？ 12？.3：。  通信与安—全保护？装，置， ， ： ， ， 12.3【.1  《电子工？业洁净厂房》是一密闭性建—筑为确保正常生产、！安，全生产？。在洁净室(区—)内设置通信设【施是加强内外联系】和实现？科学管理的重要【手段 】1  洁净室内设】。置内外联系的通信】设施主要指》建立内外语音和【数据：通信鉴于洁净—室内：的，。工作人员是主要【的尘源人员》走动时？的发尘量是》静止时的5～10倍！为了减少《洁净室内人》员的走动保证室内】洁净度在每个工位宜！设一个有线语音插】座 》 ：2 ： 若：洁净室？(区：)设有无线通信系】统时应采用功率小的！微蜂窝无线通—信等系统以》避免对？生产设备造成干【扰 3 ！ 洁净室生》产工艺？。大多采？用自动化操作需【要网络来《支持；现代化生产管！。理，也，需要网络《来支持因此需在洁净！室(区)《设局域网的线路及】插座 【 ，4 ： 为：。减少洁？净室(区)内人员】的活：动最大限度》地减少不必要人员】进入通信配》线，及管理设《备不应设《置在洁净室(区【)内 — 12.3—.2  电子—。产品生产用》洁净厂房中的丙【类，生产厂房按照现行】国，家标准火灾自动报】警系统设《。计规范GB 5【0116《的，要求其火灾保护【等级应？为二级当此类洁净】厂房中防《。火分区面积不超【过现行？国家：标准建？筑设计？防，火规：范GB 5001】6要：求的防火分区的【最大允许建》。筑面积时是》可行的？ 》 但有些《电子工业洁净厂房】由于工艺流程的需要！其防火分区的面积】。超过现行国》家标：准，建筑设计《防火规范G》B 5？0，016的规定有的】甚至超？。过几：倍另外？电子产品生产工艺复！杂有些？电子产品生产中要使！用多：种易燃？、有：毒化学溶剂和—易燃、有《毒气体、特》种气体？洁净厂房是》密闭性？空间：一旦发？生火灾热《量无处？泄漏火情扩散速度】较快且通过风—管或风道彼此串通烟！火会沿着《风管或风道迅速蔓延！电子工业《洁净厂房《中的生产《设备：又很昂贵加强对洁】净室的火灾报警【系统设置是非常必要！。的所以在《防火分区《面积：超过规定时》应将：。保，护等级？提高为？一，级 — 1：2.3.《3  由《于洁：净室(区)进—出程序比较复杂【一，般未：做身体净化的人员】是不能进入的当【。洁净室内火灾报【警，时又需要进行火【灾确认？后方可手动》控制空调机等设备】的动作因《此应该在洁净室(区！)内包括下》技术夹层《内、空调机房、【动力站房《、，各类控制室内均应设！置固定？消防电话分机建【。立洁净？室与：。消防控制室》的消防专用》通信线？路以：便消防控制》人员通过电话及时了！解洁：净室(区)和相关】房间内的《火灾情况 — 1》。2.3？.4  《制定本条的依—据，是 1】  电子工业洁净】厂房内火灾》探测器？选择时应充分考虑】洁净室？(区)的环境—条，件及房间《构造特点如高度、面！积、空？气流向？、流速？。、，有无对火灾探测器的！干扰等以及》火灾探测器的特【性和技术《指标：选用智能型探测【器可比较可》靠地探测火灾 【 》2  在一些—芯片制造和第—五代、六代》以上液晶显示器生】产用洁净厂房洁净】生产区的面积—较，大防火分区的面【积大：大超：过现行国家标准建筑！设计：防火规范GB 【50016规定的最！大，容，许建筑面积为强化消！防，设计技术措施本【条明确规定》在洁净室(》区)内净化空调系统！混入新风《前的回？风气流中应》设置高灵敏度—的早期烟《雾报警探测》器把着眼点放在不可！见烟雾的《探测尽？早发：。。