8.2 !给 《 水
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8.2》.1 电子工【业洁净厂房内的生产!工艺一般为精细【或超精细加》工对:水质、?水温:、水压等的要求【都较为严格水质【、水温?、水压等的变化可能!会导致?次,品或工艺设备故【障因此应根》据不:同的工艺要》求设置独立》给水系统常见的【系,统有纯水《或超:纯水系统;工艺循环!冷却水系统;—一般工?业给:水系统热(温)纯】。水系统等对上—述给水系统的补充】水可从?洁净厂房中的生活】给,水,。系统供给
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:8.2.2 — 电子工业半—导体、液《晶显:示器等电子》产品生产工艺中【往往会使用大量的】危险化?学品:为此:在厂房(车间)设】有危:险化学?品储存和《分配系统考虑到操作!和维护人员的—安全:应,在这些地方》设置紧急淋浴器和洗!。眼器:环行设置紧急淋浴器!和洗眼器《的,。供水管路是为了提高!。。供,。水的可靠性确保【在任何时刻都有【水供应
!8.2.3 本】条是为了确保电子产!品生:产工艺用水的水质、!水压、水温作出的】相应规定《
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1 给水系统!。管材选用首先要【保证该?管材不会《使所输?送的:水水质发生变化即】。要求该管《材具有良好的耐腐】蚀性:和良好的《抗溶出性其次—要确保该管材的允许!。工作压力大》于系统的工作压【力
【2 :。 由:于,半导体制造》、液晶?显示器生产》。等电子?工业洁?净厂:。房往往有较严格的】微振控制要求所【以,这类厂房的首层底板!经常加厚《有时达?到600~80【0mm埋设》在这些底板下—的给水管道维修和】更换:。是较:困难的因此埋地给水!管一方面要按水【的性质?确定:管内壁?的耐腐蚀性另一方面!要按地?下水及土壤的—条件确?。定管外壁的耐腐蚀性!需要注意的是镀【锌层是防锈层而不是!防腐:层所以埋地镀锌管必!须做防腐处理在进】行洁净?室的给水排水设计】时应尽量避》免埋地管道
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3 电子工业生!产设备的《冷却水?一般对电导率—、TOC、》pH值等提出—要求为确保生产【设备:。循环冷?却水的水质给水管】和回:水管采用不锈钢管】、钢塑管和》塑料管是合适—的,;焊接钢管由于【。其耐腐蚀《性差容易产生锈蚀】故不宜使《用在对电导》率、TOC、—p,H值:等有要求《的,场合
】4 阀门及—配件要?。求与管材一致—主要:是为了保证供水水质!
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