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,8.2.1 电子!工业洁净厂房内的生!产工艺一般为—精细或超精细加【工对:水质、水温、水压等!的要求都《较为严格水质、水】温,、水压等的》变化可能会导致次】品或工艺设备故障因!此应根据不》同的工艺要求—设置独立给水系统常!见的系统有》纯水或超纯水—系统;工艺循—环冷却?水系统;一般工【业给:水系统热(温—)纯水系《统等对上述给水【系统的补充水可【从洁净厂《。房中的生活给水【系统供给
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8.2.》2 电子工业半导!体、液晶显示器【等电子产《品生产工艺中—往往会使用大—。量的危险化学品为】此在厂房《(,车间)设有危险化学!品储存和分配系统考!虑,到操作和维护人员的!安全:应在这些《地方设置《紧急淋浴器和洗眼】。器环行设置紧—急淋浴器和洗眼【器的:供水管路是为了提】高供水的可靠性【确保在任何时刻都有!水供应?
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8.2.3 !本条是为了确保电子!产品生产工艺用水】的水质、水压、水】温作出的相应—。规定
】。1 给水系统管材!选用:首,先要保证该管材不会!使所输?送的水水质》发生变化即要求该】管,材,具有良好的耐腐【蚀性:和良好的抗》溶出性其《次要确保《该管材?的允许工作压力大于!系,统的工作压力—
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》2 :。。 由于半《导体制?造,。、液晶显示器生产】等电子工业洁—净厂:房往:往有较严格的微振】控制:要求所以这类厂房的!首层底?板,经常加?厚有时达到600~!800mm埋设【在,这些底板下的给水管!道,维修和更换是—较困难的因此埋地给!水管一方面要—按水的性质确定【管内壁的耐腐蚀性另!一方面要《按地下水及土—壤的条件确定管外】壁的耐腐蚀性—。需要注意的是镀锌层!是防锈?层而不是防腐层【所以埋地镀锌管必】须做:防腐处理在进—行洁净室的给—水排:水设计时《应尽量避免埋地管道!
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3 电子工】业生产设备》的冷却?水一般?对电导率《、,T,OC、pH值—等提:出要求为确保生产设!。备循环冷却水—的,水质给水《。管和回水管采用不】锈钢管、钢》塑,管和塑料管是—合适:的;焊接钢管由于】其耐腐蚀性差—容,易产生锈蚀故不宜使!用在对电导率、TO!C、:pH值等《有要求的场合
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4 阀【门及配?件要求与《管材一致主要—是为了保证供水水质!
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