5  【工艺设计 ！。 》5.1 《 一般？规，定， 【 5.1.1  】三氯氢硅氢》还原法多晶硅生产工！艺流程的设计—和工：艺设：备的选型应符合【下列规定 》 》  ：  1 《 ，应对建设规》模、产品方案—、建厂条件、原【料与燃？料性能及价格、【能源消耗、经济【效益等进行技术【经济比较后确定工】艺流程和主要设【备；： —  ：  2  应选择】符合国家制造标准、！节能环保、先进【高效、？安全可靠的工艺设备！； 》  ？   3《  应采用符合循】环经济要求的—新技术？、，新工艺、新设备【； ： ：。     4 ！ 物料平衡和能【量平衡应根据选定的！工艺流？程，进行计算； ！ ：   ？ 5 ？ ，不同工序的系统【设计、设备》选型与？配备应？。根据每个工序—和单体设备的运转】效率及中间产—品的操作需求综【合平衡？后确定并应》保证生产《系统的操作弹—性和余量同时应满足！生产负荷变化和生】。产安全？的要求； ！   ？  6  在—高海拔、高》寒和湿热地》区建厂应《根据海拔高度对【工艺计算、设备选】型进行修正所选用的！设备：应满足？其，特殊环境要求 ！ 5.1.【2  工《。艺布置应符合下【列规定 】     1  】。总平面布《置应满足工》艺流程的要求—宜留：有，发展空间《；   ！  2 《 工艺车间》宜，。根据工艺《流，程和设备选》型确定？并应在平面和空间上！满足施工、安—装、操作、维—护，。、监测和通》行的要求《 ， ？ 5.1》.3  工》艺流程选择、设备】选型及工艺》。布置应？根据多晶硅生产主要！。。物料的易燃、易爆、！有毒及火灾危险等危！害特性？确定 — 5？.1.？4，  寒冷地》区的：管路系？统应采取防冻措施】 ： 5.1.】5  新建、改建或！扩建工？厂内各生《产单元的《蒸汽、？。电力及综合能—耗总额不应大于【现行国家标》准多晶硅企业单位产！品能源消《耗限额？GB 294—47中规定》的限额准入》值 ？ ？ ，5，.1.6  工艺生！产装置应《设，有事故紧急排—放设施工艺废气应根！据介：质种：类、：。粉尘含量和》危险：性，单独或？。全厂分类、集—中回收处理》 《 ， 5.1.》7  工艺设计范围！应包括三氯氢硅合成！和四氯化《硅氢：化、氯硅《烷提纯、三氯氢硅氢！还原、还原尾气干】法回收？、多晶硅产品—后处理、二氯二【氢硅(DC》S，)反歧化等生产车间！或单：元以及相应的—工艺辅？助设施 《 5.1】.8  工艺生【产系统内《的设：备，、管道的材质以【及管阀件应》根据：物料：性质和工况条件选】取，并应：。。采，取相：应的安全防护措施】 ： ： 5.1》.，9  工艺主要【生产房间洁净—。度的设计要求宜符合！本规范附录》C的规定《 ：