道的材质】以及管阀件》应根据物料性—质，和工况条《。。件选：。取并应采《取相应的安》。全，防，护措施 【 5.1.9  ！工艺主要生产房【间洁净度的设—计要求宜《符合本规范附—录C的规《定， ， ，