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8.3— 排 》 水
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8.3.!1 电子产—品生产过程排出的生!产废:水因产品品种—、生产?工艺的不同》而异仅?以半导体器》件、集成电路等【电,子产:品为例在此类产品】生,产过程中排》出的生产废水就有】酸性废水(》HF:、HC?l、:HN:03、H2SO【4等)、碱性废水】(NaOH》、,NH4?OH等?)、研磨废》水(硅粉粒等)【、废气洗涤》废水、有机废水(】IPA?、显:影,液、光阻液等)等】它们的排放》浓度在生产过程的】各个工序也有所不】同但在?电子工厂中通—常都根据排出—的生:产废:水的品?种、性?质、污染物浓度等】设置废水《处理站或废水处【理装置进《行处理并《达到国家排放—标准或地方排放标准!后排放?据调:查了解由《于上:述电子工厂生产【废水的排《放,特点目?前在工程设计和实际!生产实践中均采用生!产废水系统、—。生活废水系统分别】设置的方式因此【。作出本条规定并【为强:制性条文
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8.3.2 本!条是电子工业洁【净厂房给水排水设】计安全卫生和—维持洁净室(—区)空气洁净度等级!等技术指《标的重要《保,证必:须严格执行
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对洁净—室,而言:当洁净室正常工作】时水封装置的主要作!。。用是防止洁净—室内的正压风—通过重力排水管【向外泄?漏而洁净室内—。的正压风向外泄【漏会引起能量—损失和破坏洁—净环:境;当洁净》室非正常工作—时它可以防止管道】内的有害气体或【室外气进《入室内破《坏洁净环《境
一般!。情况下洁净室—与室外的静》压差为1《0Pa考虑水封【装置内?水的蒸?发损失、自虹吸损失!及管道内《气压:变化等因素水封深】度应为?5,0~100mm水柱!并不小于50m【。。m这与建筑》给,水排水设计规—。范GB 5001】5关于水封的设置要!。求是:一致:的
通气!系统的作用》①排除排《。水管:道中的有害气—体;②平衡管道内】的压力保护水封装置!内的水封通气管的】设置位?置和高度《要,确保不对周围环境产!生影响必《。要时应考虑处理【措施
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8《.3.3 洁【净室(?区,)内地漏等》排水设施的设置应】符合现行国家标准】洁净厂房设计规【范GB 50073!20:01中第7.3.】3条的规定
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8.3.4— 本条是》为了:从各个方面》采取相?应措施确保洁净室】的洁净度《制定的?。一般:洁净室内《的,卫,生器具?应采用白陶》瓷或不锈钢制品不】得采用水磨石—或水泥等易起—尘的制品卫》生器具?配件:应采用镀铬》或工程?塑料等表面光滑、】。易于清洗《的产品
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