5  工】艺设计 《 》 《5.1  一般【规定 【 ？5，.1.1 》 三氯氢硅氢还原法！多晶硅？生产工艺流程—的设计和工》艺设：备的选型应符合下列！规定 ？  — ，  1  》应对建设《规模、产品方案、】建，厂条件、原料与燃料！性能及价格、能源】消耗、经《济效益等进行—技术经济比较后确】定工艺流程和主要】设备； 《   【  2？ ， 应选择符》。合国家制造》标准、节能环保、先！进高效、安全可靠的！工艺设备；》 》     》3  应《采用：符合循环经济要求的！新，技术、新《工，艺、新设备；— 》  ：   4《  物料平》衡和能量平》衡应根据选定的【工艺流程进行计算】； 》     —5  不同》工序的系统设计【。。、设备选型与配备应！根据每个《工序和单体设备【的运转效率及中间】产品的操作需—求，。综合平衡《后确定并应保证【生产系统的操作弹性！和余量同《。时应满足生》产负荷变化和生产安！。全的要求； — ：     【6  在《高海：。拔、高？寒和湿热地》区建厂应根据海拔高！度对：工艺计算、设备【选型进行《修正所选用的—设备应满足》其特殊环境要求 】 ？ ：5.1.2》  工艺布》置应符合下列—规定  ！   1 》 ，总平面布《置应满？。足，工艺流程的要求【宜留有？。发展空间《；   ！  2  工艺【车间宜根据工艺流】程和设备选型确定并！应在平？面和空间上满足【施工、？安装、操作、维【护、监测和通行的要！求 》 5.1.3  ！工艺流程选择、【设备选型及》工艺布置应根据多晶！硅生产主要物料【的易燃、《易爆、有毒及火灾危！险等危害特性确定】 》 ，5.1.《。4  ？。。寒，冷地区？的，管路：系统应采取防冻措施！ 》 5：.1.5  新建、！改建或扩建工厂内】各生产单元的蒸【汽、电力及综—合能耗总额不应【大于现行国》家标准多晶》硅企业单位产—品能源消耗限额GB！ 29447中规】定的限额准》。入值 5！.1.6  工【艺生产装置》应设有事故》紧急排放设》施工艺废气》应，根据介质种类、粉】尘含量和危险性【单独或全厂分类、】集中回收处理 ！ 5.1.7 ！ 工艺设《计范围应包括三氯】氢硅合成和四氯化】硅，氢化、氯《硅，烷提纯、三》。。氯氢硅氢还原、【还原尾气干法回【收、多晶硅产品【后，。处理、二氯二—氢硅(D《CS)？反歧化等生产车间或！单元：以及相应的工—艺辅助设《施 ？。 ？ 5.1.》8  工艺生产【系统内的设》备、管道的材—质以及管阀件应【根据物料性质—和工况条《。件选取并应采取相】应的安全防护措施】 ， 5.1.！9  工艺主要【生产房？间，洁净度的设计要【求宜符？合本规范《附录C的规定 】