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8.3 排! 水
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—8.3.1 【电子产品生产—过程排出的生产废水!因产品品《。种、:生产工艺的不同而】异仅以半导体器件】、集成电路等—电子产品为例在此】类产品生《产过程中排出—。的生产废水》就,。。有酸性废水》(H:F、HCl、—HN03、H2【SO4等)、碱性】废水:(Na?OH、?NH4OH等)【、研磨废水(硅粉】粒等:)、废气洗涤—废水、有机废水【(IPA、显影【液、光阻液等—。)等它们《的排放浓《度在生?产过程的各个—。工序也有所》不同但在电子工厂中!通常都根据排出【的生产废水》的品种、性质、污染!物,浓度等设置》废,水处理?站或废水《处理装置《进,行处理并达》到国家排放标—准或地方排放—标,准后排放据调查了】解由于上述电子工】厂生产?废水的排放》特,点目前?在工程?设计和实际生—产实:践中均采用生产废水!。系统、生活废水系】统分别设置》的方式因此》作,出本条规定并为强】制性条?。。文
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8.3.】2 : 本条是电子工业洁!净,厂房给水排水设【计,安全卫?生和维?持洁净室(区)空】气洁净度《等级:等,技术指标的重要保证!必须严格执行
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对洁》净室而言当》洁净室正常工作时水!。封装置的主要作用是!防止:洁净室内的》正,压风:。。通过重力排水管【向外泄漏而》洁净室内的正压风】向外泄?漏会引起能》量损失和破坏洁【净环境;《当洁净室非》正常工?作时:它可以防止管—道内的有害气体或室!外气:进入室内破坏洁净】环境
一!。。般情况下洁净室【与室外的静压差【为10Pa考虑【水封装置内水的蒸发!损失、自虹吸损失】及管道内气压—变化等因素水封深度!应为50~》100mm水柱并】不小:于,50mm这与建筑】给水排水设计规【范GB 50—015关于水封的设!置要求是一致的
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通气系统的作!用①排除排》水管道中的》。有害:气体;②平衡—管道内的压力保【护水封装置》内的水封通气—管的设置位置—和高度要确保不对周!围环境产生影—响必要时应考虑【处理:措施
8!.,3.3 》洁净室(《区)内地漏》等排水?设,施的设置应符合现行!国家标准洁净厂房设!计规范GB 50】0732001【中第7.3.—3条的规《定
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8.3【.4 本》条是为了从各—个方面采取相—。。应措施确保洁净室】的洁净度《制定的一《。般洁净室《。内的卫生器具应采用!白陶瓷?或不:锈钢制品不得采用水!。磨石或水泥等易起尘!的,。制品:卫生器具配件—应采:用镀:铬或工程《塑料等表面》。。光滑、易于清—洗的产品
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