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12.4 】 自动控制
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1【2.4.1、1【2.4.2 电】。子工业洁净厂房【的设备监控系—统是:一门集?电气:技,术,、自动化仪表、【计算机技术和网【络通信等技》。术为:一体的综合技术【只有正确合理地【运用各门技术系【统才能达到控制要】求为了保《。证电子工业》洁净厂房对生产环】境控:制的特殊要求公用】动,力工程系统、净【化空调系统等的控制!系统:应,具有高可靠性其【次,对于不同的控—制设备要求具—有开放?。性以适应实》现全厂联网》控制的要求电—子产品工艺技—术发展迅速电子【工业洁净厂》房设计应具有灵活】性、扩展性为—此要求?控制设?备具有可扩》展性以满足洁—净厂房控制要求【的变化
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集散式网络【结构具有《良好的人机交互界面!能较:好地实现对生—产,环境、各类动力公用!设备实施检测、【监视和控制可适用】于采用计《算机技术进》行控制?。。的洁净?厂房当洁净厂—。房的参数指标要求】不是很严格时—也,采,用常:。规仪:表进行控制但无【论采用何种》方式控制精度—都,应满足生产要求并能!做到稳定、》可靠运行达》到,节,能的要求《
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?1,2.4?。.,。3 洁净室(区】)需要保持一—定的:。静压差?这是实现《洁净室(区)空气】洁净度?的基本要求所有【洁净室?(区)都应采用【各种不同的静压差控!制方法如余》压阀、压差变—送器等
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《12.4.4— 净化空》调,系统采用《电加热器对送入洁】净室(区)的洁净】空气进?行加热时通常都将】电加热器《设,置在送风管的—支干管或支管—上一旦发生风机事故!停车或送《风量减少引起—送风温度超过允许】温度时可能》诱,发电加?热器烧毁甚》至相关部分着火事】故,净化空?。调系统采用电加湿】器时加湿器加热汽】化,纯水:对送入洁净室(区】),的洁净空气增—湿通常将电加湿【器安装在空气处理】机组或送风管内一旦!发生纯水《供水中断或无风时】也会诱发电加湿器烧!毁甚至相关部分【着火:事故为此作了本条的!规定并?为强制?性条文
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