安全验证
, : 12.4  【自动控制 》 ? 12.【4,.1、?12.4.2  电!子工业洁净厂房的设!备监控系统是一【门集电气技术、自动!化仪表、计算机技】术和网络《通信等?技术为一《体的综合技术只有正!确合理地运用各门】技术:系统才能达》到控制要求为了【保证:电子工业洁》净厂房对生产环境】控制的特殊要求公用!动力工?程系统、《净化空调《系统等的控制系统应!具有高可靠性其次】对于不同的控制【设备:要求具有开放—性以:适应实现全厂联【网控制?的要求?电子产?品工:艺技术发展迅速电子!工业:洁净厂房设》计,应,具有灵活性、扩展性!为此要?求控制设备具—有可扩展性以—满足洁?净厂房控制要求的】变化 ?。 ? :集散式网《络结构具有良好的】人机交互界面能【较好地实现对生产环!境、各类动》力公用设备实施检测!、监视?和控制可适用于【采用计算《机,技,术进行控制》的洁:净厂房当洁》净厂房的参数—指标要求不是很严格!时,也采用常规仪—表进行控制》但无:论采:用何:。种方式控《制精度都应满足生产!要求并能做》到稳定、可靠运【行达到节能的要求】。。 《 12.4.【3  洁净室(区)!需要保持《一定的静压差这是】实现洁净室(区)】空气洁净度》的基本要《求所有洁净室(区】)都:应采用各种不—同的静压《。。差控制方法如余压阀!、压差变《送,。器等 1!2.4?.4  净化空【调系统采用电加【热器对送《。入洁净室(区)的洁!净空:气进行加热时通常】都将电?加热器设置在送风管!的支干管或支管上一!旦发:生风机事《故停车或送风—量减少引《起送风温度超—过允许温《度时可能诱》发电加热器烧毁甚】至相关部分着—火事故净化空调【系统采用《电加湿器时加湿【器加热汽化纯水对】送入洁?净室(区)》的洁净空气增湿通】常,将电加湿器安装在空!气处理机《组或送风管》内一旦发《生纯水供水中—断或无风时也会诱】发电加湿器烧毁【甚至相?关部分着火事故【为此:作了本条的规定并】为强制性条》文 ?