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8.《。3 ?排 水—
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8.3.1— 电子产品—生,产过程排出的生产】废水因产《品品种、《。生产:工艺:的不同而《异仅以半导》体,器件:。、,集成电路等电子产】品为例在此》类产品?生产过?程中排出的生产【废水就有酸性废水(!HF、HCl、HN!03、H《2S:O4等)、》碱性废水(NaO】H、NH4OH等)!、研磨废水(硅粉】粒等)、废气—洗涤废水、有机废】水(IPA、显影】液,、光阻液《等)等它《们的排放浓》度在生产过程的【各个工序也有所不】同,但,在电子工《厂,。中,通常都根据排出【。的生产废《水的品种、性—质、污染物浓—度等:设置废水《处理站或废水处理】装置进行处理—并达到国家排放标准!或地方排放标准后】排放据调查了解【由于上述电子工【厂生:产废水的排放特点目!前在工?程设计和实际—生产实践中》均采:用生产废水系—统、生?活废水系统分—别设置的《方式因此作出—本条规定并为强制】性条文
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8.?3.:2 本条是电子工!业洁净厂房》给水排水设计安全卫!生和维持洁净室(】区)空气洁净度【等,。级,等技:术指标的重》要保:证必须严格执行
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对洁净室而—言当洁净室正常【工作时水封装置的】主要作用《是防止洁净室内的】正压风通过重力排】水管向外泄》漏而洁净室内的正压!风向外泄漏会引起能!量损失和《破坏洁净环境;【。当洁净室非》正常工作时它可以】防止管道内的有害】气体:或室外气进入室【内破坏?洁净环境《
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一般情况下洁净!室与:室外的静压差为【10Pa考虑水封】装置内水《的蒸发损失、自虹】吸损:失及管道《内气:压变化等因素—水封深?度应为5《0~100》mm:。。水柱并不小》于50mm这与建筑!给水:排水设计规》范GB 50—。015关于水—封的设置要》。求是一致的
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》通气:系统的?。作用①排除排水管】道中的有害气体;】②平衡管《道内的压力保护【水封:装置内?的水封通气管的设置!位置和高度要确保不!。对周围环境产生影响!必要时应考》虑,处理措施
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8.?3.3 》洁净室?(区)内地漏等【排水设施的设置【应符合现行国—家标准洁净厂房设】计,规范GB 5007!32001中第【7.3.3条的规定!
—8.:3.4 本条是】为了从各个方面采】取相:。。应措:施确保洁净室的洁】净度制定《的一般洁净室内的卫!生器具应采用白【。陶瓷或不锈钢—制,品不得采用水—磨石或水泥等易起尘!的制:品卫生器具配件应采!用镀铬或工》程塑料?等表面?光滑、易《于清洗的产品
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