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? 8.2  给【    水 —。 》 8.2.—1  电子工业【洁净厂房内的—。生产工艺一般为精】细或超?精细:加工对水质、水温、!水,压等的要求都较【。为严格水质、水【温、水压等的变【化可能会导致次品】或工艺?设备故?障因此应根据不同的!工艺要求设置独立】给水系统常见—。。。的系统有纯水或超】纯水系统;工艺循环!。冷却水系《统;一?般工业给水系—。统热(温)纯水系统!等对:上述:给水系统《的,补充水可从洁净厂房!中的:生活给水系》统供给 》 8.2.2!  电子工业半导】体,、液晶显示器等电】子产品生产工艺中】。往,。往会使用大》量的危险化学品为】。此在厂房(车间)】设有危?险化学品储存和分】配系统考虑到操作和!维护人员的安全应在!这些地方《设置紧急淋浴—器和洗眼器环行设】置紧急淋浴器—和洗眼器的供水管路!是为了?。提高供水的可—靠性确保在任何时】刻,都有水供应》 8.】2.:3  本条》是为了确保电子产】品,生产工艺用水的水】质、水压《、水温作出的相应规!定 1】  给水系统管材选!用,首,先要保证该管材不】会使所输送的水【。水质发生变化即要求!该管材具《有良好的耐》腐蚀:性和良好的》抗溶出?性其:次要确保《该管材的允许—工作:压力大于《系统的工作压力 】 》2  由于》半导体制造、液晶】显示器生《产等电子工业洁净厂!房往往有较严—格的微振控》制要求?所以这类厂房的【首层底板经常加厚有!时达到600~80!0mm埋设在这些底!。板下的给水管道维修!和更换是较困难的】因,。此埋:地给水管《一方面要按水的性质!确定管内壁的耐腐蚀!性另一方面要按地】下水及土《壤的条件确》。定管外壁的耐—腐蚀性需要》注,意的是镀锌层—是防锈层而不是【防腐层所以埋地镀锌!管必须做防腐—处理在进行洁—净室的给水排水设计!时应尽量避免埋地】管道 ?。 《 3:  电子《工业生?产设备的《冷却水?一般对电导率、TO!C、pH值》等提出要求为—确,保生产设备循—环冷却水《的,水质给水《管和回?水管采用不锈钢管】、钢塑管《和塑料管是合适的;!焊接钢管由于—其,耐腐:蚀性差容《易产:生,锈蚀故?不宜使用在对—电导率、TOC、p!。H值等?有要:。求,的场合 《。 4—。  阀门及配件要求!与管材一致主—要是为了《保证供水水》质 ?