安全验证
, 5《  工艺设计 ! : 5.【1  一般规定 ! 《 5.1》.1  三氯—氢硅氢还原法多晶硅!生产工艺《流程的设计》和,工艺设备的选型【应符合下列规—定 —     1—  :应对建设规模、产品!方,。案、建厂条件、原料!。。与燃料性能及价格、!能源消耗、经济效】益等进行技术经济比!较后确定《工艺流程《和,主要设备《; 《   》  2  应选【择符合国家制—造标准、《节,能环保、先》进高效、安全—可靠的工艺设备; !。 ?  ?   ?3 : 应采用《符合循环《。经济要求的新技术】、新工艺、新—设备:; 【。    《4  物料平衡【和,能量平衡《应根据选定的工艺】流程进?行计算; !。。。    《 5  不》。。同工序?。的系:统设计、设》。备选型与配备—应根据每个工序和单!体,设备的运转效率【及中间产品的—操作需求综合平【衡后确定并应保【证生产系《统的操?作弹性和余量同时应!满足生产负》荷变化和生产安全】的要求; 】     —6  ?在,高海拔、高寒和湿热!地区建厂应》根据海拔高度对工艺!计算:、,设备选型进行—修正所选用的设备应!满足其特殊环境要求! ? 5.1.2】  工艺布置应【符合:下列规定《。    ! 1  总》平,面,布,置,应满:。足工艺流《程的要求宜留—。有发展空间; 】  》 ,  2 《 ,工艺车间宜根—据工艺流程和设备选!型确定并应在平【面和空间上满足施】工、安?装、操作、》维护:、监:测和通行的要求 】。。 , ? 5.1.3 【。 工艺流程》。选择、?。设备选型及工艺布置!应根据多晶硅生【产主要物料的—易燃、易爆》、,有毒及火灾危险等】危害特性确定 !。 ?5,.1.?。4  寒冷地区【的管路系统》应,采取:防冻措施 】 5.1》.5  新》建、改建或扩—建工厂?内各生?产单元的蒸汽、电】力及:。综,合,能耗总额不应—大于现行国家标【准多晶硅企业—单位产品能》源消耗限额GB 】29:4,47中规《定的限?额准入值 ! 5.1《.6  工》。艺生产装《置应设有事》故紧急排放设施工艺!废,气应根据介》质种类、粉尘含量和!危险:性单独或全厂—分类:、集中回收》处,理 5.!1.7  》工艺设计范围—应包括三氯氢—硅合成和四氯—化硅氢化、氯硅烷提!纯、三氯《氢硅氢还《。原、还原尾气—干法回?收、多?晶硅产品后处—理、二氯二》氢硅(D《CS)反歧化等生】产车间或单元—。以及相应的工艺【辅助设?施 《。 5《.1:.8  工艺生产】系统内?的设备、管道的【材质以及管阀件【应,根据物料性质和工况!条件选取并》应采取相《应,的安全防《护措施 》 ? 5.1.9—  工艺《主要生产房间洁【净度的设《计要求宜《符合本规范附录C的!规定 《