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8.3 排】 水
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8.3!.1 电子产品生!产过程?。排出的生产废水因产!品品种、生产工艺的!不同而异仅以半导】。体器件、《集成电路等电子产品!为例在?。此类:产品生产过程中排】出的生产废水就【有酸性废水(HF、!HCl?、HN03、H2】SO4等《)、碱性废水(Na!OH、NH4—OH:等)、研磨废水(硅!粉粒等)、》废气洗涤废水、【有机废水(IPA】、显影?液、光阻液等)【等它们的排放浓【。度在生产过程的各个!工序也有所不—同但在电子工厂【中通常都根据排【出的生?产废:水的品种、性质、污!染物浓度等设—置,废水处理《。站或:废水处理装置—进行处理并达到国】。家排放标准或—地方排放标准—后排放据调查了解由!于上:述电子工厂生产废水!。。的排放特点目前【在工程设计和实际】生,产实践中均采用【。生产废水系统、生】活废:水,系统分别设置—。的方:式因此作《出本条规定并为强制!性条文
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8?.3.2《 本条是》电子工业《洁净厂房给水排水设!计安全卫生和—维持洁净室(—区)空气洁净度等级!等技术指标的重要保!证必须?严格执行
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《对,洁净:室而言当《洁净室正常》工作时水封装置的】。主要作用是防止洁净!室内的正压风通过】重力排水管向外泄】漏而洁净室内—的正压风向外—泄漏:会,引起能量《损失和破坏洁净环境!;当洁净室非正常】工作时它可以防止管!道内的有害气体或室!外气:进入室内破坏洁净】环境
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一?般情况下洁净室与】室外的静压差为10!Pa考?虑水封装《置内水的蒸发损失】、自虹吸损失及管道!内气压变化等因【。素水封深度应为50!~10?0,mm水柱并不小于】5,0mm这与》建筑给水《排水设?。计规范GB 50】015关于》水封的设置要求【是一致的
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通:气系统的作用①排】除排:水管道中的有—害,气体;②平衡管道内!的压力?保护水封《装置:内,的水封通气管的设置!位,。置和高度要确保【不对周围环境产生】影响必要时应—考虑处理措》。施
8】.3.3 洁净】室(区)内》地漏等?排水设施的设置应】符合现?行,国家标准洁净—厂房设计《规范GB《 5007320】01中第7.3【.3条的《规定
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8.?3.4? 本条是》为,了,从各个方面采取【相应措施确保—。洁净室?的洁净度制定—的一般洁净室—内,的,卫生器具应采用【白,陶瓷或不锈钢制品】不得采用水磨—石或水泥等易起【尘的制品卫》生器具配件应采【用镀铬或工程—塑料等表面光滑、易!于清洗的《产品
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