《5  工艺设计 】 》 5.—1  ？一般规？定 《 ， 5.1【.1  三》氯氢硅氢还》原法多晶硅》生产：工艺流程的》设，计和：。工艺设备的》选型应符合下—列规定 —   》  1  应对建】设规模、《产品方案、建厂【条件、原《料与燃料性能及【价格、能源消—耗、经济《效益等？进行技术经济比【。较，后确定工《艺流程和《主要设？备； 《 ， ？    2  【应选择符合国家制】造标准、节》能环保？、，先，进高效、安全可靠】的工艺设备； ！     3】  ：应采用符合循环【。经济：要求的新技术、新】工艺、新设》备，； ？   —  4 《 物料平衡和能【量，平衡应根据》选定的工艺流—。程进行计算； 【。 《    《 ，5  不同工序【的，系统设计、设备【。选型与配备应—根据每个工序和单】体设备的运转效【率，及，中间产品的操作【需求综？合平衡后确定并应保！证生产系统》的操作弹性和余量同！时应满足《生产负荷变化和【生产：安全的要《求，； —  ： ，  6  在高【海拔、高寒和湿热地！区建厂？应根：据海：拔，高度对工艺》计算、设备选—。型进行修正所—选用的设《备应满足其特殊【。。环境要求 ！。 5.1.》。2  工艺布置【。应，符合下列规定 】。     】1  总平》面布置应满》足工：艺流程？的要求宜留》有发展空间；— ？     【2  工艺车间宜根！据工艺流程和—设备选型《确定并应在平面【和空间上满足施【工、安装《、操作、维》护、监测和通—行的要求 — 5》.1.3  —工艺流程选择—、设备选《型及工艺布置应根】据多晶硅生产主要】物料的易《燃、易爆、有毒【及火：灾危险等危害特性】。确定 】5.：。1.4  寒冷地】区的管路系统应采取！防冻措施 》 5—.1.5  —新建、改建或扩建工！厂，内，各生产单《元的蒸？汽、电力及综—合能耗总额不应大】于现行国《家标准多晶》硅企：业单位？。产品能源消》耗，限额G？B 294》4，7中规定《的限额？准入值 【 5.1.6【  工艺生产装置】应设有事故紧—急排：放设施工艺废气【应根：据介质种类、粉尘含！量和危险性单—独或全厂分》类、集中回》收处理 】 ，5.1.7  工】艺设计范围应包括三！氯氢硅合成和—四氯化硅《氢化、氯《硅烷：提纯、？三氯氢硅氢还原、】。还原尾？气干法回收、多晶】硅产品后《处理、二氯二氢硅(！DCS)反歧化【等生产车间》或单元以及相—应的工艺辅助设施】 《 5.1.8【  工艺《生，产系统内的设备、】管道的材质以及管阀！。件应根据物》料性质和工况条件】选取并应采取相【。应的安全防护—措，施 5】.1.9  工艺主！要生产房《间，洁净：度的设计要求—宜符合本规》范附录C的规定 ！