:
12.4— , 自动?控制
【
12.—4.1、12.4】.,2 电《子工业?洁净厂?房的设?。备,监控系统是一门集电!气技术、《自动化仪表、计【算机技术和网络【通信等技《术为一体的综—合技术只《有正确合理地运【用各门技术》系统才能达到控制要!求为了保证电—子工业洁《净厂房对生产环境控!制的特?殊要求公用动力工】程系统、净化空调系!统等的控制系—统应具?有高可靠性》其次对于不》。同的:控,制设备要求具有开】。放性:以适应实现全—厂,。联网:控制的要求电子产品!工艺技术《发展:迅速电子工业洁【净厂房?设,计应具有灵活性、扩!展性为此要求控制设!备具有可扩展性以】满足洁净厂》房控制要求的变化
!
《
,集散:式网络结构具有【良好:的人机交互界—面能较好《地实:现对生产环》境、各类动力公【。用设备实施检测【、监视和控》制,可适用于采用计【算机技?术进行控制的洁净厂!房当洁净厂房—的参:数指标要求不是很严!格时也?采用常规仪表进【行控:制但无论采用何种方!式,控制:精,。度都应满足生—产要求并能做到稳定!、可靠运行达—到节能的《要求
1!2.4.3 — 洁净室(》区,)需要保持一定的】。静压差这是实现【洁净室(区》)空:气洁净度的基本要】求所有洁净》室(区)《都应采用各种不同的!静压差控制方—法如余压阀、压【差变送器等
—
》12.4.4 】净化空调系统采用电!加热:器对送入洁净—室(区)的洁—净空气进行加—热时通常都将电【加热器设置在送风】管的:支干管或支》。管上一旦发》生风机事《故停车或送》风量减少引》。起送风温度》超过允许温度时可】能诱发电加热器烧】毁甚至相关》部分着火事故—净化空调《系统采用电加湿器】时加湿器加热汽化纯!水对送入洁净—室(区)的洁净【空气增湿《通常:将电加湿器安装【在空气处理机组或送!风管内一旦》发生纯水《供水中断或》无风时也《会诱发电加湿器烧】。毁甚至?相关部分着火事故】为此作?。了本条的规定并为】强制:性条文
》