8.2【 :。给 ? , 水
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8.2.1— 电子工业洁净】厂房内的生产工【。艺一般为精细或超】。精细:加工对水质、水温】、水压等《的要求都较为—严格:水质、水《温、水压等的—变,化可能?会导致次品或工艺设!。备故障因此应根据】不同的工艺要求设】置独立给水系—统常见的系统有纯】。水或超纯水系统;】工艺循环冷却水系】统,;一:般工业给水系—统热(?温)纯水系统等【对上:述给水?系,统的补充水可从洁净!厂房中的生活—。给水系统《供给
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8.2.2! 电子工》业半导体、液晶【显示器等电子产品】生产工?艺,中往往会使用大【量的危险化》学品为此在厂房(车!间)设有危险化学】品储:存和分配《系统考?虑到操作和维护人员!的安全应在》这些地?方设置紧急淋—浴器和洗眼器环【行设置紧急》。淋浴器和洗眼器的供!水管路是为了提高】供水的可靠性—确保在任《何时刻都有水供应
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8.2《。。.3 本条是为】了确保电子》产,品生:。产工艺用水的水质】、水压、水》温作出的相应规定
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1 ? 给水?系统管材选用首先】要保证该《管材:不会使所输送的水】水质发生变化即要】求该管?材具有良好的耐腐】蚀性和良好》的抗溶?出性其次要》。确保该管材的允许工!作压力?大于系统的工作压力!
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2 由于!半导体制造》、液晶显示》器生产等《电子工业洁净厂【房,往往有较严》格的微振控制要【求所以这类厂房的】首层:底板经?常加厚有时达到6】00:~800mm—。埋设在这些底—板下的给水管—道维:。。修和更换是较—困难的因此埋地给水!管一方面《要,按,水的:性质确定管》内壁的耐《腐蚀性另一方面要按!。地下水?及土壤的条件确【定管外壁的耐腐蚀】性需:要注意的是镀锌层是!防锈层而《不是防腐层所—以埋地镀锌管必【须做防腐处理—在,进行洁?净室的给水排—水设计时《应尽量避免》埋地管道
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3 电》子工业生产设备的冷!却水一?般对电导率、TO】C、pH《值等提出要求为【确保:生产设备循环冷却水!的水质给水》。。管和回?水管采?用不锈钢管》、钢塑管和塑—。料管是合适的;【焊接钢管由于其耐】腐蚀性差容易产生锈!蚀故不宜使》用在对电导率、TO!C、pH值等有要求!的场合
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4 》。阀门及配件要求与管!材一致主要是—为了保证供水水质】
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