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?。 8.?3,  排   — 水 — 8.—3.1  电子【产品生产过程排出】的生产废水因产品品!种、生?产工:艺的不同而异—仅以半导体器件、】集成电路等电—子,产品为例在此类产】品生产过程中排出的!生产废?水就有酸《性废水(HF—。、HCl、HN【03、H2SO4】等,)、:碱性:废水(N《aOH、《N,H4OH等)、研】。磨废水(硅》粉粒等)《、废:气洗涤?废水、有《机,废,水(I?PA、显影》液、光?阻,液等)?。等它们的排》放浓度在生产过程的!各个工序也有所不同!但在电子工厂中【通常都根据排出的】生产废水的品种、】性,质、污?染物浓度等设置废水!处理站或废水处理】装置进?行处理?并达到国《家排放标准或地方排!放标准?后排放?据,调查了?解由于上述电—。子工厂?生产废水的排放【特,点目前在工程—设计和?实际生产实践中【均采用生产废—水系统、生活废【。水系统分别设置的方!式因:此作出本条规定并为!强制性?条文 】8.3.2 — 本条?是电子?工业洁净厂房给【水排水设计》安全卫?生和维持洁净—室(区)空气洁【净度等级等技—术指标的重要—保证必须严格执行 !。。 : 对洁净室而】言当洁净室正常工作!时水封?。装置的主《要作:用是防止洁净室【内的正压风通过【重力排水管向外【泄漏而?洁净室?内,的,正压风向《外泄漏?会引起能量损失和破!坏洁净环境》;当洁?净室非正常工作时它!可以防止管》道内:的有害气体或室外气!。进入室内《破坏洁净环境 】 ? 一般情《况下洁净室与—。室外的静压》差为10Pa—考虑水?封装置内水的—蒸发损失《、自虹吸损失及管】。道内气压变》化等:因素水封《深,度,应为50~100m!m水柱并不》小于50mm这与建!筑给水?排水设?计,规范:GB ?50015关—。于水封的设》置,要求是一《致的 通!气系统的作用①排】除排水管道中的有害!气体;②平衡管道】内,的,压力保护水封装置】内,的水封通气管的【设置:位置和高度要—。确保不对《周围环境产生—影响必要时应—考虑:处理措施《 : 8.3.】3  洁净室(区】)内地漏《等排水?设施的设《。置,应符合现《行,国,家标:准洁净厂《房设计规《范,G,B :50073》2001中第7.3!.,3条的规定 【。 ? 8:。.3:.4 ? 本:条是:为了从各个方面采取!相应措施《确保洁净室的—。洁净:度制定的一般洁【净室内的卫生—器具应?采用白陶瓷或不锈钢!制品不得采》用水磨石《或水泥等易起尘的】制品卫生器具配【件应采用镀铬或【工程塑料等表面光滑!、易于清洗的—产品 《