5》  工？艺设计 【 5【.1 ？ 一般规定 】 《 5.？1.：1  三《氯氢硅氢还原—法多晶？硅生产工艺流程的设！。计和：工艺设备《的选型应符合—下列规定 ！     1  】应对建设规模、产】品方案、《建厂条件、》。原料与燃《料性能及价格、能】源消耗、经济效益】等进行技术》经济比？较后确定工艺流程和！主要设备； ！     —。2 ： 应：。选择符合《国家制造标准、节】能环保、先进—高，效、安全可靠的工艺！设备； 《 ？    》 3  应采用符合！循环经济要求的新技！术、新工《艺、新设《备； 【     》4  物《料平：衡和能量平衡应【根据选定的工艺【流程进行《计算； 》。 ：  ？   5  不同工！序的系统《设计：。、设备？选型：与配备应根据每个】工序和单体》设，备的运转效率—。及中间产品的操【作需求综合》平衡后确定并应保证！生产系统的操作弹】性和余量同时应满足！生产负？。荷变化和生产安全的！要，求； 》 ？   ？ 6  在高海【拔、高寒和湿热【地区建厂应》根据海拔高度—对工艺计算、设备选！型进行？修正所选用的设【备应满足其特—殊环境要求 ！ ：5.1.2》  工艺布置—应符合下列规—定 —   ？。  1？ ， 总平？面布：置应满足工艺流【程的要求宜留有【发展空间； 】     2】  ：工艺车间宜根据工】艺流程和设备选型】。确定并应《在，平，面和空间上满足施】工、安装、》操，作、维护、》监测：和通行的要求 】 5》.1.3  工艺】流程：选择、？。设，备选型及工》。艺布置？应，根据：。。多晶硅生产主—。要，。物料的易燃》、易爆、有毒及火灾！危险等危害特性确定！ —5.1.《。4  寒冷》地区的管路系统【应，采取防冻措施 【。 5—。.1.5 》。。 ，新建、改建或扩【建工：厂，内各生产单元的蒸汽！、电力及综合能【耗总额不应大—于现行？国家标准多晶硅企】业单位产品能源消耗！限额GB 29【447中规》。定的限额《准入值 》 ， 5.1.【6  工《艺生产装置应—设有事故紧》急排放？设施：工，艺废气应根据介质】种类、粉尘含—量和危险性单—独或全厂分类、集】中回收？处理 《 《5.：1.7  工—艺设：计范围应包括三氯氢！硅合成和四氯化硅氢！化、氯硅烷提纯、】三氯氢硅氢还原、】。还，原尾气干法回收【、多晶？硅产品后处理—、二氯二氢硅(【DCS)《反歧化？。等生产车间或单【元以及相应的工【艺辅：助设施 ！5.1.8  工艺！生产系统内的—设备、管道的材质】以及管阀件》应根据物料性质【和工况条件选取并】应采取相应的—安全防？护措施 《 ？ 5.1.9 】 工艺？主要生产房间洁净】度的设计《要求宜符合本规【。范附录？。C的规定《 ：