8.2 !给 《。 水
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8—.2.1《 电子《工业洁?净厂房内的》生产工艺一般—为精细或超精细加】工对:水质、水温、—水压等的要求—都较为严《格水质、水温、水压!等的变化可能会【导,致次品或工艺设备】故障因此应根据不同!的工艺要求设置独立!。给水系统常》见的系统有纯水【。或超:纯水系?统;工艺循环冷却】水系统;一般—。工业给水系统热(温!)纯水系《统等对上述给水系统!的补:。充水可从洁净厂房】中,。的生活给水系—统供给
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8—.2.2 电子】工业半导体、—液晶显示器等电【子产品生产工艺中】往往会?。使用大量的》危险化学品为此【。在厂房(车》间,)设有?危险化学品储存【和,分配系统考虑到操作!和维护人员的安全】应在这?些地方设置》紧急淋浴《。器和洗眼器环—行设置紧急淋—浴器和洗《眼器的供水管—路是为了《提高:供水的?可靠性确保》在任何时刻都—有水供应
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8.2.【3 本条》是为了确《保电子?。产品生产《工艺用水的水质、】水压、水温作出的】相应规定
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1 给水系】。统管材选用首—先要保证《该管材不会使所输】送,的水:水,质,发生变化即要求该管!材具有良好的耐腐】蚀性和良《好的:抗溶出?性其次要确保该管材!的,允,许,工作压力《大,于系统的工作压【。力,
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2 由】于半导体制造—、液晶显示器生产】等电子?。工业洁净厂》。房往往有《较严格的微振控制要!求,所以:这类厂房的首—。层底板经常加厚有时!达到600~8【00m?。m,埋设在?这些底板下的给【水管道维修和更换是!较困:难的:因,此埋地给《水管一方面要按水的!性质:确定管内壁的耐【腐蚀性?另一方面《要按地下水》及土壤的条件确【定管外壁的耐腐蚀】性需要?注意的是镀锌—层,是防:锈层而不是防腐层】。所以埋地镀锌—管必须做防腐处理】在进行?洁净室的给》。水,排水:。设,计时应?尽,。量避免埋地》管道
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3 《 电子?工业生产设备—的冷却水《一般对电导率、【TOC、pH值等提!出,要求:为确保?生,产设备循《环冷却水的水—质给水管《和回水管采用不【锈钢管、钢塑管【和塑料?管是合适的;—。焊接:钢,管由于其耐腐蚀【性差容易产生锈蚀】故不宜使用》在对电导率、T【O,C、pH值等有要求!的,场合
4!。 阀?门及:配件要?求与管材一致主要是!为,了保证供《水水质
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