8.3【 ,。 ,排 ? 水?
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,8.3?.1 ? 电子产品生产过程!排出的生产废水因产!品,品种:、生:产工艺的不同—而异仅以半导—体器件、集成电路】等电子产品为例在此!类产品生产》过程中?排出的生产废水就有!酸性废水(》HF、HCl、H】N03、H2—SO4等)、碱性】。废水:。(NaO《H、NH4OH【等)、研磨废水【(硅粉粒等)、【废气洗涤废水、【有机废水(I—PA:、显影?液、:光阻液等《)等:它们的排放浓度在】生产:过程的各个工—序也有所不同—但在电?子工厂中《通,常,都根据排出的生【产废水的品种、性】。质、污染物浓度等设!置废水处理》站或:废水处?理,装置进行《处理并?达到国家排放标【准或地方排》放标准后《。。排放据调查了解由于!上述电子工厂—生产:废水:的排放特《点目前在工》。程设:计和实际《生产实?践中均采用生—产废水系统、生【活,废水:系统分别设置的方式!因此作出本》条,规定并为强制—性条文
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8.3.》2, 本条《是电子工业洁净厂】房给:水排水设计》安全卫?生和维持《洁净室(区)空【。气洁净度等》级等技术指标的重要!保证必须严格执行】
对【洁,净室而言当洁净【。室,正常:工作时水封装置【的主要作用是—防止洁净室内—的正压风通过—重力排水管向—外泄漏而洁》净室内的正压风向】外泄漏会《引起:能量损失和破坏洁净!环境;当洁》净室非正常工作【时它可以防》止管道内的有害气】体或室外气》进入室内破》坏洁净环境
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一般》情况下洁净室与【室外的静压差为10!Pa考虑水封—装,。置内:水,的蒸发损失、自虹吸!损失及管《道内气压变化等因】素水封深度应为50!~100mm水柱并!不小于50》mm这与建筑给水排!水设计?规范GB 5001!5关于水封的设置要!求是:一致的
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通气系统》的作用①排除排【水管道?中的有害《。气,体;②平衡》管道:内的:压力保护水封装置内!。的水:封通:气管:的设:置位:置,和高度要确》保不对周围》环境产生影》响必要?时应考虑《处理措施
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8.3.3! 洁净室》(区:)内地?漏等排水设施—的设置应《符合现行国》家标准洁净厂房设】计规范?GB 500—732?001中第7.【3.3条《的规定
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8.—3.4 本条是为!了从各个方》。面采取相应措施确保!洁净室的洁净度制定!的一般?洁净室内的》卫生器具应采用【白陶瓷或不锈—钢制品?不得采用水磨—石,或水泥?等易起?尘的制品卫生—器具配件应》采,。用镀:铬或工程《塑料等表面》光滑、易于清洗的】产,品
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