5  工】。艺设计 《 ！。5.：1  一般规定 】 5】.1.1  三氯】氢硅：氢还：原法多晶硅生产工】艺流程的设》计和工艺设备的选】。型应符合《下列：规定  ！   1 》 应对建《。。设规：模、产品方案、建】厂条：件、原？料与燃料《性能及？价格、能源消耗、经！济效：益等：进行技术经》济比较后确定工艺】流程和主要》设备； 【   《  2 《 应选择符合国【家制：造标准、节能环保】、先进高《效、安全可》靠的工艺设》备； 】 ，   3  应采用！符合循环经济要求】的新：技，术、：新工艺、新设备； ！   【 ， 4  物料平衡和！能量平衡应》根据选定的工艺【流程进行计算； 】 》    5  【不同工序的系—统设计、设备选【型与配备应》根据每个工序和单】体设备的运转—效率及中间产品的操！作需求综合平衡【后确定并应保证生产！系统的操作弹性和余！量，同时应满足》。生产负荷变》化和生产安全—的要求； —。 《    6》  在高《海拔、高寒和湿【热地：区建厂应《根据：海，拔高度对工艺—计算：、设备选型》进行修？正所选用的设备应满！。足其特殊环境要求 ！ 5—.1.2  工艺布！。置应符合下列—规，定   ！  1  总—平面布置应满足工艺！流程的要求宜留有】发展空？。间；  ！ ，  2  工—艺车：间宜根据《工，艺流程和《设备选型确定并应在！。平面：和空间？上满足施工、安装】、操作、《维护：、监测和通》行的要求《 ： ？ 5.1《.3 ？ 工艺流程选择、设！备选型及工艺布置】应，根据多晶硅生产主】要，物料的易燃》。、易爆、有》。毒及火灾危险等【危害特性确》定 — 5.？1，.4  寒》。冷地区的《管路系？统应采取防冻措施】 ？ 5.1.5 ！。。 新建、改建或【扩建：。工厂内各生》产单元？的蒸汽、电》力及综合能》耗总额不《应大于现行》国家标？准多晶硅企业单位产！品，。。能源消耗限额GB】 ，29447中规定的！限，额准入值 ！ 5.1.6  】工艺：生产装置应设—有事故紧急排放【设施工艺《废气：应根据介质种类【、粉尘含《量和危险性单独或全！厂分类、集中回收】处理 》 ， 5.《1.7  工艺设计！范围应包括三氯氢】硅合成？和四氯化硅》。。氢化、氯硅烷—提纯、三氯氢硅氢还！原、还原尾》气干法？。回收、？多晶硅产《。品后处理《。、二氯二氢》硅(：DCS)反歧化等生！产车：间或单元以及相应的！工，艺辅助设施 【 ， 5.》1.8  工—艺生：产系统内的设—备，、管道的材》质以及管阀》。件应：根据物料性》质，和，工况条件选取并【应采：取，相应的安全防护措】施 《 5.1.9 ！ 工艺？主要生产房间洁净度！的设计要求》宜符合本《。规，范附：录C的？规定 《