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12.4 】自动控制
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12【。.4.1、12.】4.2 《 电子工业》洁净:。厂房的设备监控系统!是,一,门集电气技术—、自动化仪》表、:计算机技《术和网络《通信等技术为—一体的综合》技术只?有,正确合理地运用【各门技术系》。统才能达《到控制要求为了【保证电子《工,业洁净厂房对生产环!境控制的特》殊要求公用动力【工程系统、》净化空调系统等【的控制系统应具有高!可靠性其次》。。对,于,不,同的控?制设备要求具有开放!性以适应实现全厂】联,网控制的要求—电子产品《工,艺技术发展迅—速电子工业》洁净厂房设计应具有!灵活性?、扩展?性为此?要求控制设备具有可!。。扩,展性以满足洁—净厂房控制》。。要求的变《化
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》集,散式网络结》构具有?良好的人机交—。互界:面能较?好地:实现对生《产环境?、各类动力公用设备!实施:检测、监视和控制可!适用于?采用计?算机技术进行控制的!洁净厂房当洁—净厂房的参数指标】要求不是很》。严,格时也?采用:常规仪表进行控【制但无论采用何种】方式控制《精度都应满足生产】要求并能《做到稳定、》可,靠,运行达到节能的要求!
—12:.4.3 洁净室!(,区,)需要保持》一定的静压》差这是?实现洁净室》(,区)空气洁净度的基!本要求所有洁净室(!区)都应采用各种不!同的静压差控制方】。法如余压阀、压差】变送:器等
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12《.4:.4 净化空调】系统:采用电?加热器对送入洁净】室(区?)的洁净空》气进行加热时通【常都将电加》热器设置《在送风管的支干管或!支管上一旦发—生风:机,。事故停车或》送风量减少引起【送风温?度超:过允许温度时可能】。诱发:电加:热器烧毁《。甚至相?关部:分着火事故净化空】。调系统?采用电加湿器时加湿!器,加热汽化纯水对送入!洁净室(区)的【洁净空气增湿通常将!。电加湿器《安装在空气处理机组!或,送风管内一旦发生】纯水供水中》断或无风时也会【。诱发电加湿器烧毁甚!至相关部分》着火事故为》此作了本条的规【定并为强制性条【文
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