5 — 工艺设计》 ？ 《 5.》1 ： 一般规定》 【。 5.1.》1  三氯氢—硅氢还原《法多晶硅生产—工艺流程的设计【。和工艺设《备的选型应》符合：下列规定 】    》 1 ？ 应对建设规—模、产品方案、建】。厂条件、原料—与，燃料性能及价格、】能源消耗、经济效益！等进行技《。术经济比较》后确定？工艺流程和主要设】备； —    》 2  应》选择：。。符合国家制造—标准、节《能环保、先》进高效、《安全可靠的工—艺设备； 》 》    3  【应采用符合循环【经济要求的新技术】。、新：工艺、新设》备；  ！   4 》 物料平衡和能量】。平衡应根据选—定的工？艺流程进行计算；】 《  ？   5  —不同：。。工序的？系统设计、》设备选型与配备应根！据，每个工序《和，单体设备《的，运，。转效率及中间产【品，的操：作需求综《合，平衡后？。确，定并应保《证生产系统的操【作弹性和余量同时应！满足生？产负：荷变化和生产安全】的要求； 》     ！6  在高海拔、高！寒和：湿热地区建厂—应根据？海拔高度对工艺计】算、设？备选型？进行修正所》选用：的设备应满足其特殊！环境要求 【 5.1—.2 ？ 工艺布置应符合下！列规定 】   ？  1  总平面】布置应满《足，工艺流程的要求宜】留有发？展空间； ！     2 【。 工：艺车间宜根》据工艺流程和设备】选型确？定，并应在平面和空间上！满足施？工，、安装、操作—、维护、监》测，和通：行的要求 》 5.【1.：3  ？工艺流程选择、【设备选型及工艺【布，置，应根据多晶硅—生产主要《物料的易燃、易【爆、有毒《及火灾危险等危害】特性确定 》 》5.1.4  【寒冷地区的管路【系统应采取防—冻措施 》。 《5.1.5》 ， 新建？、改建或《。扩建工厂《内各生？产单元的蒸汽—、电力及综合—能耗总额不应大于现！行国家标准多晶【硅企业单位产品【能源消耗限》额GB 294【。47：中规定的限额准【入，值 — 5.1.6 【 工艺生产》装置应设《有事故紧急排放【设施工艺废气应【根据介质《种类、粉《尘含量和危》险性单独《或全厂分类》、集中？。。回，收处理 】。 5.1.7—  工艺设计范围应！包括三氯氢硅合成和！四氯化硅氢化、【氯硅：烷提纯、三氯氢硅】氢还原、还》原尾气干法回收、多！晶硅产品后》处理、二氯二氢硅(！DCS)反歧—化等：生产车间或单元【以及相应的》工艺辅助设》。施 》 5.1.8 】 工：艺生产系统内的设】备，、管道的《材质以及管》。阀件应根据》物料性质和工况条】件选取并应采取相应！的，安全：防护措施 ！ 5.1.9 【 工艺主要生—产房间洁净度的【设计要求宜符合【本规范附《录C的？规定 《