现火情把火灾—消灭：在萌发阶段为避免】事态扩大争取到【更多：的宝贵时间据了解】近年来这类洁净厂】房均在回风气—。流，中，安装了高灵敏度早期！报，警火灾探测器—虽然费用较》高和安？装、：维护要求严格—但仍然得到了用户】和消：防部门的认可 ！ 3  在【室，温，下硅烷？是一：种，在空气中可》以自燃的气体硅【烷一旦泄漏很快【燃烧不产生烟雾而】红外紫外线(—U，V-IR)双重【扫描：的火焰探测器对硅烷！产生的？火，灾反应速度最快故】规定硅烷储存、分配！间(区)应采—用火焰探测器 ！ 4  洁净】室(区？)的：上下技术夹层—、静压箱有》时是有操作人员在】。现场的当这些—区域：发生火灾时为—了第一时《间发出警报便于人】。员疏散应设置手动报！。警按钮和声光—报警装置《。 —12.？3.5  在消防】控制室？平时：对下列设《备不应自动联动【应对洁净《室(区？)的火灾报警—进行核实当确认火灾！后，才能在消防控制室】进行手动控制 ！ 1 》。 由于一旦关闭电】动防火阀停止送风】洁净室(区)的环】境就会遭到破—坏恢复起来需—要一：定的代价和》时，间所以规定》应，在火：灾报：警核实、确认火【灾后才？能实施“关闭有关部！位的电动防火—阀停止相应的净【化空调系统的送【风机：、排风？。机和新风《。机并接收其反馈【信号” 】。 2  为》防止误？报造成不必要—。的损失宜在消防值】班室或低压》配电室？采用人工方式对洁净！。室，(区)空调循环风】机、新风机等各【类设备？的非消？防用电进行控制 】 12【.3.6～12【.，3.：8  制定》这三条的根据—。是 【1 ： 在一？。些电子产品生—产，。过程中使《用品种多样的易【。燃、易爆、有毒气】体如SiH4—、SiH2Cl【2，、NH3、》C4F6《As：H3、PH3—、Cl2等这些气体！一旦泄漏将可能产】生火：灾或爆炸、或危【及操作人员安全、】或对设备造成损害因！此必须？设置有效、安全、】可靠的气体》探测和？控制系统避免—、防止因气体泄漏造！成事故气《体探测？器按原？理分有电化》学式、化学纸—带式、？红外技术和固态【金属氧化物技术等】；按采样方式分有】泵，吸式和扩散式应根】据所监测的气—体物化特《性和使用环境特【点合理选用 ！ 2  因在【各种气体的输—送管道和特种—气体：的气瓶？柜、分配阀门箱内】的气瓶阀、减—压阀、分配》阀、切换阀等的连】接处容易产生气【。体泄漏在《特气柜？更换气瓶时因—操作不当阀门未关】紧管道接口》、阀门受腐蚀或【连接不牢固等原【因易产生气体泄【漏因此在这》些易发生泄》漏的：场所：沿程管道的》阀，门或接头易泄漏【处和气瓶《柜、分配阀门箱内】均应设置检测点【气瓶柜、分配阀门箱！均设有强制排—风系：。。统如有气体泄—漏，时泄漏的气体大部分！被，吸入到？排，风管内所以应将采】样点设置在排风【管口处 《 3 【 气体泄漏》报警装置报警后为】了及时？切，断相应气体的气源防！止继续泄漏》造，成着火、爆炸事故应！自动联锁相应气【体，输送管？道的进气阀》门 ？ ，。 4  —美国消？防协会发布的NF】PA 318洁净】室消防标准第6.6！。.1条规定易燃【或有毒？气体：。在使用中应设—置于配有排气—通风的柜内柜—内应设？置气体监测》报警和自动切断【气体供应设施第【6.6.3条规【定在可能《有易燃、有毒气体泄！漏的：场所、？阀门：或装配件或接头处】应，设置气体报警和【排气通风设施一【旦报警时应》能切断气源第6.6！.5条规定对—。可能发生易燃气【体泄漏的场所设【。置爆炸下限20【％的报警装置以上】。各条要求是制定本条！规定的主要》依据 《