5  工艺！设，计 》 》 ，5.1  一般规】。定， 【 5.1.1  】三氯：氢硅：氢还原法《多，晶硅生产工艺流程】的设计？和工艺？设，备的：选型应符合下列规】定 》  ？   1  应对】建设规模、产品【方案、建厂条件、原！料与燃料性》能及价格《、能源消《耗、经济《效益等进行》技术经济比较后【。确定工艺流程和【主要设备；》 ：   —  2  应选【择符合国家制造标准！、节能环保、先【进高效、安全可【靠的工艺《设备； 》 ？  ：   3  应采用！符合循环经济要求】的新技术《、新工艺、》新设备； 【     【4， ， 物料平《衡和能量平衡应根】据选定的工》艺流程进行计—算； ？   【  5  》不同工序的》系统设？计、设备选型—与配备应根据—每，个，工，序和单体设》备的运转效率及中间！产品的操作需求综】合平：衡后确定并》应保证生《产系统的《操作弹性《和余量同《时应满足生产负荷变！化和生产安全的要求！； 》     6【 ，。 在高海拔、高寒和！湿热地区建厂应【根据海拔高度对【工艺计？算、设备选型—进行修正所》选用的设备应满足其！。特殊环境要求— ：。 ？ ，5.1.《2  工艺布置应】符合下列规定 ！ ： ，    1  【总平：面布置应满》足工艺流程的—要求宜留《有发：展空间； 【    —。 2 ？ 工艺车间宜—根据工艺流程—和设备选型确定【并应在平面和空间上！满足施工《、安装、操》作、维护《、监测和通行的要】求 5.！1.3  工艺【流程选择、》设备选型及工—艺布置应根据—多晶硅生产主要物料！的，。易燃、易爆》。、有毒？。及火灾危险》等危害特性确定 ！ 5.1【.4  《寒冷地区的管路系统！应采取防冻措施 】 《 5：.1.？5  新《建、改建或扩—建工厂内各生产单元！的蒸汽、电》力及综合能》耗总额不《。应大于现《。行国家标准多晶硅】企业单位产》。品能源消耗限额GB！。 294《47中规定》的，限额准入值 — 5—.1.6《  工艺《生产装置应设—有事故紧急排—放设施？。工艺废气应根据【介质种类、粉—尘含量和危险性单独！或全厂？分类、集中回收处理！ —。5，.1.7 》 工艺设《计，范围应包括三—。氯，氢硅合成和》四，氯化硅氢化》、氯硅烷《提，纯、三氯氢硅氢【。还原、还原尾—气干法回收、多晶硅！产品：后处理、二氯二氢】硅(DCS)反歧】化，等生产车间或单元】以及相应的工艺【辅助设施 】 5.1.8【  工艺生产系统内！的设备、管》道的材质以》及管阀件应根据【物料性质和工况【。条，件，选取：并应采取《相应的安全防护措】施 ？ 5》.1.？9  工艺主要生产！房，间洁净度的》设，计要求？宜符合本规范附录】C的：规定 《