8.3  ！排    水 【 【8.3.1  【电子：产品生产过程排出】的生：产废：水因：产品：品种：、生产工艺的—不同而异仅以半导】体器件？、，。集成：电路等？电子产？品为例？在此类产品生产过】程中：排，出的：生产废？水就有酸性废水(H！F、H？C，l、：HN0？3、H？2SO4等》)、碱性废水(【NaOH、》NH4OH》等)、？研，磨废：水(硅粉粒等)【、废气洗涤》废水、？有机废水(IPA、！显影液、光阻液等)！等，它们的排放》浓度在生产过程【的各个工序》也有所不同但在电子！工厂中通常》都根据排出的生产】废，水，的，品种、性质、—污，染物浓度等设置【废水处理站》或废水处理》装置进行《处理并？达到国家排》放，。标准或地方排放标】准后排放据调查了解！由于上述电子工【厂生产废水的排放】特点：目前在工程设计和】实际生产实践中均】采用生产废水系统】、生活废水系统分别！设置的方式》因此作出本条规【定并为强制性条文 ！ 8.3.！2  ？。本条是电子工—业洁净厂房给—水排水？设计安？全卫生和维》持洁净？室(：区)：空气洁净《度，等级等技《术指标的重要保证】必须严格执行 【 对—洁净室而言当洁净】室正常工《。作时：水封装置的主要作】用，是防：止洁净室内的正压】风通过重力排水管】向外：泄，漏而洁净室内—的正压风向外泄漏会！引起：能量损失和》破坏洁？净环境；当洁净【室非：正常工？作时它可《以防止管道内的有】害气体或室外气【进入室内破坏洁净环！境， 》 一般情况下洁【净室与室外》的静压差为10【Pa：考虑水封装置内【水的蒸发损失、自】虹吸损失及管道内气！。压变：化，等，因素水封深度—应为50～1—0，0m：m水柱并不小于5】0mm这与建筑【给水排水设计规范】G，B ：50015关于水封！的设置？。要求是一致的— ， 《 通：气系统的《作用：①排除排水管道【。中的有害气》体；②平衡管道内的！压力保护水封—。装置内的水》封通气管《的设置位置和—。高度要？确，保不对周围环—境产生影响必要【。时应考虑《处理措施 —。 ， ， 8.3.—。3  洁净室(区)！内地漏等排水设【施的设置应符合现行！国家标准洁净—厂房设？计规范GB》。 ，50：073200—1中第7.》3.3条的规定【 《。 8.3》.4  本条是【为了从各个方面采取！。相应措施确保洁【净室的？洁，净度制定的一般【洁净室内的卫生【器，具应采？用白陶瓷或》不锈钢制品不得采用！水磨：石或水泥《等易起？尘，的制品？卫生器具配件—应采用镀铬或—工，程塑料等表面光【。。滑、易于清洗的【产品 《